深圳大学种子层金属原子层沉积意向公开
发布时间：
2026-04-27
发布于
广东深圳
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深圳大学种子层金属原子层沉积意向公开
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 种子层金属原子层沉积 |
| 预算金额（元）: | 5,050,000.000 |
| 采购品目: | 真空应用设备 |
| 采购需求概况: | 拟采购种子层金属原子层沉积（ALD）设备一台，主要用于高深宽比微结构的金属种子层薄膜沉积。核心需求：具备优异的台阶覆盖率（≥95%）与极佳的成膜均匀性，实现原子级厚度精准控制；配备高稳定性的前驱体输送及温控系统，腔体需具备优异的颗粒污染控制能力；兼容SECS/GEM协议，供应商需提供长期的工艺指导及快速响应的维保服务。 |
| 预计采购时间: | 2026-7 |
| 联系人: | 刘老师 |
| 联系电话: | *开通会员可解锁* |
| 备注: | 无 |
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