全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统项目已具备招标条件，招标项目资金已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统

1.2 招标编号：*开通会员可解锁*A001

1.3项目概况：

本次全自动ICP-PECVD绝缘介质层沉积系统设备招标采购旨采满足科研生产需求，其包含2个6英寸工艺腔（1个ICPCVD腔和1个PECVD腔）和与之配套的预真空腔、传片机构、控制终端、射频系统、真空系统、控温系统等。更多指标详见第八章技术规格。

关键技术参数：

1. ICPCVD工艺腔：沉积速率≥60nm/min（SiO2）；折射率范围不超过1.46±0.02（SiO2）；片内均匀性≤3%；片间均匀性≤3%。

2. PECVD工艺腔：沉积速率≥100nm/min（TEOS SiO2）；折射率范围不超过1.46±0.01（TEOS SiO2）；片内均匀性≤4%；片间均匀性≤3%。

更多技术指标详见第八章。

1.4 数量：1套。

1.5 交货期：合同签订后12个月内到货。

1.6 项目现场：西安飞行自动控制研究所指定地点。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。

2.3本项目不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人应通过本链接: k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招标文件费用，支付后请自行提交电子发票申请(需再次进入链接点击消费记录后填写开票信息)，电子发票将自动发 潜在投标人将付款凭证（形式不限）和发票上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。

3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。

4. 未在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先点击注册。登录成功后的在 招标会员 区根据招标公告的相应说明获取招标文件！ 咨询电话：*开通会员可解锁* 手 机：*开通会员可解锁* 联系人：李杨 QQ:1211306049 微信：Li*开通会员可解锁* 邮箱：1211306049@qq.com 来源：中国电力招标采购网 备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术及商务信息服务费后，查看项目业主，招标公告并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按会员区招标信息详细内容为准。 编辑：hnjmrh.gov