其他仪器仪表

本次拟购置的环保设备包含喷淋洗涤塔、活性炭吸附装置、玻璃钢变频离心风机、废液储存罐及综合废水处理设备。本实验室洁净间在日常运行过程中，主要产生两类污染物：一类是各类器皿、实验器具清洗过程中产生的清洗废水，另一类是光刻材料制备与检测环节挥发的有机废气。本次设备购置的核心目的，一方面是通过系统化的废气处理流程，避免腐蚀性、刺激性气体侵蚀洁净间内的精密光学与检测设备，保障仪器精度与使用寿命；另一方面是从源头控制污染物扩散，全面保护实验室工作人员的职业健康安全。经喷淋洗涤塔预处理、活性炭吸附装置深度净化后的尾气，可稳定满足国家及地方规定的大气污染物排放标准，实现实验室污染物的合规化、闭环式处理。本次拟购置的环保设备包含喷淋洗涤塔、活性炭吸附装置、玻璃钢变频离心风机、废液储存罐及综合废水处理设备。本实验室洁净间在日常运行过程中，主要产生两类污染物：一类是各类器皿、实验器具清洗过程中产生的清洗废水，另一类是光刻材料制备与检测环节挥发的有机废气。本次设备购置的核心目的，一方面是通过系统化的废气处理流程，避免腐蚀性、刺激性气体侵蚀洁净间内的精密光学与检测设备，保障仪器精度与使用寿命；另一方面是从源头控