低温半导体参数测试平台（清采比选20252562号）采购公告

发布时间：*开通会员可解锁* 16:41:01

项目信息

采购项目名称：低温半导体参数测试平台

采购项目编号：清采比选20252562号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 16:40:59

公告截止时间：*开通会员可解锁* 17:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后10个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后40个自然日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后70%，验收合格后30%

交货地址：北京市清华大学物理楼B110

供应商特殊资质要求：

物资名称：低温半导体参数测试平台

采购数量：1.0

计量单位：套

质保期：

技术参数及配置要求

1.温度范围：80K~500K，样品环境在真空中； 2.探针臂配置：总计配备6个探针臂。 3.探针臂的XYZ方向移动范围：可移动的X、Y、Z方向距离分别不小于50mm、25mm、25mm。 4.探针：SMA接头镀金陶瓷低温探针，针尖材料为钨探针，带镀金Guard保护层，针尖直径为10微米。 5.温控仪：三通道输入温控仪和两通道均为100W的输出，测试分辨率为1mk，实现设备整体温度稳定性优于±100mk，可实现样品台和防辐射屏温度监测和控制，以及其中一个探针臂的实时温度监测； 6.系统采用同轴回路降温技术，减少液氮消耗，基础温度下防辐射屏温度低于85K. 7.显微镜：包含配套单筒显微镜，CCD相机和21.5英寸显示器，光学分辨率优于4µm，带有同轴和环形光两种光源。 8.样品座：标准2英寸三同轴样品座一套； 9.探针数量：探针总计不少于10套。 10.探针台真空度：①.室温：优于5×10^-4Torr；②.基础温度：优于5×10^-5Torr； 11.液氮杜瓦：50L液氮杜瓦，配备全自动液氮泵，可实现流速自动调节（0~2.35L/Min）及显示液位。 12.减振支架：设备配套气浮式减振支架，支架高度高度800mm，双腔室空气弹簧隔振，带配套静音空压机和真空泵减震器。 13.分子泵组：前级泵为干泵，抽速不低于3立方米/小时/氮气，分子泵机组抽速不低于84L/s@CF63@氮气，极限真空：5x10^-10mbar,含复合真空计和配套系统连接使用的真空连接附件等。