A02100301显微镜

规格：4m×5m×2.5m 关键技术参数： 分辨率：0.6 nm @ 15 kV，SE ；1.0 nm @ 1 kV，SE ； 加速电压：20 V ~ 30 kV ； 放大倍率：1 ~ 2,500,000 x ； 电子枪类型：肖特基场发射电子枪； 背散射电子探测器：四分割布局，每个分割可单独工作（开启、关闭、取反）； 能谱仪：有效晶体面积≥100mm2； 电子背散射衍射探测器：像素分辨率（1244x1024），在线最高解析标定速度高达5700点/秒； 原位纳米压痕仪：最大压痕深度≥25µm，此范围内的位移背景噪音≤0.05nm； 原位力学拉伸台：载荷范围：±2000N，载荷精度等级：0.5%；最大行程：20mm，位移分辨率：100nm，最高温度：600℃。