激光隐形切割成套设备
发布时间:
2026-04-02
发布于
北京朝阳
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激光隐形切割成套设备
项目所在采购意向: 中国科学院微电子研究所2026年6至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院微电子研究所
采购项目名称: 激光隐形切割成套设备
预算金额: 1000.000000万元(人民币)
采购品目:

A02330300-电子工业生产设备

采购需求概况 :

用于12吋三维异质异构集成混合键合技术研发,制备超薄低缺陷芯片,控制芯片表面颗粒与边缘加工所带来的缺陷,支撑芯片与晶圆的高质量键合,项目承担单位目前无相关设备,急需该设备支撑项目研发。

预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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