A.测试前准备

气流流速实施测试时，需要业主排除一切对气流流速产生影响的因素，比如不相干人员的大幅流动，不相干专业的干扰等等；电气专业人员需要提前进行对FFU接电的重新复查，确保每个FFU均在运转；FFU厂商需配合认证机构现场人员，对FFU进行调试，使其达到设计运转状态。

对进入现场的每位人员，必须通过安全培训和洁净室操作培训。认证人员要提前做好以下准备：多点风速仪的检查，包括电量是否充足、配件是否齐全、各个设备的数据是否进行校核等等；如果现场层高较高，需要提前准备好人字梯或者是架子车及相关的安全配件（安全带等）；准备好整个厂房FFU的平面布置图、记录原始数据的笔和表格等。

B.测试目的

确认滤网送出的风速满足设计标准要求。

C.使用仪器

多点风速仪：TSI EBT721

D.1.测试方法和步骤

1.1 首先将多点风速仪置于FFU下方约30mm处。

1.2 其次将每台FFU测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸宜为600mm×600mm。根据现场FFU面积大小，分为四个测试栅格。

1.3 将多点风速仪置于每个栅格中心，等待读数后记录数据。然后计算该FFU的平均风速。调整风机转速，使平均风速符合设计要求。（图1）

E.判定标准

实测风速应在设计值的 80%～120%之间。

2 FFU高效粒子计数器检漏

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

过滤器滤网的材料有可能由于运输或安装过程中的误操作而破损；在安装过程中，安装角度不恰当、松紧程度不一致等都有可能造成边框的泄漏。而滤网完好是保证洁净度的主要因素之一，因此需要对过滤器进行泄漏测试。

C.使用仪器

激光粒子计数器 Lighthouse 1100,Lighthouse 3200

D.1.测试方法和步骤

1.1确认FFU开启。

1.2检漏时将采样口放在离被检过滤器表面2cm~3cm处，宜以1.5cm/s（2.83L/min）或2cm/s（28.3L/min）的速度移动。对被检过滤器进行扫描。当上游浓度较大时可提高扫描速度。

采样口宜为矩形。当上游浓度较大时，可以用更快的扫描速度V，按下式计算：

式中：N0——必要的上游浓度（粒/L）

Q0——最小泄露流量，对普通高效过滤器取0.02L/min,

对超高效过滤器取0.0052L/min；

B——扫描器平行于扫描方向的边长。

F.判定标准

读数未达3粒则判断为不漏。

3 洁净度测试

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

洁净度测试是洁净室性能测试的核心，是判断是否满足厂房生产环境要求的重要环节。

C.使用仪器

激光粒子计数器 Lighthouse 1100,Lighthouse 3200

D.1.测试方法和步骤

1.1准备整个厂房的平面图，进行洁净度点的均匀布置（如下图），并提前了解各个房间的设计级别。

测试点数

最小取样点数计算公式为

SL=

其中（where）SL： (最少测点数)

Area： 面积

面积的单位是平方米，小数点要无条件进位。这个值，就是洁净室洁净度测试的最小测量点数。

注：每个洁净室或洁净独立隔间的最少测点数是 2 点。

1.2测点高度应在距地面0.8m高的工作区面上或根据业主工艺协商确定。

1.3 激光粒子计数器采样口宜朝上；采样管必须干净，连接处不得有渗漏。

1.4利用激光粒子计数器采样。采样的时间最少为1min，每点采样应连续采样3次，3次平均值代表该点数值。当怀疑现场测试结果可能超标时，可以增加采样点数及采样次数。

E.判定标准

4洁净室压差测试

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

此检测动作在于确认无尘室压差是否有达到设计要求。

C.使用仪器

数字微压计 Dwyer 475-00

D.测试步骤

1.1准备整个厂房的平面图，并提前了解各个房间的设计值。

1.2将整个洁净区（室）的门窗全部关闭。

1.3以洁净室邻近的通道、走廊、前室为参照，测量洁净室的压力。对于多个相连的洁净区，应该从距离洁净室外墙最远的洁净区开始逐步向外墙方向进行测量。

1.4记录各个门（房间）的压差测试数据。

E.验收标准

洁净室室内外压差之验收标准由业主所指定。

5洁净室照度测试

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

洁净室的照明用于为工作人员创造一个明亮、舒适的光环境，以提高工作效率，降低视力疲劳，保护工作人员的视觉健康。为获得良好的光环境，必须确定合理的照度。

C.使用仪器

照度计，TSE1350A

D.测试步骤

1.1准备整个厂房的平面图，进行照度点的均匀布置，并提前了解各个房间的照度设计参数。

1.2利用照度计进行各个布点的测试，并记录。

E.验收标准

各洁净室照度值由业主决定或满足设计要求。

6洁净室噪声

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

洁净室的噪声过高会对工作人员的听觉、身体健康都有一定的影响，而且会导致工作效率的降低。为获得良好的声环境，必须确定合理的噪声要求。因此需要确认室内噪声控制在范围之内，以满足业主舒适性要求。

C.使用仪器

声级计

D.测试步骤

1.1准备整个厂房的平面图，进行噪声点的均匀布置，并提前了解各个房间的噪声设计参数。

1.2利用声级计进行各个布点的测试，并记录。

F.验收标准

各洁净室噪声值由业主决定或满足设计要求。

7温度和相对湿度测试

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

确认室内的温湿度控制在范围之内，从而满足业主生产工艺要求或舒适性要求。

C.使用仪器

温湿度仪VAISALA HM40

D.测试步骤

1.1准备整个厂房的平面图，进行温湿度点的均匀布置，并提前了解各个1.2房间的温湿度设计参数。

1.3利用温湿度计进行各个布点的测试，并记录。将整个洁净区（室）的门窗全部关闭。

E.验收标准

满足设计要求。

8洁净室静电测试

A.测试前准备

检查所有需要使用的设备是否完好，并都在有效使用期内。

B.测试目的

洁净室的室内环境中许多场合存在着静电危害，从而导致电子器件、电子仪器和电子设备损坏或性能下降或导致人体遭受电击伤害或导致尘埃吸附影响生产环境洁净度。检验地板导电性能，防止室内静电的危害是具有很大现实意义的。

C.使用仪器

静电测试仪

D.测试步骤

1.1准备整个厂房的地板平面图。

1.2将电极分别放置在两个地板块上，电极间距900mm，测量电阻。

1.3测量导电地板与结构接地之间的电阻，将一个电极安装在接地极，另一个电极安装在架高地板表面。

1.4将每个架高地板块的电阻标记在房间平面图上。

E.验收标准

各洁净室静电值由业主决定或满足设计要求。