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薄膜溅射系统
发布时间:
2026-04-30
发布于
北京海淀
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薄膜溅射系统
项目所在采购意向: 北京大学*开通会员可解锁*政府采购意向
采购单位: 北京大学
采购项目名称: 薄膜溅射系统
预算金额: 1536.160000万元(人民币)
采购品目:

A02330300电子工业生产设备

采购需求概况 :

PZT薄膜溅射系统主要用于在8英寸晶圆上沉积PZT压电薄膜及Pt、Ti等关键电极与缓冲层薄膜,以 精确定义器件的压电换能层、电极界面及应力匹配层

预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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