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微机电系统招标采购
微机电系统
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基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目.pdf
采购公告
浙江杭州
微机电系统
2026-04-30
基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目
基于MEMS（微机电系统）光刻新技术新产品平台研发项目
审批部门 审批事项 办理结果 办理时间 审批文号 附件
区经济和信息化局 企业投资（含外商投资）项目备案（技术改造） 已办结 2026-01-15 13：46：59.0
区发展和改革局（区对口支援和区域合作局） 固定资产投资项目节能审查 已办结 2026-04-27 13：49：14.0 余发改能评备〔
拟建
微机电系统
2026-04-27
项目推介 | 超快激光双光子微纳加工技术及应用
与跨尺度能力国际领先，拥有自主知识产权，打破国外技术垄断。
2、装备自主：具备从原理到装备的全链条研发能力，可实现高端科学仪器的国产化替代。 应用广泛：覆盖半导体、生命科学、光学、微机电系统等多个高增长领域，具备广阔市场空间。
3、政策契合：面向国家“增材制造与激光制造”重点专项，符合高端科学仪器国产化战略方向。
04
合作需求
1、技术转化：寻求技术转让、专利授权、
采购公告
微机电系统
2026-04-27
2026年铜陵学院铜基新材料与先进制造学科群科研仪器设备更新改造项目-半导体材料微纳加工项目
成系统，支持从微米尺度的图形化制造。系统需兼容硅基、二维材料、柔性衬底等多种基底，具备高对准精度及多步工艺流程自动化控制功能。将用于构建新型光电探测器、场效应晶体管、神经形态器件、微机电系统（MEMS）等原型器件。拟购置集成磁控溅射与电子束蒸发功能的多腔室薄膜沉积系统。设备需支持直流/射频/脉冲多种电源模式，具备多靶位共溅射、反应溅射及基片加热偏压调控功能；蒸发源需配
采购意向
安徽铜陵
微机电系统
2026-04-11
铜陵学院2026年4月政府采购意向
成系统，支持从微米尺度的图形化制造。系统需兼容硅基、二维材料、柔性衬底等多种基底，具备高对准精度及多步工艺流程自动化控制功能。将用于构建新型光电探测器、场效应晶体管、神经形态器件、微机电系统（MEMS）等原型器件。拟购置集成磁控溅射与电子束蒸发功能的多腔室薄膜沉积系统。设备需支持直流/射频/脉冲多种电源模式，具备多靶位共溅射、反应溅射及基片加热偏压调控功能；蒸发源需配
采购意向
安徽铜陵
微机电系统
2026-04-10
紫外掩膜光刻机国际招标公告(2)
目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 紫外掩膜光刻机 1 台/套 紫外掩膜光刻机是一款在半导体制造、先进封装、MEMS（微机电系统）、化合物半导体以及纳米压印光刻（NIL）等领域应用的高精度光刻设备，具备高灵活性、高吞吐量和优异的对准精度。详见技术规格书。 不晚于2026年10月10日
3、投标人资格要求
投
采购公告
上海浦东新
微机电系统
2026-04-03
【2506026026】上海芯源创新中心紫外掩膜光刻机国际招标
：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序
号
产品名
称
数量 简要技术规格
备注
1
紫外掩
膜光刻
机
1
台/
套
紫外掩膜光刻机是⼀款在半导体制造、先进封装、MEMS（微机电系统）、化合物半导体以
及纳⽶压印光刻（NIL）等领域应⽤的⾼精度光刻设备，具备⾼灵活性、⾼吞吐量和优异的
对准精度。详⻅技术规格书。
不晚于202
6
年10⽉10
⽇
3
、投标⼈
采购公告
上海浦东新
微机电系统
2026-04-03
陕西科技馆机械展厅展品更新项目
步发挥机械展厅的科普教育功能，为公众提供更具吸引力的机械科学体验。 需满足的要求：严格基于机械科学原理，确保知识传播的专业性与权威性。在保留经典机械原理展示的基础上，融入智能制造、微机电系统等前沿技术，反映当代机械工程发展趋势。展项应具备“可操作、可观察、可探究”的互动体验，支持观众动手搭建、装配调试等实践操作。同时采用模块化设计，便于后期维修、内容更新与功能拓展，有
采购意向
陕西西安
微机电系统
2026-03-30
陕西科学技术馆2026年03月至2026年04月政府采购意向
步发挥机械展厅的科普教育功能，为公众提供更具吸引力的机械科学体验。
需满足的要求：严格基于机械科学原理，确保知识传播的专业性与权威性。在保留经典机械原理展示的基础上，融入智能制造、微机电系统等前沿技术，反映当代机械工程发展趋势。展项应具备“可操作、可观察、可探究”的互动体验，支持观众动手搭建、装配调试等实践操作。同时采用模块化设计，便于后期维修、内容更新与功能拓展，有
采购意向
陕西西安
微机电系统
2026-03-30
参加省级项目制公益培训的条件说明
类
理论与应用力学、工程力学。
4、机械类
机械工程、机械设计制造及其自动化、材料成型及控制工程、机械电子工程、工业设计、过程装备与控制工程、车辆工程、汽车服务工程、机械工艺技术、微机电系统工程、机电技术教育、汽车维修工程教育、智能制造工程、智能车辆工程、仿生科学与工程、新能源汽车工程、增材制造工程、智能交互设计、应急装备技术与工程。
5、电子信息类
电子信息工程、电
采购公告
微机电系统
2026-03-21
[临时报告]普诺威:主办券商关于股票公开转让并挂牌的推荐报告
在
同业竞争，不存在显失公平的关联交易。
②资产独立
公司是由昆山华扬整体变更而来，依法承继了原有限公司的所有资产及业
务。整体变更后，股份公司依法办理了相关资产的产权变更登记手续，具有开展
生产经营所必备的独立、完整的资产。报告期内，公司资产权属清晰、完整，不
存在对实际控制人及其控制的其他企业的依赖情况。
③人员独立
公司的总经理、副总经理、董事会秘书、
其他
微机电系统
2026-03-16
商业卫星通信器件及组件项目可行性研究报告
平台等共性交叉技术。
推动新技术转化应用。开展军民联合攻关，加快北斗卫星导航定位系统、高分辨率对地观测系统在智能汽车相关领域的应用，促进车辆电子控制、高性能芯片、激光/毫米波雷达、微机电系统、惯性导航系统等自主知识产权军用技术的转化应用，加强自动驾驶系统、云控基础平台等在国防军工领域的开发应用。
2、行业市场背景
在新一代信息技术快速迭代与新兴应用场景持续拓展的推动下
拟建
微机电系统
2026-03-15
紫外掩膜光刻机国际招标公告(1)
目实施地点：中国上海市
招标产品列表（主要设备）：
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 紫外掩膜光刻机 1 台/套 紫外掩膜光刻机是一款在半导体制造、先进封装、MEMS（微机电系统）、化合物半导体以及纳米压印光刻（NIL）等领域应用的高精度光刻设备，具备高灵活性、高吞吐量和优异的对准精度。详见技术规格书。 不晚于2026年10月10日
3、投标人资格要求
投
采购公告
上海浦东新
微机电系统
2026-03-12
四川九洲投资控股集团有限公司
目的日常调度管理； 3.负责公司外协件供方的比选和确定； 4.负责公司环境与职业健康体系、安全生产制度日常运行和管理。
1.大专及以上学历，工学、理学、管理学等相关专业，机械工程、微机电系统工程、机械制造及自动化、机械电子工程、机械设计及理论、项目管理、电子信息工程、工商管理等专业优先； 2.熟悉生产制造企业科研生产管理流程； 3.具有项目管理、市场营销、对外合作等工
采购公告
四川绵阳
微机电系统
2026-03-04
福州市长乐区人民医院医气系统维护保养项目（二年）市场调查公告
捷鑫医疗器械有限公司 是 主板 台 * **
** 气体监测探头 ** 各楼层 宁波市捷鑫医疗器械有限公司 是 传感器探头 个 * *
** 流量计MF**** ** 各楼层 矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司 是 显示模块 台 * **
** 矽翔微机电系统（上海）有限公司成都分公司 是 传感器 支 * **
** 德标气体终端 约****个 各病房 宁波市捷
采购意向
福建福州
微机电系统
2026-03-04
矽翔微机电系统（成都）有限公司微机电系统产品产业化基地项目竣工环境保护验收公示
电系统（成都）有限公司微机电系统产品产业化基地项目竣工环境保护监测报告表》及验收意见公示如下：
项目名称：矽翔微机电系统（成都）有限公司微机电系统产品产业化基地项目
建设单位：矽翔微机电系统（成都）有限公司
公示内容：竣工环境保护监测报告表、环境保护设施竣工验收专家意见（详见附件）
公示时间：自公示期起20个工作日（2026年2月25日~2026年3月23日）
公示期
拟建
四川成都
微机电系统
2026-02-25
[竞争性磋商]常州大学集成电路专业原子层沉积系统项目竞争性磋商公告
驱体交替饱和反应获得厚度、组分、形貌及结构在纳米尺度上高度可控的薄膜，每一个反应步骤仅沉积一层原子或分子，因此称为“原子层”沉积。ALD广泛应用于半导体制造、太阳能电池、MEMS（微机电系统）、传感器等领域。
现采购一套集成电路专业原子层沉积系统，有效提升采购人在集成电路领域的人才培养质量、科研创新能力和社会服务水平，推动学校“强特色、创一流”学科建设。
7.合同履行
采购公告
江苏常州
微机电系统
2026-01-12
[临时公告]电通微电:公司章程
发设计；
集成电路及半导体元器件的销售，集成电路及半导体元器件材料的销
售；经营进出口业务（法律法规、国务院决定禁止的项目除外，限制的
项目须取得许可后方可经营）
。许可经营项目：微机电系统传感器的生
产加工。
第三章
股 份
第一节 股份发行
第十三条 公司的股份采取股票的形式。公司股票在全国中小企业股份
转让系统（以下简称“全国股转系统”
）挂牌并公开转让后，在中
采购公告
山西临汾
微机电系统
2025-12-30
达沃克斯（四川）微电子有限责任公司集成电路封装测试项目（检测传感芯片和硅麦克微机电系统的封装测试）（一阶段）竣工环境保护验收公示
《集成电路封装测试项目（检测传感芯片和硅麦克微机电系统的封装测试）（一阶段）竣工环境保护验收监测报告表》已于2025年12月18日编制完成，并于2025年12月19日通过专家组验收，根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》，现公开验收报告，公示期限20 个工作日。
拟建
四川
微机电系统
2025-12-22
超精密作动器部件多物理场耦合分析软件招标公告（ 2025-YKZNKX-W3128）
格型号 技术要求 计量 单位 数量 交货 时间 交货地点 备注
1 超精密作动器部件多物理场耦合分析软件采购项目 精密作动器部件多物理场耦合分析软件应同时包含以下8个功能：
（1）微机电系统（MEMS）分析功能，支持压电仿真，包含压阻、电致伸缩和铁电弹性效应，可以模拟执行器和传感器的热膨胀效应；
（2）传热流体分析功能，可分析以下3种传热模式：传导、对流和辐射；
（3
采购公告
微机电系统
2025-12-15
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