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双靶离子溅射仪
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发布时间:
2026-08-02
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申购主题:双靶离子溅射仪

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申购单位:先进能源学院

商品名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务 规格
双靶离子溅射仪 中科创仪 SC900III 1.0 所有交付货物均为原厂全新正品,随附合格证/出厂检测报告,机身序列号可通过官方渠道溯源查验,到货核验若存在包装破损、参数不符、非全新、非正品原装等问题,供方须在3个工作日内免费更换全新货物并承担全部相关费用;货物需配送至指定点位并放置在指定位置,到货后7工作日内原厂工程师到场完成安装调试,供需双方依次完成到货开箱核验、安装调试验收;由原厂工程师现场提供设备操作、日常维护及基础故障排查培训,确保不少于2名参训人员可独立完成常规操作并交付全套操作维护资料;供方提供至少两次免费现场服务,首次为设备到货后的安装、调试与验收服务,第二次为设备迁至新实验场地时的搬迁、安装与调试服务;整机质保期1年,自最终验收合格之日起计算,质保期内售后故障2-4小时内上门响应,非人为损坏的零部件免费更换,免收上门费与工时费,每年提供1次免费上门巡检校准并出具设备状态检测报告。设备安装验收过程中所需的试剂、耗材以及水电气配套条件,若现场现有条件无法满足,相关物资由供应商自行准备并承担对应成本。 1.镀膜方式 1.1.磁控溅射镀膜:双靶头倾斜式设计,搭配旋转样品台 1.2.碳丝热蒸发镀膜:W型蒸发源 2.磁控溅射模块 2.1.溅射靶头:双靶头设计,支持单靶溅射、双靶共溅及交替溅射 2.2.溅射电流:1-50mA,连续可调,步长1mA,,工作过程可随时调整并实时生效 2.3.溅射时间:1-9999s,连续可调,步长1s,工作过程可随时调整并实时生效 2.4.靶材直径:50mm,支持0.1~2mm厚度 2.5.随机配备金靶,铂靶各两片,φ50×0.1mm 3.碳丝热蒸发模块 3.1.蒸发模式:闪断式或脉冲式 3.2.一次可安装4组碳丝,开机自动检测碳丝状态并在主页显示,使用过程中实时更新碳丝通断状态 3.3.随机配一卷碳绳 φ0.8mm×10m 4.真空系统 4.1.外置旋片式真空泵,抽速≥1L/s(8m³/h),极限真空度≤1Pa 5.样品仓 5.1.磁控溅射镀膜样品仓:170(L)×150(H)×163(D) mm 5.2.碳丝热蒸发镀膜样品仓:φ130×100mm 6.操作控制 6.1.7英寸彩色触摸屏控制 6.2.一键式操作、全自动控制
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