8英寸手动探针台（清采比选20252306号）采购公告

发布时间：*开通会员可解锁* 10:40:31

项目信息

采购项目名称：8英寸手动探针台

采购项目编号：清采比选20252306号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 10:40:31

公告截止时间：*开通会员可解锁* 11:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后3个工作日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后50%，验收合格后50%

交货地址：北京市清华大学

供应商特殊资质要求：

物资名称：8英寸手动探针台

采购数量：1.0

计量单位：套

质保期：12个月

技术参数及配置要求

1. 台体： ①　尺寸: ≤750mm长×700mm宽×700mm高； ②　探针平台具备旋钮快速升降手柄（提供实机照片），并且调节档位不少于两档，粗调优于3mm和微调优于300μm，探针平台可以上下微调，行程≥30mm，升降精度≤1µm； 2. 样品台及温控系统： ①　直径不小于8英寸，平整度≤±10µm； ②　X-Y-Z轴行程：≥200mm×200mm×40mm，每个轴都带有自锁功能；R轴旋转行程为≥±45°，卡盘角度可旋转微调，调节精度优于0.002°； ③　Chuck采用气控式卡盘移动技术，气浮具备快速移动功能， X轴可单独移动，Y轴可单独移动，XY轴可同步移动，XY轴可同时锁死； ④　具备微调移动模式，卡盘X/Y轴为无间隙移动，移动精度优于1µm； ⑤　真空吸附方式具备中心吸附孔和外围多孔吸附，具有8、6、4、2英寸以及中心真空吸附孔，采用独立控制方式；并配有AS-568 O型圈至少两根，全氟复合材料：8575，尺寸329.79×3.53mm。 ⑥　卡盘三轴结构，带顶板层，防护层和接地屏蔽层；卡盘顶板层的电学独立悬空，具备背电极接口；卡盘漏电流≤300fA@10V@25℃；（提供实测设备卡盘漏电测试数据图）；卡盘具备加热功能，温度范围为室温~300℃，温度设置和显示分辨率优于0.1℃； ⑦ 温度稳定性：优于±0.1℃，温度均匀性：室温~100℃ <±0.5℃；100℃~150℃：±0.75%；150℃~200℃：±1% ; 200℃~300℃：±2℃；（提供温度均匀性实测数据报告） ⑧　卡盘温度升降温时间：室温~200℃: 不大于25 min；200~300℃: 不大于20 min；300℃~室温: 不大于50 min； ⑨　卡盘温控系统可触摸屏控制，可编程控制升温，带通信接口，有温度补偿功能，可以精确显示Chuck 表面真实温度，可编入集成测试软件系统； ⑩　配有水冷机和管路，用于卡盘的降温和卡盘与卡盘安装底座间的温度隔离； 3. 光学系统：配备光学显微镜，CCD相机，21英寸及以上高清显示器 ①　可调节显微镜XY轴移动范围不小于2 inch × 2 inch，精度优于1微米；显微镜Z轴可气动升降大于等于50mm； ②　目镜倍率不小于20倍，总的放大倍率范围优于16倍~100倍，带环形LED光源； ③　配有显微镜调焦机构：Z 轴移动行程 不小于50mm； ④　具备CCD接口； ⑤　具备HDMI接口，高清1/2英寸CCD相机，分辨率优于1920×1080（1080p），帧率优于60fps，带SD卡可存储无压缩BMP格式图片，带HDMI视频线缆，3米长； ⑥　配置21英寸及以上高清显示器，带HDMI 和 VGA接口； 4. 直流探针座及针座平台： ①　探针座尺寸不大于115mm长×115mm宽×115mm高； ②　探针座X-Y-Z 方向的移动行程分别为≥14mm，移动分辨率优于0.6μm/°，线性移动，磁力吸附，带开关，针座螺纹间距100 TPI及以下，数量不少于5套； ③　配有开尔文探针夹具，带两个独立的SSMC公接头，漏电流优于100fA/10V @25℃，数量不少于 4套； ④　配有开尔文探针夹具安装转接块，数量不少于 4套； ⑤　配有开尔文探针夹具使用同轴探针（针尖直径不大于5μm），数量不少于 1套； ⑥　配有开尔文探针夹具使用线缆（每套含两根线）接头形式为SSMC母转三轴接头公，漏电流优于100fA/10V @25℃，数量不少于 4套； ⑦　探针平台升降调节功能可加装探针卡，针卡可重新定位； 5. 配备屏蔽箱，具有开门结构，空气弹簧结构，带接地端子，左右两侧有转接头安装板，每侧不少于8个孔位；后部有隐蔽型线缆出口；屏蔽箱独立于防震平台设计； 6. 配备防震桌：固有频率＜1.5Hz~3Hz，同负载和实际使用情况相关；平面度：0.02~0.05mm/600mm×600mm；台面加支架总高度低于800mm，总高度可调范围优于-10~+15mm； 7. 配备探针电学测试系统：NAS网络存储数据备份模块，不少于四核心四盘位，配备不少于2块8TB硬盘；配备数据处理模块：显示屏不小于14英寸、处理器不低于M5(10+10核)、内存不低于24G、存储容量不低于1T固态； 8. 配备射频磁吸针座含针臂（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ①　配置左、右手系射频针座各不少于1支； ②　XYZ行程不小于12.5mm/12.5mm/12.5mm。特征分辨率<1μm，丝杆周圈分辨率优于250μm； ③　Theta轴调节范围±5°，Footprint尺寸不大于90mm×60mm，磁吸或真空方式； ④　针座侧板具有阵列丝孔位置，方便调整探针的Z方向安装高度； ⑤　针座具备高精度交叉滚子轴承设计方案，三个方向独立性稳定可靠性； ⑥　具备过行程保护机制避免针座锁止产生应变，破坏精度； ⑦　满足晶圆级射频测试，具备直流混合多触点测试功能。 9. 配备超高频DC至67GHz波段共面波导探针（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ①　配备超高频波段共面波导探针，频率范围DC-67GHz，探针同轴接口1.85mm（Female），45°斜角或者90°直角可以根据电缆灵活选配。 ②　插入损耗＜2.0dB@65GHz@100-250μm Pitch； ③　针尖结构与Pitch间距：GSG、150μm和100μm； ④　探针承受温度范围-65℃-200℃；最大DC电压/电流：200V、5A；承载最大射频功率30W@2GHz，承载最大射频功率8W@10GHz； ⑤　Rc接触电阻典型值＜100mΩ（AL)； ⑥　寿命＞500万次@Au Pad；可测试最小Pad尺寸：80μm×80μm； ⑦　数量：Pitch 150μm规格2支，Pitch 100μm规格1支； 10. 配备超高频DC至67GHz波段校准片（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ①　校准片支持Pitch 100-250μm 间距67GHz及以下频率探针校准，支持SOLT、SOLR、LRRM、LRM、TRL、Multi-Line TRL等校准算法； ②　包含不少于40组GSG校准图案，每组含有Load、Short、Thru图案，且50Ω Load直流电阻的精度≤±0.3%，另外含有不少于8个OPEN图案； ③　校准基片除了校准的图案外，还需携带不少于5组10条验证延迟线, 分别为3.0ps、7ps、14ps、27ps、40ps，可用于校准质量验证以及支持TRL等校准算法； ④　校准片上包括探针对准Align Mark的图案，以提升扎针效率和质量； ⑤　数量：不少于1片 11. 配备探针接触调水平片 ①　配置接触调水平片不少于1片，用于调整射频探针针尖的共面性； ②　基板尺寸近似15mm×22mm，陶瓷材质，表面镀金。 12. 配备高稳定性裸纤光针及支架 ①　配置多模带lens透镜光波探针及裸纤探针各一套。 ②　波长范围850nm-1550nm，插入损耗＜0.5dB； ③　尾纤接口FC/APC； ④　裸纤针规格可以根据需求进行更换，可选单模/多模、LENS/斜面针尖； ⑤　具备找光效率高优势，便于快速定位。针臂与铰合支点齐平，且肘臂旋转到最低位置时，裸光纤头与竖直方向≤9°； ⑥　尾纤固定在刀架肘臂槽内，且光纤针尖露出肘臂距离可调； ⑦　具备手动单纤耦合模式。 13. 配备射频线缆（针对以下技术参数提供原厂测试报告）： ①　射频频率：DC至67G； ②　阻抗：≤50Ω； ③　插入损耗：≤3.7 dB； ④　回波损耗：≥12.7 dB to DC - 67GHz； ⑤　接口方式：1.85mm，一端为公头一端为母头； ⑥　相位稳定性与挠曲：≤12º@50GHz； ⑦　振幅稳定性与挠曲：≤±0.15dB@50GHz； ⑧　线缆长度：不少于900mm，线缆整体均带铠甲，数量不少于2条； 14. 配备原厂半自动控制软件，并提供芯片测量和晶圆图形创建、测试结果分bin显示、多针编辑、晶圆图形文件导入、测试仪器参数修改和数据保存管理等实机演示操作视频； 15. 提供原厂射频测试校准软件，支持SOL、SOLT、SOLR、LRM等不同校准方法； 16. 如有部分配件为进口产品，需提供原厂授权证书； 17. 设备台体与卡盘为同一厂商（提供品牌证明）； 18. 提供厂家售后服务承诺书（盖单位公章）； 19. 提交附带详细配置清单的报价单（盖单位公章）。 20. 合同签订后20日内到货。