序号

采购项目名称

预算金额(万元)

预计采购日期

1

中心平台系统

300

*开通会员可解锁*

2

高能工业CT

5000

3

动态力学分析仪

150

4

高分辨红外测温系统

150

5

感应加热等离子体风洞原位表征设备

3600

6

原位表面衍射线站实验站（极端力学原位试验装置）

540

7

原位纳米探针线站实验站（单晶定向凝固原位试验装置）

430

8

混合型氨合成催化剂

363

*开通会员可解锁*

9

钛合金构筑成形实验平台

1880

10

储存环联锁核心模块

216

11

高通量表征线站实验站（热力模拟原位试验装置）

500

12

深HK天材料大光斑成像线站实验站（热处理原位试验装置）

270

13

深HK天材料高通量散射线站实验站（海水高压原位试验装置）

2000

14

金属有机气相沉积（3C-SiC）

880

*开通会员可解锁*

15

金属氧氮化物原子层沉积

150

16

超高真空磁控溅射

210

17

太阳电池功能层真空蒸镀设备

170

18

太阳电池活性层真空蒸镀设备

280

19

真空高低温循环设备

190

20

原子氧设备

300

21

液相法单晶炉（3C-SiC）

150

22

储存环真空系统全金属屏蔽阀门

2250

23

储存环真空系统全金属角阀

120

24

储存环束测系统零部件

300

25

储存环逐束团反馈功率放大器

100

26

储存环双PIN光电二极管

192.4

27

储存环束测系统逐束团反馈处理器

120

28

储存环束测系统DCCT探头组件

160

29

条纹相机子系统

350

30

X射线吸收谱学线站实验站（热力化耦合原位试验装置）

724

31

质子膜高通量表征腔体与线站集成组件

300

32

质子膜环境互联模块

200

33

质子膜流变仪

250

34

D1软分支实验站（透射电镜液体加热原位表征装置）

182

35

固态电池材料专用线站实验站（校验型散射谱仪）

970

36

涂层沉积原位研究装备

556

37

服役原位装备

100

38

质子膜AI制备系统

480

39

质子膜薄膜印刷机

250

40

锂电池全流程组装系统

150

*开通会员可解锁*

41

复合材料界面力学性能评价装置

165

*开通会员可解锁*

42

高通量晶圆正极超快烧结装置

300

43

高通量负极晶圆镀膜装置

280

44

面向晶圆的多靶集流体镀膜机

160

45

晶圆级电解质镀膜设备

140

46

电化学工作站

135

47

储存环真空系统吸气剂泵

2030

48

接触式光刻机

500

49

步进式光刻机(350nm)

2500

50

自动涂胶显影

1300

51

电子束曝光机

2500

52

自动去胶机

160

53

ICP刻蚀机1

750

54

ICP刻蚀机2

950

55

原子层刻蚀ALE

450

56

深硅刻蚀机

750

57

原子层沉积设备ALD

800

58

IBE离子束刻蚀机

500

59

磁控溅射设备（金属）

300

60

磁控溅射设备（氧化物）

300

61

PECVD

300

62

电子束蒸发台

200

63

快速退火炉

100

64

湿法清洗系统

100

65

机械划片机

130

66

激光划片机

300

67

超快激光测量系统

250

68

其他小型配套设备

300

69

增强器束测系统零部件

140

70

储存环真空系统真空规计

320

71

储存环真空系统RGA

336

72

多工位3温区氧化装置

140

73

多工位高温碳化装置

160

合计

43229.4

来源：中国政府采购网

整理：化工仪器网