铁电3D NAND 沟道深孔刻蚀工艺代工

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一、合同编号： 2500120804

二、合同名称： 铁电3D NAND 沟道深孔刻蚀工艺代工

三、项目编号： HW20250744、ZCZB-2512-ZF202

四、项目名称： 华中科技大学铁电3D NAND 沟道深孔刻蚀工艺代工服务项目

五、合同主体

采购人（甲方）： 华中科技大学

地 址： 武汉市洪山区珞喻路1037号

联系方式：李老师、*开通会员可解锁*

供应商（乙方）：上海旭择电子零件有限公司

地 址：上海市闵行区春光路99弄62号三楼东304室

联系方式：139****4799

六、合同主要信息

主要标的名称：铁电3D NAND 沟道深孔刻蚀工艺代工

规格型号（或服务要求）：提供20片设计晶圆，12英寸，并清洗，100层及以上的氧化硅和氮化硅叠层，进行深孔刻蚀，深度>1um，孔径应在30~500nm。

主要标的数量：1套

主要标的单价：*开通会员可解锁*

合同金额： 189.880000万元

履约期限、地点等简要信息：详见合同

采购方式： 竞争性磋商

七、合同签订日期： *开通会员可解锁*

八、合同公告日期： *开通会员可解锁*

九、其他补充事宜：

附件：

2500120804.pdf

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