沈阳星光碳化硅基半导体核心零部件生产项目
发布时间:
2025-08-29
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沈阳星光新材料有限公司位于辽宁省沈阳市新民市胡台新城繁荣六路,拟投资15000万元,总占地面积13334平方米,总建筑面积16600平方米,新建沈阳星光碳化硅基半导体核心零部件生产项目,厂区新建1座2层生产车间,生产车间内设置高纯碳化硅炉管生产线1#、高纯碳化硅晶舟生产线2#、各类炉腔配件生产线3#,同时配备生产设备及配套环保设施。项目建成后,预计生产能力为高纯碳化硅炉管1900支/年,高纯碳化硅晶舟1700支/年,各类炉腔配件2200支/年。本项目产品用途:生产半导体时所使用的支撑半导体的支架/托盘,属于生产半导体器件专用设备中配套用集成电路设备。

一、项目建设的主要环境影响

1、大气环境影响主要为:投料、混料、修坯、烧结过程中产生的颗粒物;烘干脱蜡、机械加工、危废贮存过程中产生的有机废气(非甲烷总烃)。

2、水环境影响主要为:生活污水。

3、声环境影响主要为:混料机、搅拌机、挤出机、等静压机、热压铸机、烧结炉、平面磨、外圆磨、切槽机、雕刻机、线切割机、风机等设备工作时产生的噪声。

4、固体废物影响主要为:废包装材料、废砂纸、废边角料、不合格毛坯、不合格产品、废布袋、除尘灰、沉降灰、废脱模剂、废模具、含切削液的废渣、废切削液、废蜡、废活性炭、废润滑油、废含油抹布、废润滑油包装桶、废脱模剂包装桶、废切削液包装桶、生活垃圾。

二、减缓项目建设环境影响的主要措施

1.落实大气污染防治措施

本项目投料、混料工序的混料机、搅拌机均设置包围型集气罩(三面固定围挡,一面设置软帘仅在作业时敞开),废气经收集后进入袋式除尘器处理,处理后的废气由一根20米高排气筒(DA001)排放。废气中颗粒物排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)中表2二级标准要求。

本项目烧结工序的烧结炉设置包围型集气罩(三面固定围挡,一面设置软帘仅在作业时敞开),废气经收集后进入袋式除尘器处理,处理后的废气由一根18米高排气筒(DA002)排放。废气中颗粒物排放浓度应满足《工业炉窑大气污染物排放标准》(GB 9078—1996)表2二级标准及《辽宁省工业炉窑大气污染综合治理实施方案》(辽环函〔2020〕29号)标准要求。

本项目烘干脱蜡工序的烘干箱设置包围型集气罩(三面固定围挡,一面设置软帘仅在作业时敞开);危废贮存库整体密闭,有机废气(非甲烷总烃)通过负压收集,上述废气共同经一套二级活性炭吸附装置处理,处理后的废气由1根20米高排气筒(DA003)排放,废气中非甲烷总烃排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)中表2二级标准要求。

人工修坯及机械加工工序均位于封闭区域。人工修坯工序产生的颗粒物产生量极小,通过密闭车间内自然沉降;机械加工工序产生的有机废气(非甲烷总烃)通过机加设备自带的油雾净化器处理后无组织排放。厂界处颗粒物排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)中表2无组织排放监控浓度限值,有机废气(非甲烷总烃)排放浓度应满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297—1996)中表2无组织排放监控浓度限值;厂房外有机废气(非甲烷总烃)排放浓度应满足《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB 37822—2019)中无组织排放监控点污染物浓度限值中特别排放限值。

2.落实水环境污染防治措施

本项目生活污水经厂区防渗化粪池处理后,暂由新民市普林特开发建设投资有限公司定期收集并运送至现有的胡台污水处理厂集中处理,远期通过市政污水管网排至胡台南部产业园区规划的净瑞污水处理厂处理。废水中pH排放执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4三级标准,其余污染物排放执行《辽宁省污水综合排放标准》(DB21/1627-2008)表2中排入污水处理厂标准。

3.落实噪声污染防治措施

本项目采用基础减震、建筑隔声、距离衰减等降噪措施进行降噪,厂界四周噪声排放均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348—2008)中3类标准限值。

4.落实固体废物污染防治措施

废脱模剂、废模具、含切削液的废渣、废切削液、废蜡、废活性炭、废润滑油、废含油抹布、废润滑油包装桶、废脱模剂包装桶、废切削液包装桶属于危险废物,收集后暂存于按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB 18597-2023)建设的危废贮存库内,并按照《危险废物收集贮存运输技术规范》(HJ 2025-2012)等相关要求进行规范管理,定期委托有资质的单位处置。

废包装材料、废砂纸、废边角料、不合格毛坯、不合格产品、废布袋、除尘灰、沉降灰属于一般工业固体废物,分类分区暂存于满足防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求的一般固体废物暂存区内,按照一般工业固体废物处置。生活垃圾由环卫部门统一清运。

根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,经审查,*开通会员可解锁*我局对1个建设项目环境影响评价文件做出审批决定。现将做出审批决定予以公告,公告期为*开通会员可解锁**开通会员可解锁*。(7日)
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