碳化硅功率器件湿法工艺提升项目
发布时间：
2025-07-17
发布于
湖北武汉
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022项目名称：碳化硅功率器件湿法工艺提升项目
项目代码:2507-42*开通会员可解锁*-641327
建设内容及规模：本项目进行碳化硅功率器件湿法工艺产业化技术改造，拟购置全自动清洗机、湿法刻蚀机、减薄机及化学镀设备等约15台（套）。专项提升高精度清洗、选择性刻蚀、晶圆减薄及欧姆接触金属化工艺，实现降低表面缺陷密度、优化接触电阻特性，支撑高良率器件规模化量产。
项目单位：长飞先进半导体（武汉）有限公司
事项名称：
总投资：13000.0
拟开工时间：2025-07
申报日期：*开通会员可解锁* 17:49:30
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