深圳大学干进干出化学机械抛光机意向公开
发布时间:
2026-04-27
发布于
广东深圳
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深圳大学干进干出化学机械抛光机意向公开

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深圳大学干进干出化学机械抛光机意向公开
采购单位: 深圳大学
项目名称: 干进干出化学机械抛光机
预算金额(元): 4,750,000.000
采购品目: 电子工业生产设备
采购需求概况: 4/6/8英寸晶圆化学机械抛光,实现晶圆干进干出,盘间自动传输晶圆,配有研磨液供液机。
预计采购时间: 2026-7
联系人: 党老师
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备注:
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准
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