序号

项目

名称

建设

单位

环境影响

评价机构

评估单位

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1

晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料制备项目

化合积电(呼和浩特)半导体科技有限公司

内蒙古华晨工程咨询有限公司

项目位于呼和浩特市经济技术开发区沙尔沁工业园区，项目厂区中心点经纬度为：经度：111°41′30.121″,纬度：40°33′2.856″。本项目建设年产20000片晶圆级宽禁带半导体金刚石衬底材料生产线。租用标准化厂房4号厂房，一层生产车间面积为1230㎡，拟放置型号为915MHz、70kW的MPCVD设备42台，配套5L/min流量制氢机22台，二层的生产车间面积为1385㎡，预配套MPCVD规格为：2450MHz105台，配套3L/min流量制氢机30台，危废库2㎡，同时配套冷却水系统、纯水制备系统等。项目总投资3000万元，其中环保投资22万元，占总投资比例的0.7%。

1、废气：⑴边界无组织非甲烷总烃可满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》 (GB37822-2019)表A.1厂区内VOCS无组织排放限值中特别排放限值要求以及《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中非甲烷总烃无组织排放限值4mg/m3要求。⑵喷砂无组织粉尘可以满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中颗粒物无组织排放限值1mg/m3的要求。

2、废水：本项目废水主要有生活污水和冷却塔冷凝废水及纯水制备系统废水；以上废水进入市政污水管网，最终排至园区污水处理厂，可满足《污水综合排放标准》(GB8978-1996)中三级标准，同时满足园区污水处理厂接收水质标准。

3、噪声：本项目主要噪声源包括：冷却塔、新风机等。选用低噪声设备，采取设备减振，车间隔声措施后，厂界环境噪声须满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准的要求。

4、固废：本项目建成后产生的固废主要为生活垃圾、喷砂粉尘、废化学试剂瓶、废活性炭及滤芯、超声废液、检验不合格品。生活垃圾委托环卫部门处理；喷砂粉尘收集后由有资质单位处置；纯水过滤系统废活性炭及滤膜更换时厂家直接回收利用；不合格品收集后降级外售；超声废液、废化学试剂瓶暂存于危废库，定期委托有资质的单位进行处理。