脉冲激光沉积设备（清采比选20252344号）成交结果公告

发布时间：*开通会员可解锁* 13:59:55

成交信息

供应商：安徽外延科技有限公司

成交金额：￥

选标理由：

项目信息

采购项目名称：脉冲激光沉积设备

采购项目编号：清采比选20252344号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 09:11:54

公告截止时间：*开通会员可解锁* 10:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后20个工作日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%

交货地址：北京市清华大学

供应商特殊资质要求：

物资名称：脉冲激光沉积设备

采购数量：1.0

计量单位：台

质保期：12个月

技术参数及配置要求

1 超高真空主腔 1.1 超高真空主腔无磁，不锈钢材质，腔体内部电解抛光处理 1.2 抽真空后腔体背底真空优于7E-7Pa。 1.3 主腔体法兰包括：快开门(带玻璃观察窗)，水平激光入口，双面镀膜石英窗口，差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空，分子泵抽气口，真空计入口，气体入口，样品台入口，样品挡板入口，红外测温和加热以及观察，镀膜视窗 2 真空获取和测量系统 2.1 主腔体分子泵，抽速≥690 L/s，分子泵和主腔体之间通过气动闸板阀隔离，前级涡旋干泵抽速≥14m3/h。 2.2 主腔体配有全量程真空计1个（5×10-9 mbar到1000 mbar） 2.3 配有1套薄膜规，量程0.001~0.1 Torr，其精度不低于0.5%读取值，用于精确控制生长时的工艺压力，薄膜规的读数分辨率不低于0.003%FS 3 样品台和激光加热系统 3.1 扫描靶台，四轴运动：XY:±12.5mm，Z:80mm 3.2 红外激光加热器120 W，温度RT-1000 ℃ 3.3 红外测温仪，测量范围240-1400℃ 3.4 红外激光和测温光路集成模块，具有易操作光路调试系统，光斑大小方向可调 3.5 红外加热PID温度控制器，样品升温速率0-50℃/min可调，精度0.5度 3.6 SiC样品托，样品最大尺寸1英寸 4 扫描靶台系统 4.1 四轴靶台；无磁钛合金靶托；插拔式扫描靶托 5 气路 5.1 高精度流量控制计，流量范围：0-100 sccm；高压气体入口阀 6 系统支撑台和激光入口光路 6.1 可移动铝型材桌，带脚轮和水平脚架；进口高损伤阈值248nm光学透镜，焦距f=500mm；透镜支架；透镜滑轨 7 可拓展激光防护架 7.1 铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，可拓展到多个系统；进口2英寸激光反射镜和配套反射镜支架 8 控制和辅助系统 8.1 工艺气压控制、样品台加热软件控制模块