项目 | 总投资1.7亿！浙江美晶改建高端合成熔石英项目

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*开通会员可解锁*，浙江省投资项目在线审批监管平台对“浙江美晶新材料股份有限公司高均匀性长寿命熔石英制造技术研发与产业化项目”环境影响评价文件备案公示。

项目简介：

项目名称：浙江美晶新材料股份有限公司高均匀性长寿命熔石英制造技术研发与产业化项目

建设单位：浙江美晶新材料股份有限公司

建设地点：浙江省杭州湾上虞经济技术开发区东二区

项目投资：总投资17000万元

建设性质：改建

项目建设内容：

项目利用现有厂房，购置大直径VAD设备、大直径真空高温处理炉、抛光机等设备，攻克高均匀性长寿命熔石英制备中的技术难点，重点突破半导体级高温槽沉、超精密退火控温等关键技术，建立全流程质量管控体系，实现合成石英母材生产制造、精密加工、检测全流程自动化、智能化生产，形成年产20套以上熔石英的供应能力。

企业简介：

浙江美晶新材料股份有限公司是国内领先的先进材料高新技术企业，多年来一直深耕于半导体和光伏石英制品材料领域。在石英坩埚制备、石英制品精密加工、高纯度洗净等方面建立了完备的研发体系。

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合成熔石英——高端领域的核心关键材料

合成熔石英以高纯度硅烷（SiH₄）、四氯化硅（SiCl₄）等为原料，通过气相沉积等工艺合成石英母材，再经高温熔融、精密加工制成，内部无天然石英的杂质缺陷，具有极低的杂质含量（金属离子杂质可控制在 ppm 级甚至 ppb 级）、优异的光学透过率、热稳定性和化学稳定性，是半导体、光电子、航空航天等高端领域不可或缺的核心材料。

其制备核心流程可分为三步：

（1）母材合成：主流工艺为气相轴向沉积法（VAD），以高纯度 SiCl₄为原料，在氢氧火焰中水解生成 SiO₂微粒，沉积在旋转的籽晶棒上，逐步生长成多孔的石英疏松体（也称 “烟坯”）；此外还有外部气相沉积法（OVD）、等离子体化学气相沉积法（PCVD）等工艺，适用于不同规格的产品制备。

（2）高温熔制与退火：将石英疏松体放入真空高温处理炉中，约1800-2000℃的高温下进行烧结、熔融，去除内部气孔和杂质，形成致密的石英母材；随后进行超精密退火处理，通过精准控温消除材料内部的应力，提升均匀性和稳定性，这一步是保障材料性能的关键环节。

（3）精密加工与检测：对石英母材进行切割、研磨、抛光等精密加工，使其达到所需的尺寸精度和表面光洁度；最后通过激光干涉仪、光谱分析仪等专业设备进行检测，确保材料的光学性能、纯度、均匀性等指标符合行业标准，形成最终产品。

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合成熔石英应用领域

（1）半导体制造领域：作为光刻系统的核心光学元件材料，用于制备光刻物镜、反射镜、掩模基板等，尤其是 EUV（极紫外）光刻技术中，对合成熔石英的纯度和均匀性要求极高，直接决定光刻精度和芯片制程能力；同时也可用于半导体晶圆制造过程中的高温工艺部件，如石英舟、石英管等。

（2）光电子与激光领域：用于制造高功率激光器的谐振腔镜片、窗口片、光纤预制棒等，其优异的光学均匀性和抗激光损伤阈值，能保障激光器的输出功率和稳定性，广泛应用于激光切割、激光医疗、激光通信等场景。

（3）航空航天与国防领域：作为航空航天光学系统的核心材料，用于制备卫星遥感镜头、红外探测窗口、导弹制导光学元件等，能在极端温度、强辐射等恶劣环境下保持稳定性能。

（3）高端光学仪器领域：用于高端显微镜、望远镜、光谱仪等精密光学设备的核心镜片，其高透光性和低色散特性，可大幅提升仪器的成像质量和测量精度。

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