衍射型套刻偏差量测仪和影像型套刻偏差量测仪

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一、合同编号： XKL-IME01

二、合同名称： 衍射型套刻偏差量测仪和影像型套刻偏差量测仪

三、项目编号： OITC-G250392995

四、项目名称： 中国科学院微电子研究所衍射型套刻偏差量测仪和影像型套刻偏差量测仪采购项目

五、合同主体

采购人（甲方）： 中国科学院微电子研究所

地 址： 北京朝阳区北土城西路3号

联系方式：82995579

供应商（乙方）：北京新凯来精奕机器有限公司

地 址：北京市北京经济技术开发区荣华中路19号院1号楼B座11层1118室

联系方式：*开通会员可解锁****

六、合同主要信息

主要标的名称：衍射型套刻偏差量测仪和影像型套刻偏差量测仪

规格型号（或服务要求）：Overlay 量测装备 TMS5000；Overlay 量测装备 TMS1000

主要标的数量：2

主要标的单价： 23730000;22035000

合同金额： 4576.500000万元

履约期限、地点等简要信息：北京 6月内

采购方式： 公开招标

七、合同签订日期： *开通会员可解锁*

八、合同公告日期： *开通会员可解锁*

九、其他补充事宜：

附件：

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