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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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电话：
021-6252****
法定代表人：
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采购概览
招标项目
651个
招标项目金额
17.16亿
已合作供应商
105个
项目联系人
20个
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
的相关信息
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料256M存储阵列全集成工艺光罩制作服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300361
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料256M存储阵列全集成工艺光罩制作服务采购项目
预算金额：524.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料存储阵列全集成工艺晶圆流片服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300360
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料存储阵列全集成工艺晶圆流片服务采购项目
预算金额：100.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新材料存储
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料256M存储阵列全集成工艺晶圆流片服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300362
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料256M存储阵列全集成工艺晶圆流片服务采购项目
预算金额：187.500000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料存储阵列全集成工艺验证光罩制作服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300359
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料存储阵列全集成工艺验证光罩制作服务采购项目
预算金额：195.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新材料
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料单项工艺开发服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300358
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料单项工艺开发服务采购项目
预算金额：200.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新材料单项工艺开发服务
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料单项工艺开发光罩制作服务采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300357
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新材料单项工艺开发光罩制作服务采购项目
预算金额：105.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 服务名称 简要技术规格 服务期 采购预算 （人民币）
1 新材料单项工艺开
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所高厚度低阻抗金属材料制备单元采购项目公开招标公告
w.oitccas.com获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260300363
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所高厚度低阻抗金属材料制备单元采购项目
预算金额：1100.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：1100.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号 货物名称 数量
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所锗片公开招标公告
区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室获取招标文件，并于2026年01月21日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：STC25A914
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所锗片
预算金额：156.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：156.000000 万元（人民币）
采购需求：
采购400片锗片，其中本征锗片100片，P掺杂锗片300片
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机公开招标公告
区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室获取招标文件，并于2026年01月21日 09点45分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：STC25A911
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机
预算金额：470.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：470.000000 万元（人民币）
采购需求：
采购1套高垂直度深硅刻蚀机。具体详见招标文件
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所低应力等离子体增强介质沉积机台公开招标公告
区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室获取招标文件，并于2026年01月21日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况
项目编号：STC25A910
项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所低应力等离子体增强介质沉积机台
预算金额：330.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：330.000000 万元（人民币）
采购需求：
采购1套低应力等离子体增强介质沉
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-31
中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告
作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法，中标供应商的评审综合得分为90.80分。
附件：招标文件
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：上海市长宁路865号
联系方式：纪老师 ,021-62511070
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20
采购结果
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-30
中国科学院上海微系统与信息技术研究所高厚度低阻抗金属材料制备单元采购项目终止公告
金属材料制备单元采购项目
二、项目终止的原因
本项目有效投标人不足三家，予以废标。
三、其他补充事宜
无
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：上海市长宁路865号
联系方式：纪老师 ,021-62511070
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20
采购结果
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-30
中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀单元公开招标公告
生银行上海虹桥支行
银行帐号：0208014210004789
摘要：STC25A780 标书费或投标保证金。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：上海市长宁区长宁路865号
联系方式：纪老师 021-62511070
2.采购代理机构信息
名 称：上海中招招标有限公司
地 址：上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-29
中国科学院上海微系统与信息技术研究所双目三维移动高精度对准模块采购公开招标公告
民生银行上海虹桥支行
银行帐号：0208014210004789
摘要：STC25A903标书费或投标保证金。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：上海市长宁区长宁路865号
联系方式：纪老师 021-62511070
2.采购代理机构信息
名 称：上海中招招标有限公司
地 址：上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-29
中国科学院上海微系统与信息技术研究所2025年12月政府采购意向
将中国科学院上海微系统与信息技术研究所2025年12月政府采购意向公开如下：
序号 采购单位 采购项目
名称 采购品目 采购需求概况 预算金额
（万元） 预计
采购日期 备注
1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 锗片 A07010399其他非金属矿物材料 详见项目详情 156.000000 2025年12月 详见项目详情
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况
采购意向
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-29
锗片
锗片
项目所在采购意向： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所2025年12月政府采购意向
采购单位： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
采购项目名称： 锗片
预算金额： 156.000000万元（人民币）
采购品目：
A07010399其他非金属矿物材料,A07049900其他矿与矿物
采购需求概况 ：
科研用
预计采购时间： 2025-12
备注：
采购意向
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-29
中国科学院上海微系统与信息技术研究所材料反应离子刻蚀单元采购中标公告
企业声明函.pdf
附件2 材料反应离子刻蚀单元采购-招标文件-发售稿20251203.pdf
一、项目编号：STC25A555（招标文件编号：STC25A555）
二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所材料反应离子刻蚀单元采购
三、中标（成交）信息
供应商名称：合肥微芸半导体科技有限公司
供应商地址：上海市浦东新区王桥路689号1幢
中标（成交）金额：435.0000000（万元
采购结果
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-25
中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统（国际招标）中标公告
研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统 - 中标结果公告.pdf
一、项目编号：0834-2541SH25A707（招标文件编号：0834-2541SH25A707）
二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统
三、中标（成交）信息
供应商名称：Future Speeds Technologies Ltd.
供应商地址：Craigmuir Chambers,
采购结果
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-23
中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统中标结果公告(1)
技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统
招标项目编号：0834-2541SH25A707
招标范围：MEMS晶圆双面对准与光刻系统 1台
招标机构：上海中招招标有限公司
招标人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
开标时间：2025-12-18 09：30
公示时间：2025-12-19 13：38 - 2025-12-22 23：59
中标结果公告时间：2025-12-23 10：19
采购结果
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-23
中国科学院上海微系统与信息技术研究所等离子清洗机公开招标公告
中国民生银行上海虹桥支行银行帐号：0208014210004789摘要：STC25A785/02标书费或投标保证金。七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名 称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所地址：上海市长宁区长宁路865号联系方式：纪老师 021-625110702.采购代理机构信息名 称：上海中招招标有限公司地 址：上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼C座办公室联
采购公告
上海长宁
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2025-12-20
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