一、项目信息

采购人：西湖大学光电研究院

项目名称：薄膜铌酸锂晶圆采购

拟采购的服务说明：

采用单一来源采购方式的原因及说明：

薄膜铌酸锂晶圆制备涉及离子注入、直接键合、退火及化学机械抛光等复杂工艺，多工艺联合调试难度极高，尤其在大尺寸晶圆生产中更为突出。目前公开销售且经多方验证能满足本项目需求的8英寸薄膜酸锂晶圆的厂家仅有济南晶正电子科技有限公司。我方已于2025年向济南晶正电子科技有限公司采购6英寸薄膜铌酸锂晶圆7片，且在晶圆上制备了电光器件验证了材料性能。目前，本项目已进入高速硅光与薄膜酸锂异质集成光电芯片研发的关键阶段，为确保工艺的一致性，避免出现因未经验证导致的工艺不匹配造成的周期延误与研发风险。故申请单一来源采购。

二、拟定供应商信息

三、公示期限

*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*。

四、其他补充事宜

本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人提出异议。

五、联系方式

采购人名称：西湖大学光电研究院

地址：杭州市富阳区过庭街222号西湖大学光电研究院2号楼8楼

联系人：康老师

联系方法：*开通会员可解锁*

附件信息:

单一来源采购方式专业人员论证意见.pdf (1.9 M)