介质刻蚀机国际招标公告(1)

1、招标条件

项目概况:名称：介质刻蚀机

数量：1台

原理及用途：CCP刻蚀机通过双射频馈入搭配可实现双区温控的静电吸盘，双区气体分配，2管调节气体，使加工出的器件的关键尺寸达到高度均匀性，反应腔内部能实现低污染加工，其作用主要用于先进CMOS工艺且兼具高选择比的刻蚀需求。

资金到位或资金来源落实情况:已到位

项目已具备招标条件的说明:已具备

2、招标内容

招标项目编号:0664-2640SUMECA27/05

招标项目名称:介质刻蚀机

项目实施地点:中国安徽省

招标产品列表(主要设备):

序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注

1 介质刻蚀机 1 该设备主要由寻边功能模块、上下晶圆模块、机械传输模块、EPD终点检测模块、工艺制程模块、晶圆温度控制器及控制管路等部分组成。其他参数详见第八章 无

3、投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩:①投标人如为境内企业，提供企业法人营业执照或事业单位法人证书，如为境外企业提供企业注册登记证。

②投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书。

③投标人开户行开具的，出具日期在开标前三个月内的资信证明原件或该原件的复印件。

④投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支持和服务能力（提供相关证明材料或承诺书，承诺书格式自拟）。

⑤单位负责人授权书原件。

是否接受联合体投标:不接受

未领购招标文件是否可以参加投标:不可以

4、招标文件的获取

招标文件领购开始时间:*开通会员可解锁*

招标文件领购结束时间:*开通会员可解锁*

是否在线售卖标书:否

招标文件售价:￥2000/$225

5、投标文件的递交

投标截止时间（开标时间）:*开通会员可解锁* 09:30

注：有意向的投标人发送邮件（项目名称+公司名称+联系人方式）获取登记表。

联系人：张 明

电话：136 1121 9639

邮箱：hezuozhaobiao@163.com