12吋晶圆等离子划片机
发布时间:
2026-04-02
发布于
北京朝阳
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12吋晶圆等离子划片机
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 12吋晶圆等离子划片机
预算金额: 1880.000000万元(人民币)
采购品目:

A02330300-电子工业生产设备

采购需求概况 :

用于12吋三维异质异构集成混合键合技术研发,开展超薄低缺陷芯片的制备,实现高洁净度无颗粒污染的芯片划切,支撑芯片与晶圆的无缺陷键合,项目承担单位目前无相关设备,急需该设备支撑项目研发。

预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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