超精密化合物半导体衬底抛光机
发布时间：
2026-04-03
发布于
北京海淀
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 超精密化合物半导体衬底抛光机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院半导体研究所*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 超精密化合物半导体衬底抛光机 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 |
| 采购需求概况 ： | 用于去除晶圆表面的划痕、凹坑、氧化物和残留杂质，消除因切割、研磨等工序造成的微米级缺陷，为后续光刻、薄膜沉积等关键工艺提供原子级平整基底 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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