面向介观尺度的3D微纳加工套件及光刻胶（清采比选20252498号）成交结果公告

发布时间：*开通会员可解锁* 15:08:16

成交信息

供应商：纳糯三维科技（上海）有限公司

成交金额：￥

选标理由：

项目信息

采购项目名称：面向介观尺度的3D微纳加工套件及光刻胶

采购项目编号：清采比选20252498号

公告开始时间：*开通会员可解锁* 10:20:29

公告截止时间：*开通会员可解锁* 11:00:00

对外联系人：

联系电话：

签约时间要求：成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)

交货时间要求：签订合同后30个自然日内

采购单位：清华大学

最高限价：

国内合同付款方式：货到付款100%

交货地址：北京市清华大学

供应商特殊资质要求：

物资名称：面向介观尺度的3D微纳加工套件及光刻胶

采购数量：1.0

计量单位：台

质保期：12个月

技术参数及配置要求

面向介观尺度的3D微纳加工套件（3D LF） 适用于微米以及介观尺度器件的加工；可使用镜头浸入式加工模式或者普通油浸镜头加工模式；使用光斑扫描加工模式时最大单次加工面积为Ø = 1,000 µm 硬件及耗材： 浸入式镜头物镜3D LF； 10x；NA=0.3 样品架 适用于DiLL技术的衬底；25 x 25 x 0.7 mm³, 硅片， 35片. IP-Q光刻胶；50克；5瓶每瓶10克装 介观尺度3D加工挡胶圈 软件及支持 DeScribe流程参数3D LF实心：10x，IP-Q，硅片 该套件的远程安装支持 3小时的远程用户培训 3年针对3D LF模块使用NanoGuide在线支持库的用户支持；10个用户许可证 光刻胶 IP-PDMS： 15 g, 3 x 5 g 瓶 光刻胶 IP-Dip; 60 g, 6 x 10 g 瓶