A02100399其他光学仪器

采购一套超环面镜及后置聚焦镜镜箱系统，包含两套独立的精密调节与压弯机构和真空腔体，分别用于超环面镜和后置聚焦镜的姿态调节与面形控制。 技术规格要求 压弯调节：子午面型误差需小于1.5 μrad。压弯分辨率、重复精度及8小时稳定性需分别优于工作半径的1%、4%及2%。其中，超环面镜工作半径为16.9 km（调节范围10-20 km），后置聚焦镜工作半径为7.7 km（调节范围5-15 km）。 真空度：整个系统真空度优于< 4×10-9 Torr。 姿态与平移调节：需具备三维转动及二维平移调节能力。投角(绕X轴)调节范围不小于±0.8°，分辨率优于0.8 μrad，重复精度优于4.44 μrad，10分钟稳定性优于0.2 μrad（RMS，5-100Hz）；滚角(绕Y轴)调节范围不小于±0.8°，分辨率优于2.08 μrad，重复精度优于11.58 μrad；摆角(绕Z轴)调节范围不小于±1.375°，分辨率优于1 μrad，重复精度优于5.16 μrad。X向平移范围不小于±35 mm，分辨率优于0.625 μm，重复精度优于1.61 μm；Z向平移范围不小于±30 mm，分辨率优于0.5 μm，重复精度优于2.78 μm。

上海交通大学光束线聚焦系统研制