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中国科学院半导体研究所
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采购概览
招标项目
473个
招标项目金额
10.9亿
已合作供应商
93个
项目联系人
58个
中国科学院半导体研究所
的相关信息
电感耦合等离子体干法刻蚀机
电感耦合等离子体干法刻蚀机
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年5月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 电感耦合等离子体干法刻蚀机
预算金额： 520.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
通过高密度等离子体和高可控的离子轰击，实现高各向异性、高精度、侧壁陡直的低损伤图形化
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-30
中国科学院半导体研究所2026年5月政府采购意向
）等有关规定，现将中国科学院半导体研究所2026年5月政府采购意向公开如下：
序号 采购单位 采购项目
名称 采购品目 采购需求概况 预算金额
（万元） 预计
采购日期 备注
1 中国科学院半导体研究所 电感耦合等离子体干法刻蚀机 A02330300 详见项目详情 520.000000 2026年05月 详见项目详情
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-30
1号科研楼电力增容改造竞争性磋商公告
海淀区万柳光大西园6号楼0188第一会议室
预算金额 ￥252.518105万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人 张曼
项目联系电话 82575137-270
采购单位 中国科学院半导体研究所
采购单位地址 北京市海淀区清华东路甲35号
采购单位联系方式 王老师，82575137-270
代理机构名称 北京科技园拍卖招标有限公司
代理机构地址 北京市海淀区万柳光大西园6
采购公告
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-30
中国科学院半导体研究所大面积光子晶体电子束曝光系统采购项目公开招标公告
残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
（5）扶持不发达地区和少数民族地区
（6）政府采购支持本国产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院半导体研究所
地址：北京市海淀区清华东路甲35号
联系方式：huangyj@semi.ac.cn
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金
采购公告
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-28
中国科学院半导体研究所高温退火炉、高温氧化炉采购项目更正公告
街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式 窦志超、曹山 010-68290529
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：OITC-G260571595
原公告的采购项目名称：中国科学院半导体研究所高温退火炉、高温氧化炉采购项目
首次公告日期：2026年04月03日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
一、招标文件第八部分采购需求更正内容如下：
1.品目1-1高温退
采购公告
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-24
傅立叶变换显微中远红外PL系统
傅立叶变换显微中远红外PL系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 傅立叶变换显微中远红外PL系统
预算金额： 200.000000万元（人民币）
采购品目：
A02109900
采购需求概况 ：
傅里叶变换红外光谱仪为光电子芯片所需的材料表征设备，能够通过测量干涉图并进行
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
晶圆平整度检测仪
晶圆平整度检测仪
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 晶圆平整度检测仪
预算金额： 247.470000万元（人民币）
采购品目：
A02109900
采购需求概况 ：
用于检测衬底表面的平整度，包括晶体厚度变化、翘曲度、局部曲率等参数，实时或离线监测制造过程中的晶圆状态，
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
碳化硅高温氧化炉
碳化硅高温氧化炉
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 碳化硅高温氧化炉
预算金额： 540.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
设备最高温度能够达到1500℃；设备在控温精度和温度均匀性方面，能够保证所制备氧化层的均匀性和工艺重复性
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
大面积光子晶体电子束曝光系统
大面积光子晶体电子束曝光系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 大面积光子晶体电子束曝光系统
预算金额： 1275.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
主要用于微电子器件、光电子器件和集成电路等微纳器件的精密加工。
预计采购时间：
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
原子层沉积系统
原子层沉积系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 原子层沉积系统
预算金额： 98.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
满足项目需求
预计采购时间： 2026-06
备注：
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
全自动晶圆激光打标机
全自动晶圆激光打标机
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 全自动晶圆激光打标机
预算金额： 86.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
用于在衬底表面刻印唯一标识符，实现全生命周期追溯，同时辅助光刻、切割、封装等工序的精准对位。
预计
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
反应磁控溅射系统
反应磁控溅射系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 反应磁控溅射系统
预算金额： 235.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
能沉积不同种类的化合物, 如氧化物、氮化物、碳化物、氟化物和砷化物等。
预计采购时间： 2026-06
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
00 2026年06月 详见项目详情
10 中国科学院半导体研究所 反应磁控溅射系统 A02330300 详见项目详情 235.000000 2026年06月 详见项目详情
11 中国科学院半导体研究所 原子层沉积系统 A02330300 详见项目详情 98.000000 2026年06月 详见项目详情
12 中国科学院半导体研究所 电子元器件表面功能化用氧化式化学气相沉积设备
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
多物理场仿真子系统
多物理场仿真子系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 多物理场仿真子系统
预算金额： 305.000000万元（人民币）
采购品目：
A02109900
采购需求概况 ：
借助计算机软件对于各种有源结构、无源结构、耦合结构的电磁场、热学、力学和可靠性进行仿真设计。
预计采
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
感算融合芯片设计验证系统
感算融合芯片设计验证系统
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 感算融合芯片设计验证系统
预算金额： 480.000000万元（人民币）
采购品目：
A02109900
采购需求概况 ：
感算融合芯片设计验证系统主要对所设计的感算一体融合视觉芯片进行全面系统的功能验证，提供1
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
超精密化合物半导体衬底抛光机
超精密化合物半导体衬底抛光机
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 超精密化合物半导体衬底抛光机
预算金额： 150.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
用于去除晶圆表面的划痕、凹坑、氧化物和残留杂质，消除因切割、研磨等工序造成的微米
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
等离子体增强原子层沉积设备
等离子体增强原子层沉积设备
项目所在采购意向： 中国科学院半导体研究所2026年6月政府采购意向
采购单位： 中国科学院半导体研究所
采购项目名称： 等离子体增强原子层沉积设备
预算金额： 443.000000万元（人民币）
采购品目：
A02330300
采购需求概况 ：
等离子体增强原子层沉积设备，在高真空下，借助等离子体激活，显著拓展ALD设备制备薄膜
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
中国科学院半导体研究所高温退火炉、高温氧化炉采购项目公开招标公告
街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2026年04月27日 13点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260571595
项目名称：中国科学院半导体研究所高温退火炉、高温氧化炉采购项目
预算金额：270.050000 万元（人民币）
最高限价（如有）：270.050000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
采购公告
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
中国科学院半导体研究所相位噪声分析仪采购项目中标公告
本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法，中标供应商的评审总得分96.20分
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院半导体研究所
地址：北京市海淀区清华东路甲35号
联系方式：010-82304085
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
采购结果
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-04-03
中国科学院半导体研究所2026年4月政府采购意向
）等有关规定，现将中国科学院半导体研究所2026年4月政府采购意向公开如下：
序号 采购单位 采购项目
名称 采购品目 采购需求概况 预算金额
（万元） 预计
采购日期 备注
1 中国科学院半导体研究所 1号科研楼电力增容改造 B99000000 详见项目详情 290.000000 2026年04月 详见项目详情
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况
采购意向
北京海淀
中国科学院半导体研究所
2026-03-31
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