中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目中标公告
中标/成交
发布时间:
2025-12-30
发布于
上海长宁
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公告详情
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一、项目编号:OITC-G250303051(招标文件编号:OITC-G250303051)

二、项目名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所配套专用PVD模块组件加工服务采购项目

三、中标(成交)信息

供应商名称:浙江求是半导体设备有限公司

供应商地址:浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号

中标(成交)金额:538.0000000(万元)

四、主要标的信息

序号 供应商名称 服务名称 服务范围 服务要求 服务时间 服务标准
1 浙江求是半导体设备有限公司 配套专用PVD模块组件加工服务 详见招标文件 包括晶圆升降单元,晶圆传输单元及后处理单元,腔体真空度≤5.0×10-7 Torr,泄漏率:≤1×10-8 std. cc/sec He,温度波动≤±1℃ 12个月 详见招标文件

五、评审专家(单一来源采购人员)名单:

张涛 曹劲夫 井传棣 肖石林 母志强(用户代表)

六、代理服务收费标准及金额:

本项目代理费收费标准:1980号文

本项目代理费总金额:0.000000 万元(人民币)

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

本项目采用综合评分法,中标供应商的评审综合得分为90.80分。

附件:招标文件

九、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所     

地址:上海市长宁路865号        

联系方式:纪老师 ,*开通会员可解锁*      

2.采购代理机构信息

名 称:东方国际招标有限责任公司            

地 址:北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层            

联系方式:杨帆 陈小舫 赵倩,*开通会员可解锁*/*开通会员可解锁*/*开通会员可解锁*, xfchen@oitc.com.cn            

3.项目联系方式

项目联系人:杨帆 陈小舫 赵倩

电 话:  *开通会员可解锁*/*开通会员可解锁*/*开通会员可解锁*

 
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