电感耦合等离子体干法刻蚀机
发布时间：
2026-04-30
发布于
北京海淀
收藏
公告内容
项目编号
立即查看
立即查看
采购单位
立即查看
供应商
立即查看
采购代理
立即查看
公告详情
您当前为:【游客状态】,公告详情仅对登录用户开放，
登录/注册
后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 电感耦合等离子体干法刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院半导体研究所*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体干法刻蚀机 |
| 预算金额： | 520.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 |
| 采购需求概况 ： | 通过高密度等离子体和高可控的离子轰击，实现高各向异性、高精度、侧壁陡直的低损伤图形化。 |
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
合作机会
合作伙伴等你一起赚钱>
400-888-7022
APP下载
小程序
公众号
