项目概况

电子束光刻机等设备购置项目招标项目的潜在投标人应在政采云平台线上获取招标文件，并于*开通会员可解锁* 09:00（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：1499002026AGK03018

项目名称：电子束光刻机等设备购置项目

预算金额（元）：*开通会员可解锁*

最高限价（元）：6000000,3900000

采购需求：

标项一 标项名称: 第一包 数量: 预算金额（元）：6000000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途： 本项目计划采购电子束无掩膜直写光刻系统，该设备是支撑前沿科研与高水平人才培养的刚性需求。在微纳电子、量子器件、纳米光子学等领域，器件的特征尺寸不断逼近纳米乃至亚纳米尺度，已有的传统紫外光刻受衍射极限限制已难以满足加工精度要求，而电子束直写光刻能够实现亚10纳米以下的超高分辨率图形加工，是突破这一瓶颈的核心手段。高校科研研究课题方向多元、器件结构频繁调整、版图设计持续优化，传统依赖掩模版的光刻方式不仅制版周期长达数周、成本高，而且每一次设计修改都意味着重新制版，制约了研发效率。电子束无掩膜直写系统通过软件直接导入设计图形即可完成直写曝光，无需制作任何物理掩模版，将“设计—验证—优化”的迭代周期从数周压缩至数小时，此外，该系统能够兼容PMMA、HSQ等多种电子束光刻胶，并可与蒸发、溅射、刻蚀等工艺无缝衔接，构建完整的器件制备工艺链，一台设备即可支撑量子器件、超导结构、超构表面、光子晶体、MEMS传感器等多个差异化研究方向的微纳加工需求。采购该系统有望提升纳米器件微纳加工能力与器件设计水平，有助于开展量子科技、纳米光学等前沿领域研究。 备注：

标项二 标项名称: 第二包 数量: 预算金额（元）：3900000 简要规格描述或项目基本概况介绍、用途： 本项目拟采购一台氢化物气相外延（HVPE）设备，重点服务于超宽禁带氧化镓（β-Ga₂O₃）单晶薄膜的外延生长及工艺开发。设备需突破传统氮化物生长限制，具备优异的氧基气氛控制能力与高纯度气路系统，支持高质量、大厚度氧化镓外延层的制备；需实现反应室超高温的精确调控、常压/低压双模稳定运行及多路气体流量的毫升级精准配比，并集成原位监测系统以实时追踪高低温相变过程。供应商须提供从设备安装环境设计、设备运输、超高纯管路安装调试到氧化镓专用工艺开发的全方位技术支持，对操作人员进行系统性培训，并建立快速响应的售后维护机制，以保障设备在苛刻工艺条件下的长期稳定运行。 备注：

合同履约期限：标项 2，合同签订后90日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。 ;标项 1，合同签订后180 日内将所有货物交付到中北大学校内采购人指定地点。

本项目（否）接受联合体投标。

二、申请人的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：供应商应符合中小企业，请根据要求上传《中小企业声明函》，格式以采购文件要求为准；；供应商应符合中小企业，请根据要求上传《中小企业声明函》，格式以采购文件要求为准；

3.本项目的特定资格要求：包1：无；包2：无

三、获取招标文件

时间：*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*，每天上午00:00:00至12:00:00，下午12:00:00至23:59:59（北京时间，法定节假日除外）

地点：政采云平台线上

方式：在线获取

售价（元）：0

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：*开通会员可解锁* 09:00（北京时间）

投标地点（网址）：请登录政采云投标客户端投标

开标时间：*开通会员可解锁* 09:00

开标地点：山西省太原市万柏林区山西省太原市迎泽西大街86号信达国际金融中心二十四层（电梯25A）2410会议室山西华鑫泰建设项目管理有限公司

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.投标人须按照中国政府采购网山西分网（http://www.ccgp-shanxi.gov.cn/home.html）办事指南-下载专区的《山西-入驻与配置操作指南-供应商》《CA申领办理》《CA管理操作指南—CA登录》等相关操作指南进行投标。2.开标时投标人远程解密投标文件。3.潜在投标人对招标公告有异议时，应当在法律、法规规定的期限内，通过山西政府采购平台“项目质疑管理”栏向采购人、采购代理机构在线提起质疑。针对本项目同一采购程序环节的质疑需一次性提出，多次提出将不予受理。 监督部门：山西省财政厅政府采购管理处，监督电话：*开通会员可解锁*。

代理费支付方式： 供应商支付

代理费收费标准： 中标服务费按[100万元×1.5%+(500万元-100万元)×1.1%+(各包中标金额-500万元)×0.8%]×70%（含税）收取，请供应商在测算报价时充分考虑这一因素。

代理费收费金额（元）： /

七、对本次采购提出询问，请按以下方式联系

1.采购人信息

名 称：中北大学

地 址：太原市尖草坪区学院路3号

联系方式：*开通会员可解锁*

2.采购代理机构信息

名 称： 山西华鑫泰建设项目管理有限公司

地 址：山西省太原市迎泽西大街86号信达国际金融中心十三层（电梯12B）1311室

联系方式：*开通会员可解锁*、*开通会员可解锁*

3.采购代理机构信息

项目联系人： 郝晓月、叶静丽、李玥炎、张雅洁、赵蓉、张晓庆

电 话：*开通会员可解锁*、*开通会员可解锁*

附件信息：

招标文件--电子束光刻机等设备购置项目(1).docx

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