多工位坩埚下降炉（清采比选20261185号）延期公告

发布时间：*开通会员可解锁* 12:01:13

项目信息

采购项目名称：多工位坩埚下降炉

采购项目编号：清采比选20261185号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 11:08:41

公告截止时间：*开通会员可解锁* 13:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后7个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后60个自然日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：合同签订后30%，到货验收合格后70%

交货地址：西昌地上实验室

供应商特殊资质要求：

物资名称：多工位坩埚下降炉

采购数量：1.0

计量单位：台

质保期：

技术参数及配置要求

本配置和技术要求 一、核心工艺参数 1. 最高工作温度：1200℃。 2. 升降机构：慢速升降速度 0.02～50mm/h（用于晶体生长工艺段）；快速升降速度≥300 mm/min 连续可调（用于空程定位段）。 3. 炉壳采用钢板制作，外表面整体喷塑处理；炉膛内衬采用多晶陶瓷纤维材料制成。 4. 控制系统：主控仪表采用 96 段折线程序控制，每段段时间可达 3000 小时；配备 8 组独立 PID，支持全信号切换；具备断电记忆保护及软启动功能；材料测 温设 14 个通道进行监测，控温与测温精度均达到 ±0.1%，整体操作在人机界面（HMI）上完成。 5. 单晶生长炉膛温度分区：炉膛设置上部高温区、下部低温区和中间梯度区。 6. 炉腔高度：下炉腔高度约 200 mm，上炉腔高度约 300 mm，梯度区 250mm 7. 炉膛轴向（纵向）温度梯度分布：整个炉膛轴向（纵向）温度梯度分布于 10～30 ℃/mm，其中梯度区最大温梯为 20～30 ℃/mm；实施籽晶熔接和晶体生长过程中，通常将盛料坩埚安置于炉膛适当高度，使坩埚内固液界面附近的轴向（纵向）温梯为 20～30 ℃/mm。轴向温度梯度通过“上高/中梯/下低多段（不少于 3 区）+ 梯度区隔热挡板构建；加热区由独立 PID 闭环调节，主控仪表 96 段折线程序联动坩埚下降速度；通过轴向多点热电偶（14 通道中分配 3～14 路）实测 T(z) 标定梯度，生长时调整坩埚在梯度区高度，使固液界面附近轴向温梯维持在 20～30 ℃/mm。 二、炉壳（钢板）制作与表面处理 1. 炉壳采用优质碳素结构钢（钢板）制作，下料前钢板表面应平整，无锈蚀、裂纹及明显变形。 2. 钢板剪裁边缘应平直，毛刺高度不大于 0.2mm；折弯、成型尺寸偏差应符合装配图纸要求。 3. 炉壳焊接应采用电弧焊或气体保护焊，焊缝均匀饱满，不得有烧穿、未熔合、夹渣、气孔等缺陷；焊后清理焊渣及飞溅物。 4. 焊接结构件在喷塑前需进行除油、除锈、磷化等前处理，表面无油污、锈迹及氧化皮。 5. 炉壳外表面整体采用喷塑（静电粉末喷涂）工艺，塑层厚度均匀、附着力强，不得有流挂、针孔、橘皮、露底等缺陷，颜色按双方确认色板执行。 6. 炉壳制造完毕需保证整体结构刚性，受热状态下外表面温升符合安全要求，变形量不得影响炉口启闭及升降机构正常运行。 三、炉膛（多晶陶瓷纤维）要求 1. 多晶陶瓷纤维模块/板材规格、厚度应符合图纸，拼接缝隙严密，不得有贯通缝；层间应子母槽错缝搭接。 2. 纤维内衬长期使用温度应高于本设备最高工作温度（1200℃），具备良好隔热保温性能与化学稳定性，严禁混入石棉等有害杂质。 3. 纤维内衬与炉壳之间应采取可靠的固定或支撑措施，确保长期受热后不塌陷、不松动；炉膛内表面应平整，不得有纤维脱落、掉渣现象。 四、装配要求 1. 炉壳与炉膛装配后，炉体中心线偏差不大于 2mm；炉口配合良好，启闭灵活，关闭后密封面贴合到位。 2. 升降机构（含传动部件、导向装置）安装牢固，运行平稳，在全行程范围内不得有卡滞、爬行或异常声响。 3. 加热元件安装位置准确、固定可靠，电气接线符合安全规范，绝缘电阻不小于 1MΩ。 五、检验与验收 1. 设备制造完成后进行空载试运行，连续运行时间不少于6小时，各机构动作正常，无异常温升及异响。 2. 炉膛内最高工作温度应达到 1200℃，炉温均匀性符合双方约定的技术参数。 3. 升降机构慢速段（0.02～50mm/h）与快速段（≥300 mm/min，可调）运行速度、定位精度均应满足工艺要求。 4. 喷塑表面色泽一致、无破损；设备铭牌、接地标识齐全。 六、质量保证 供方对设备整机质保 12 个月（自验收合格之日起计），质保期内因制造质量问题引起的故障，供方负责免费维修或更换。