富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备

精密再生修复项目竣工

环境保护验收监测报告表

建设单位：广州富乐德科技发展有限公司

编制单位：广州开投生态环境建设有限公司

2023 年 4 月富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复项目

竣工环境保护验收监测报告表

建设单位法人代表：贺贤汉

编制单位法人代表：王薇

项 目 负 责 人 ：林瑞芬

建设单位：

（盖章）

编制单位：

（盖章）

电话：

电话：

邮编：510730

邮编：510535

地址：广州市黄埔区禾丰路

地址：广州市黄埔区至泰广场A2栋19031

一 、项目情况

建设项目名称

富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复项目

建设单位名称

广州富乐德科技发展有限公司

建设项目性质

新建√

改扩建

技改

迁建

建设地点

广州市黄埔区禾丰路

主要产品名称

清洗修复半导体生产设备精密部、清洗修复 TFT 生产设备精密部件

设计生产能力

年清洗修复半导体生产设备精密部件 52.5 万件、清洗修复 TFT 生产设

备精密部件 143 万件

实际生产能力

年清洗修复半导体生产设备精密部件 52.5 万件、清洗修复 TFT 生产设

备精密部件 143 万件

建设项目环评

时间

2021 年 7 月

开工建设时间

2022 年 6 月

调试时间

2022 年 7 月

验收现场监测

时间

2023 年 4 月

环评报告表

审批部门

广州开发区行政审

批局

环评报告表

编制单位

广州开投生态环境建设有限

公司

环保设施设计

单位

上海朗蔚环保科技

有限公司

环保设施施工

单位

上海朗蔚环保科技有限公司

投资总概算

30000 万元

环保投资总

概算

1030 万元

比例

3.43%

投资总概算

30000 万元

环保投资总

概算

1030 万元

比例

3.43%

验收监测依据

（1）《中华人民共和国环境保护法》（2015 年 1 月 1 日起施行）；

（2）《中华人民共和国环境影响评价法》（2018 年 12 月 29 日修

订）；

（3）《中华人民共和国水污染防治法》（2018 年 1 月 1 日起施行）；

（4）《中华人民共和国大气污染防治法》（2018 年 10 月 26 日修

正版）；

（5）《中华人民共和国噪声污染防治法》（2022 年 6 月 5 日起施

行）；

（6）《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》（中华人民共

和国主席令第 43 号，2020 年 9 月 1 日起施行）；

（7）《关于进一步加强建设项目环境保护管理工作的通知》（国

家环保总局，环发（2001）19 号）；2

验收监测依据

（8）《关于进一步加强环境影响评价管理防范环境风险的通知》

（国家环境保护总局，环发[2012]77 号）；

（9）《关于发布<建设项目竣工环境保护验收暂行办法>的公告》

（国环规环评〔2017〕4 号）；

（10）《建设项目竣工环境保护验收技术指南—污染影响类》（生

态环境部公告 2018 年第 9 号）；

（11）《广东省污染源排污口规范化设置导则》（粤环〔2008〕

42 号）；

（12）《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（2010 年修改版）；

（13）《广东省环境保护厅关于转发环境保护部<建设项目竣工环

境保护验收暂行办法>的函》（粤环函〔2017〕1945 号）；

（14）《广州市环境保护局关于印发建设项目环境保护设施验收

工作指引的通知》（穗环〔2018〕30 号）；

（15）《广州市黄埔区环境保护局广州开发区环境保护局关于加

强建设项目竣工环境保护验收工作管理的通知》（穗埔环〔2018〕59

号）；

（16）《关于发布<污染影响类建设项目重大变动清单（试行）>

的通知》（环办环评函〔2020〕688 号）；

（17）《广州市环境保护局关于规范建设单位自主开展建设项目

竣工环境保护验收的通知》（穗环〔2020〕102 号）。

（18）广州开投生态环境建设有限公司《富乐德华南区域 TFT 设

备/半导体设备精密再生修复项目环境影响报告表》；

（19）“关于富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复

项目环境影响报告表的批复”（穗开审批环评[2021]98 号）；

（20）《富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复项目

检测报告》（报告编号：LCT202207075）。

验收监测评价

标准、标号、级

别、限值

1、废水

（1）生产废水出厂标准

本项目生产废水采取分类收集、分类处理措施，各类生产废水经3

厂内自建废水处理站预处理后，经市政污水管网纳入永和水质净化厂

进一步处理。

生产废水出厂标准中，pH、COD

Cr

、BOD

5

、SS、氟化物、总铜和

动植物油执行《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级

标准；总银、总镍执行《水污染物排放限值》表 1 第一类污染物最高

允许排放浓度；氨氮、总磷、总氮执行《污水排入城镇下水道水质标

准》（GB/T31962-2015）B 级标准。

（2）生活污水出厂标准

本项目生活污水经隔油隔渣池和三级化粪池预处理达到永和水质

净化厂接管标准后进入永和水质净化厂进一步处理。生活污水出厂标

准执行《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准。

（3）永和水质净化厂出水标准

永和水质净化厂出水标准执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》

（GB18918-2002）一级 A 标准和广东省《水污染物排放限值》

（DB44/26-2001）第二时段一级标准（城镇二级污水处理厂选项对应

标准）中较严者。

2、废气

①氯化氢、硫酸雾、氮氧化物、氟化物、颗粒物有组织废气排放

浓度及排放速率执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）

第二时段二级标准，无组织废气排放浓度执行广东省《大气污染物排

放限值》（DB44/27-2001）第二时段无组织排放监控浓度限值。

VOCs 有组织废气排放浓度及排放速率、无组织废气排放浓度参照

执行广东省《家具制造行业挥发性有机物排放标准》（DB44/814-2010）

Ⅱ时段标准限值和无组织排放监控点浓度限值。

氨气排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）限值。

②厂区内 VOC

S

执行广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放

标准》（DB44/2367-2022）表 3 规定的监控点处 1h 平均浓度值和监控

点处任意一次浓度值要求。

3、噪声4

项目营运期各厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》

（GB12348-2008）中 3 类标准限值（即昼间≤65dB（A），夜间≤55dB

（A））。

4、固废

一般固体废物的处置应符合固体废物污染环境防治的相关规定。

危险废物按《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）等的有

关规定执行。

5、总量控制

废水：项目运营期废水经处理达标后经市政污水管网排入永和水

质净化厂处理，因此无需申请水污染物总量指标。

废气：根据环评及环评批复，本项目废大气污染物总量控制指标：

项目新增污染物排放总量（t/a）应控制在以下范围：VOC

S

≤2.05、氮

氧化物≤3.55、颗粒物≤2.41、氟化物≤0.11、氯化氢≤0.22、硫酸雾

≤0.05、氨气≤0.48。

固废：项目固体废物不自行处理排放，因此不设置固体废物总量

控制指标。

验收范围

本次验收范围为《富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生

修复项目环境影响报告表》及其批复（批文号：穗开审批环评（穗开

审批环评[2021]98 号）的内容。二、项目工程建设内容

2-1 工程建设内容：

1、项目概况

广州富乐德科技发展有限公司位于广州市黄埔区禾丰路（中心位置地理坐标：

113°35'02.77"E，23°13'18.35"N），用地面积为 13915m2，主体构筑物为一幢 4 层的综合

车间，一幢 5 层的办公楼和一幢一层的化学品仓库，总建筑面积为 32871m2。本项目为

新建项目，于 2021 年 7 月 21 日取得广州开发区行政审批局《关于富乐德华南区域 TFT

设备/半导体设备精密再生修复项目环境影响报告表的批复》（穗开审批环评[2021]98

号）》。

2022 年 06 月 24 日，富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复项目的废

气、废水污染治理设施竣工，项目于 2022 年 07 月 04 日取得国家排污许可证（证书编

号：91440101MA9W2GHY3H001U）。2023 年 4 月 10 日，富乐德华南区域 TFT 设备/

半导体设备精密再生修复项目生产设施和配套的废水、废气污染治理设施调试完毕，项

目生产设施和配套的环保设施运行正常，企业申请环保验收。

根据《国务院关于修改<建设项目环境保护管理条例>的决定》（国务院令第 682 号）

第十七条，“编制环境影响报告书、环境影响报告表的建设项目竣工后，建设单位应当

按照国务院环境保护行政主管部门规定的标准和程序，对配套建设的环境保护设施进行

验收，编制验收报告”。为此，广州富乐德科技发展有限公司于 2022 年 7 月 25 日~28

日委托广东联创检测技术有限公司进行现场勘查及取样检测，在此基础上，广州富乐德

科技发展有限公司于 2023 年 4 月编制完成了本竣工环境保护验收报告作为竣工环境保

护验收依据。

2、工程规模

（1）建设规模

本 项 目 位 于 广 州 市 黄 埔 区 禾 丰 路 （ 中 心 位 置 地 理 坐 标 ： 113°35'02.77"E ，

23°13'18.35"N）

本项目内容组成见表 2-1 所示。

56

表 2-1 建设项目组成一览表

名称

类别

环评建设内容

实际建设情况

主体

工程

TFT 喷砂

TFT 喷砂机 8 台

一致

TFT 熔射

TFT 熔射机 3 台

一致

TFT 液洗

陶瓷清洗线 1 条、金属液洗线 1 条

一致

OLED 清洗

OLED 清洗线 1 条

一致

OLED 喷砂

OLED 喷砂 3 台

一致

超高压冲洗

高压冲洗间 3 间

一致

半导体喷砂

半导体喷砂机 6 台、熔射、清洗区、包装

区

增加 1 台喷砂机

半导体熔射

半导体熔射机 1 台

一致

半导体清洗区

BTCH 清洗区：石英洗净线 1 条、陶瓷洗

净线 1 条、氧化件洗净线 2 条 PVC/CVD

清洗区：石英陶瓷洗净线 1 条、Belljar

洗净线 1 条、一般部品洗净线 2 条

新增一条 HW 清洗线

辅助

工程

办公区域

包括办公室、会议室等

一致

仓库

产品仓库

一致

化学品仓库

一致

公用

工程

供水工程

市政供水系统

一致

纯水系统

一套纯水制备系统，产水能力 30m3 /h

一致

排水系统

①实行雨污分流；②生活污水及生产废水

经相应的废水预处理系统处理后，经市政

污水管网汇入永和水质净化厂统一处理，

废水经处理达标后排入永和河。

一致

供电系统

年用电量约为 1000 万度，

一致

环保

工程

废气

①工艺酸性废气：四级碱液喷淋洗涤塔；

②粉尘：除尘装置；

③工艺碱性废气：两级酸液喷淋洗涤塔；

④工艺有机废气：二级水喷淋+活性炭；

⑤食堂油烟：经油烟净化装置处理。

⑥废水处理站：经物除臭塔处理。

①工艺酸性废气：五级碱液喷

淋+五级除臭洗涤；

②粉尘：除尘装置；

③工艺碱性废气：两级酸液喷

淋洗涤塔；

④工艺有机废气：二级水喷淋

+活性炭；

⑤食堂油烟：经油烟净化装置。

⑥废水处理站：一级水喷淋+

活性炭吸附；

废水

①实行雨污分流；②生活污水及生产废水

经相应的废水预处理系统处理后，经市政

污水管网汇入永和水质净化厂统一处理，

废水经处理达标后排入永和河。

一致

噪声

对设备加装减振措施、围墙隔声、加强绿

化等

一致

固体废物

生活垃圾委托环卫部门清运；一般固体废

物暂存于一般废物区，定期交由相关单位

进行回收处理；危险废物储存于危废间

内，并委托有资质单位进行处置。

一致7

（2）项目产能规模

项目产品方案及生产规模情况见表 2-2。

表 2-2

项目产品产能一览表

产品

环评产量

变动情况

实际建设情况

清洗修复半导体生产设备精密部件

52.5 万件/年

+2 万件/年

54.5 万件/年

清洗修复 TFT 生产设备精密部件

143 万件/年

无变动

143 万件/年

（3）生产设备情况

项目生产设备情况见下表。

表 2-3

项目主要生产设备一览表

序号

设备名称

环评数量（台/套）实际数量（台/套）

型号规格

实际建设情况

1

高压水洗机

3

3

2000kg

与环评内容总体一致

2

ARC 溶射机

2

2

8835&9935

与环评内容总体一致

3

Flame 溶射机

1

1

6601&7700

与环评内容总体一致

4

喷砂房/喷砂机

16

17

SG&FD

增加 1 台喷砂机

5

超声波清洗机

21

21

/

与环评内容总体一致

6 烘箱（干燥箱）

27

27

150—1200

与环评内容总体一致

7

纯水制造设备

1

1

非标定制

与环评内容总体一致

8

空压机

3

3

ZT75-10

与环评内容总体一致

9

捆包机

2

2

/

与环评内容总体一致

10

各类液洗槽

64

75

非标定制

增加 11 个液洗槽

(4）项目投资：本项目总投资 3000 万元人民币，其中环保投资 1030 元，占总投资

额的 3.43%，环保投资情况如表 2-4 所示。

表 2-4 项目环保投资情况

项目名称

实际主要建设内容

实际投资（万元）

废气处理系统

①工艺酸性废气：五级碱液喷淋+五级除臭洗涤；

②粉尘：除尘装置；

③工艺碱性废气：两级酸液喷淋洗涤塔；

④工艺有机废气：二级水喷淋+活性炭；

⑤食堂油烟：经油烟净化装置。

⑥废水处理站：一级水喷淋+活性炭吸附

380

废水处理系统

三级化粪池、自建污水治理设施

450

噪声治理措施

选用低噪声设备、基础减震、墙体隔声

30

固体废物处理系统

危废间、固废间

30

绿化及生态

厂区园林绿化

10

其他

环境风险防范及应急设施

130

合计

/

1030

3、人员规模及工作制度

本项目劳动定员 348 人，项目不设员工食堂及宿舍，年工作 300 天，每天工作 8 小8

时。

4、项目地理位置及厂区平面布置

广州富乐德科技发展有限公司位于建设项目广州市黄埔区禾丰路（中心位置地理坐

标：113°35'02.77"E，23°13'18.35"N），项目地理位置详见附图 1。

本项目东北侧为富乐（广州）粘合剂有限公司，东南侧为待开发工业用地和广州丘

比食品有限公司；西南侧为维美德造纸机械技术（广州）有限公司，西北侧隔禾丰路为

广州中草世家化妆品有限公司和待开发工业用地。项目四至情况详见附图 2。

项目周边敏感点分布表和图见表 2-5 和附图 3；项目平面布置图详见附图 4、附图

4-1、附图 4-2、附图 4-3、附图 4-4。

项目周边 1km 范围内无自然保护区、风景名胜区、生态功能保护区、森林公园，也

没有国家和地方规定的珍稀、特有野生动植物。

表 2-5 项目周围敏感点情况一览表

序

号

名称

坐标/m

保护对

象

保护内

容（人）

环境功能区

相对

厂址

方位

相对

距离

/m

X

Y

1

禾丰新村

-2060

117

居民

~6500

大气二类、

环境风险

西

2063

2

实地常春藤

-1370

226

居民

~13000

西

1389

3

布岭村

-1729

-505

居民

~1800

西南

1801

4

合丰小学

-2060

-428

居民

~400

西南

2104

5

贤江村

-2395

-901

居民

~2000

西南

2559

6

甘竹村

-1406

-1365

居民

~3500

西南

1960

7

珠江嘉园

-1572

-1660

居民

~7000

西南

2286

8

华峰学校

-1083

-1728

居民

~1100

西南

2039

9

新庄村

-1067

-2370

居民

~2500

西南

2599

10

永新中学

257

-1670

居民

~1600

南

1690

11

永和中学

402

-2126

居民

~1200

南

2164

12

萎园村

774

-2372

居民

~2000

南

2495

13

荔枝山

1056

-1088

居民

~1300

东南

1516

14

樟山吓

569

-112

居民

~580

东南

600

15

翟洞村

2114

-1202

居民

~3200

东南

2432

16

塔岗村

2073

-1537

居民

~2000

东南

2581

17

合景誉山国际

2332

-1807

居民

~18000

东南

2950

18

公安村

1980

-91

居民

~2500

东

1982

19

金地公园上城

1516

1174

居民

~4500

东

1917

20

许屋村

2166

2230

居民

~1200

东北

3109

21

万科山景城

569

-4588

居民

~2500

环境风险

西

46239

22

碧桂园凤凰城

-4751

-238

居民

~12000

南

4757

23

永和社区

-1557

-3273

居民

~20000

东南

3624

24

时代廊桥

2880

-1729

居民

~4500

东南

3359

25

保利立方花园

3339

-1606

居民

~3500

东南

3705

26

公安小学

3427

-463

居民

~500

东

3458

27

余家庄

4058

146

居民

~900

东

4061

28

麦村

1632

3666

居民

~1200

东北

4013

29

小埔

-203

4146

居民

~1000

东北

4151

30

贤江小学

-2819

-937

居民

~560

西南

2971

31

永岗村

-454

-2715

居民

~5000

南

2753

32

金地荔湖城

2651

443

居民

~3000

东

2688

33

永和河

/

/

河流

地表水质

III 类水体

西

1665

34

规划防护林地

/

/

生态系统

生态环境

土壤环境

西

80

2-2 原辅材料消耗及水平衡：

1、原辅材料消耗情况

表 2-6 项目原辅材料使用情况一览表

名称

环评年使用量

实际年使用量

变化情况

备注

年用量（t）

最大贮存

量（t）

年用量

（t）

最大贮

存量（t）

丙酮

15

1

15

1

无变化

用于部件擦拭

工序。

硝酸（69%）

240

5

250

5

+10 吨

化学清洗

氢氟酸（49%）

35

2

38

2

+3 吨

氢氧化钠

（31%）

475

5

475

5

无变化

氨水（20%）

70

2

70

2

无变化

N-甲基吡咯烷

酮

60

6

60

6

无变化

氢氧化钾

80

2

81

2

+1 吨

异丙醇

5

1

5

1

无变化

无水乙醇

0.8

0.1

0.8

0.1

无变化

片碱

90

2

90

2

无变化

过氧化氢

（35%）

270

5

292.25

5

+22.25 吨

化学清洗、废水

处理

盐酸（31%）

160

2

173.18

2

+13.18 吨

硫酸（98%）

20

2

21.65

2

+1.65 吨

化学清洗、废气

处理

亚硫酸氢钠

0.3

0.1

0.32

0.1

+0.02 吨

纯水制备

阻垢剂

0.75

0.1

0.81

0.1

+0.06 吨

工业盐

4.5

0.1

4.87

0.1

+0.37 吨

聚丙烯酰胺

10

1

10.82

1

+0.82 吨

废水处理

磷酸氢二钠

40

1

43.30

1

+3.30 吨

氯化镁

70

1

75.77

1

+5.77 吨

氯化钙

75

1

81.18

1

+6.18 吨10

聚合硫酸铁

11

1

11.91

1

+0.91 吨

聚合氯化铝

80

1

86.59

1

+6.59 吨

重金属捕捉剂

40

1

43.30

1

+3.30 吨

磷酸

5

1

5.41

1

+0.41 吨

次氯酸钠

（10%）

340

2

368.02

2

+28.02 吨

废水处理、废气

处理

亚氯酸钠

（31%）

25

1

27.06

1

2.06

废气处理

硫化钠（15%）

25

1

27.06

1

2.06

白刚玉砂材

120

10

120

10

无变化

喷砂

陶瓷粉

10

0.5

10

0.5

无变化

陶瓷熔射

氢气

50 瓶

2 瓶

50 瓶

2 瓶

无变化

陶瓷熔射、焊接

氩气

1149 瓶

4 瓶

1149 瓶

4 瓶

无变化

Flame 熔射

乙炔

1382 瓶

20 瓶

1382 瓶

20 瓶

无变化

吹扫部件

氧气

1365 瓶

20 瓶

1365 瓶

20 瓶

无变化

检验部件

氮气

28 瓶

5 瓶

28 瓶

5 瓶

无变化

Flame 熔射、电

弧熔射

二氧化碳

10 瓶

2 瓶

10 瓶

2 瓶

无变化

焊接

氦气

1 瓶

1 瓶

1 瓶

1 瓶

无变化

喷砂

铝线

2

0.2

2

0.2

无变化

陶瓷熔射

焊条

0.15

0.05

0.15

0.05

无变化

陶瓷熔射、焊接

根据《富乐德华南区域 TFT 设备/半导体设备精密再生修复项目非重大变动环境影

响分析报告》，原辅料变动，不属于重大变动。

2、主要原辅材料理化性质

本项目使用的各危险化学品理化性质见表 2-7 所示。

表 2-7 主要危险化学品理化性质

名称

CAS 号

理化性质

易燃易爆性

毒理毒性

丙酮

CH

3

COCH

3

67-64-1

是一种无色透明液体，有特殊的辛辣气

味

。易

溶

于

水

和

甲

醇

、

乙

醇

、

乙

醚

、

氯

仿

、

吡啶

等

有

机

溶

剂

。

易

燃

、

易

挥

发

，

化

学

性

质较活泼。

易燃。

LD

50

：5800mg/kg

（大鼠经口）；

20000mg/kg（兔

经皮）

硝酸

HNO

3

*开通会员可解锁*

纯品为无色透明发烟液体，有酸味，分子

量 63.01；蒸汽压 4.4kPa（20℃）、熔点

-42℃/无水、沸点 86℃/无水；相对密度

（水=1）1.50（无水）、相对密度（空气

=1）2.17；危险标记 20（酸性腐蚀品）

具有强氧化性。与易

燃物（如苯）和有机

物（如糖、纤维素等）

接

触

会

发

生

剧

烈

反

应

，

甚

至

引

起

燃

烧

。

与碱金属能发生剧

烈反应。具有强腐蚀

性。

大

鼠

吸

入

L

C

50

：

4

9p

pm

/4

小

时

氢氟酸

HF

*开通会员可解锁*

是一种无色透明液体，有刺激性臭味气

味，与水混溶。分子量 20.01；熔点-83.1℃/

无水、沸点 120℃/无水；相对密度（水=1）

不燃

大鼠吸入 LC

50

：

1276ppm/1 小时11

1.26（无水）、相对密度（空气=1）1.27

氢氧化钠

NaOH

*开通会员可解锁*

白色晶体、易潮解，易溶于水、乙醇、甘

油，不溶于丙酮；分子量 40.01；蒸汽压

0.13kPa（739℃）、熔点 318.4℃/无水、

沸点 1390℃/无水；相对密度（水=1）2.12；

危险标记：第 8.2 类（碱性腐蚀品）

不燃

/

氨水

*开通会员可解锁*

无色透明液体，有强烈的刺激性臭味。分

子量 3

5.0

5，

相

对

蒸

气

密

度

（

空

气

=1

）

：

0.91；

熔

点

：-

77

℃

、

沸

点

：3

7.

7℃

、

闪

点

：

/。蒸气压：1.59kpa（20℃）

易分解放出氨，温度

越高，分解速度越

快

，

可

形

成

爆

炸

性

气

氛

。

若

遇

高

热

，

容

器

内

压

增

大

，

有

开

裂

和

爆炸的危险。爆炸极

限 25%-29%。

急

性

毒

性

：

L

D

5

0

：

35

0m

g/

kg

（

大

鼠

经

口

）

氢氧化钾

KOH

*开通会员可解锁*

白色晶体、易潮解，溶于水、乙醇、微溶

于醚；分子量 56.11；蒸汽压 0.13kPa

（719℃）、熔点 360.4℃/无水、沸点

1320℃/无水；相对密度（水=1）2.04；危

险标记：第 8.2 类（碱性腐蚀品）

不燃

急性毒性：LD

50

：

273mg/kg（大鼠

经口）

N-甲基吡

咯烷酮

（NMP）

872-50-4

无色透明油状液体，微有胺的气味。挥发

度低，热稳定性、化学稳定性均佳，能随

水蒸气挥发。有吸湿性。对光敏感。易溶

于水、乙醇、乙醚、丙酮、乙酸乙酯、氯

仿和苯，能溶解大多数有机与无机化合

物、极性气体、天然及合成高分子化合物。

熔点：-24 °C，沸点：203℃ ，81-82 °C/10

mmHg，闪点：91 °C，密度（g/mL，

25/25℃）：1.0260

遇明火、高温、强氧

化剂可燃；受热分解

有毒氧化氮气体

低毒类。小鼠口

经 LC

50

：

5130mg/kg；大鼠

口经 LD

50

：

3914mg/kg

异丙醇

（IPA）

67-63-0

无色透明具有乙醇气味的可燃性液体。沸

点（atm，℃，101.3kPa）：82.4；5 熔点

（atm，℃）：-87.9；相对密度（g/mL，

20C，atm）：0.7863；闪点（atm；℃）：

12；燃点（atm；℃）：460。能与醇、醚、

氯仿和水混溶，能溶解生物碱、橡胶、虫

胶、松香、合成树脂等多种有机物和某些

无机物，与水形成共沸物，不溶于盐溶液。

易燃，其蒸气与空气

可形成爆炸性混合

物

，

遇

明

火

、

高

热

能

引

起

燃

烧

爆

炸

。

与

氧

化剂接触猛烈反应。

在火场中，受热的容

器有爆炸危险。其蒸

气比空气重，能在较

低处扩散到相当远

的地方，遇火源会着

火回燃。

低

毒

类

。

口

服

-

大

鼠

L

D

50

：

5

84

0

mg/kg；口服-小

鼠 LC

50

：

3600mg/kg，家兔

经皮 LD

50

为

16.4ml/kg

无水乙醇

CH

3

CH

2

OH

64-17-5

无色液体，有酒香。与水混溶，可混溶于

醚

、

氯

仿

、

甘

油

等

多

数

有

机

溶

剂

。

相

对

密

度

（

水

=1

）

0.

79

，

饱

和

蒸

汽

压

5.

33

kP

a，

闪点 12℃，沸点 78.3℃。

易燃

急性毒性：LD

50

：

7060 mg/kg（兔

经口）；7430

mg/kg（兔经皮）

LC

50

：37620

mg/m3，10 小时

（大鼠吸入）12

双氧水

H

2

O

2

*开通会员可解锁*

无色透明液体，有微弱的特殊气味，分子

量 43.01；蒸汽压 0.13kPa（15.3℃）、熔

点

-

2

℃

/无

水

、

沸

点

15

8℃

/无

水

；

溶

于

水

、

醇

、

醚

，

不

溶

于

苯

、石

油

醚

；相

对

密

度

（

水

=1）1.46（无水）；危险标记 11（氧化剂），

20（腐蚀品）。

爆炸性强氧化剂。过

氧化氢本身不燃，但

能与可燃物反应放

出大量热量和气氛

而引起着火爆炸。过

氧化氢在 pH 值为

3.5～4.5 时最稳定，

在碱性溶液中极易

分解，在遇强光，特

别是短波射线照射

时也能发生分解。当

加热到 100℃以上

时，开始急剧分解。

它

与

许

多

有

机

物

如

糖

、

淀

粉

、

醇

类

、

石

油

产

品

等

形

成

爆

炸

性

混

合

物

，

在

撞

击

、

受热或电火花作用

下能发生爆炸。过氧

化氢与许多无机化

合物或杂质接触后

会迅速分解而导致

爆炸，放出大量的热

量、氧和水蒸气。浓

度超过74%的过氧化

氢，在具有适当的点

火源或温度的密闭

容器中，会产生气相

爆炸。

LD

50

：4060mg/kg

（

大

鼠

经

皮

）

；

LC

50

：

20

00

m

g

/

㎥

，

4

小

时

（

大

鼠吸入）

盐酸

HCl

*开通会员可解锁*

无色或微黄色发烟液体，有刺鼻的酸味，

分

子

量

3

6

.4

6，

蒸

汽

压

30

.

6

6

k

P

a（

2

1℃

）

，

熔

点

-11

4

.8

℃

/纯

，

沸

点

1

0

8

.

6

℃

/20

%

，

与

水混溶，溶于碱液。

不

可

燃

。

能

与

一

些

活

性

金

属

粉

末

发

生

反

应

，

放

出

氢

气

。

LD

50

：

9

00

m

g/kg

（

兔

经

口

）

硫酸

H

2

SO

4

*开通会员可解锁*

纯品为无色透明油状液体，无臭，分子量

98；蒸汽压 0.13kPa（145.8℃）、熔点

10.5℃、沸点 330℃；与水混溶；相对密

度（水=1）1.83、相对密度（空气=1）3.4；

危险标记 20（酸性腐蚀品）。

与易燃物（如苯）和

有机物（如糖、纤维

素等）接触会发生剧

烈反应，甚至引起燃

烧。能与一些活性金

属粉末发生反应，放

出氢气。遇水大量放

热，可发生沸溅。具

有强腐蚀性。

急性毒性：LD

50

：

5080mg/kg（大鼠

经口）；LC

50

：

510mg/ m3，2 小

时（大鼠吸入）；

320mg/m3，2 小

时（小鼠吸入）

磷酸

H

3

PO

4

*开通会员可解锁*

白色固体，大于 42℃时为无色粘稠液体。

磷酸是三元中强酸，分三步电离，不易挥

发，不易分解，有一定氧化性，具有酸的

通性，可与水以任意比互溶。密度

1.874g/mL（液态），沸点 261℃，溶点

磷酸无强氧化性，无

强腐蚀性，属于较为

安全的酸，遇 H 发孔

剂可燃；受热排放有

毒磷氧化物烟雾。

属低毒类，有刺

激性。LD50：

1530mg/kg（大鼠

经口）；

2740mg/kg（兔经13

42℃。

皮）

乙炔

74-86-2

无色芳香气味的易燃气体。熔点

（118.656kPa）-80.8℃，沸点-84℃，相

对密度 0.6208（-82/4℃），闪点（开杯）

-17.78℃，自燃点 305℃。微溶于水，溶

于乙醇、苯、丙酮。

在空气中爆炸极限

2.3%-72.3%（vol）。

在液态和固态下或

在气态和一定压力

下

有

猛

烈

爆

炸

的

危

险

，

受

热

、

震

动

、

电

火花等因素都可以

引发爆炸，因此不能

在加压液化后贮存

或运输。

属微毒类，具有

弱麻醉和阻止细

胞氧化的作用。

3、水平衡

生产废水按废水性质分类收集分类处理，重金属废水、含氟废水、含氨废水、有机

废水经相应的预处理系统处理后，进入综合废水处理系统进一步处理达永和水质净化厂

进水标准《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准，由市政污水管网

汇入永和水质净化厂统一处理达标《城镇污水处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）

一级 A 标准和广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段一级标准（城镇

二级污水处理厂选项对应标准）中较严者）排放至永和河。

本项目 外排的生活污 水经化粪池 处理达到广 东省《水污染 物排放限值 》

（DB44/26-2001） 第二时段三级标准后排入市政管网，经市政管网排入开发西区水质

净化厂处理。

本项目用水来自市政供水，用水主要为生产用水和生活用水。排水主要来自生产废

水及生活污水。

（1）生产用排水

①生产线用排水

本项目生产用水主要有各生产线酸洗、碱洗、漂洗等处理工序用水及各药液槽所需

的补充水等，用水类型包括新鲜水和纯水。各生产线各工序具体用排水情况见表 2-8。

表 2-8 本项目生产线各类生产废水、废液产排量统计表

编号

废水类别

废水实际产生量（m3 /月）

生产线废

水

综合废水

4438

含氨废水

38

含氟废水

382

含铜废水

18

含镍废水

8

含银废水

7

有机废水

595②废有机废液回收装置用水

本项目有机浸泡槽使用的 NMP 和 IPA，在使用后仍有较高的回收价值，因此本项

目对 NMP 和 IPA 设置蒸馏回收装置，回收的有机清洗剂回用于生产中，剩余杂质作为

危险废物委托有资质单位处置。

根据生产线用水，NMP 和 IPA 装置每月产出废有机清洗剂 14t，经回收装置回收后，

12.4t 的 NMP 回用于生产线中，剩余 1.6t 作为危险废物委托有资质单位处置。

③本项目的某些生产环节需要消耗高纯度的去离子水，以保证产品的品质，本项目共设

有一套产水能力 30m3 /h 的纯水制备装置。本项目每月纯水使用量为 57003m3，每月制纯水所

用的自来水量为 8143m3，每月纯水制备产生的浓水量为 2443m3，纯水站浓水经调解 pH 后，

排入市政污水管网，纳入永和水质净化厂进一步处理。

④废气喷淋塔用排水

本项目喷淋塔废水量为 182 m3 /月，进入综合污水处理设施一起处理。

⑤绿化用水

本项目绿化面积约为 1021.36m2，绿化用水量约为 18.2m3 /月，使用自来水进行绿化。

（2）生活用排水

本项目员工 150 人，厂内设职工食堂，不设员工集中宿舍。员工生活月用水量约为 168m3，

生活污水月产生量约为 151.2m3。

综上，根据项目各项用水、排水指标，统计全厂用排水平衡，见下表。

14图 2-1 本项目水平衡图（m3 /月）

注：此水平衡图废水排放量根据厂区废水处理系统的流量计所得

核算时间为：2023 年 2 月 26 日-2023 年 3 月 25 日

2-3 主要工艺流程及产污环节（附处理工艺流程图，标出产污节点）：

1.TFT 材料修复工艺流程

一、CF 制程材料修复工艺

1、材质为 Al、Ti，膜质为 ITO 零部件

15图 2-2 TFT—CF 制程—材质为 Al、Ti，膜质为 ITO 零部件修复工艺

工艺流程简述：

全过程均为物理工序。

①受入：对从客户处取来的原始零部件进行外观、数量、材质的确认，受入的零部

件在客户厂区由客户自行拆解，本项目不涉及零部件拆解。

②超高压水洗：利用超高压水洗机喷出的超高压自来水冲去零部件表面沉积的膜

层。

③喷砂：喷砂是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处

理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲

击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，从而使工件表面的机

械性能得到改善。项目喷砂工序使用的砂料为白刚玉（氧化铝）。

④熔射：熔射是利用热源将金属（铝线）熔化，并以一定速度喷射到基体表面形成

涂层的方法。

熔射的工作原理为：将两条各自带有正电负电的相同金属线接触产生电弧，瞬间产

1617

生高热将金属线材融化。再经高压空气吹细雾化，带送吹向底材（或工件），堆积、凝

固成涂层或膜厚。熔射的材料为铝线或陶瓷粉（Al

2

O

3

）。

⑤检测：检测前道工序加工是否合格，不合格返工，合格进入下一道工序。

⑥干燥：清洗干净的零部件进入烘箱烘干，烘干温度控制在 150℃，干燥 2h。

⑦包装、出荷：干燥后的零部件进行包装，出荷送达到客户。

2、材质为 SUS，膜质为 ITO 零部件

图 2-3 TFT—CF 制程—材质为 SUS，膜质为 ITO 零部件修复工艺工艺流程简述：

①受入：对从客户处取来的原始零部件进行外观、数量、材质的确认，受入的零部

件在客户厂区由客户自行拆解，本项目不涉及零部件拆解。

②酸洗、漂洗：用盐酸和纯水按比例配比成酸洗液对受入的零部件进行浸泡（浸泡

时间为 4h，温度控制在 40℃）。酸洗后的零部件再使用纯水进行漂洗（漂洗时间 12min）。

③碱洗、漂洗：用氢氧化钾和纯水（1kg 氢氧化钾配 10L 纯水）配比成碱洗液对受

入的零部件进行浸泡（浸泡时间为 2h，温度控制在 60℃）。碱洗后的零部件再使用纯

水进行漂洗（漂洗时间 1h）。

④中和、漂洗：用硝酸、氢氟酸、纯水按照 1：1：2 的比例配比成酸洗液对零部件

进行中和（浸泡时间为 10s。中和后的零部件再使用纯水进行漂洗（漂洗时间 1h）。

⑤喷砂：按照工艺要求对中间保护后的产品或者剥离喷砂后的产品进行精喷砂作

业，砂材型号一般选择为 24#、46#、80#等，喷砂压力为 3~5Kg/cm2或 4~6Kg/cm2，作

业后的产品外观上要求无色差、无残膜、无印记、无划伤等现象，同时需要保证产品的

表面粗糙度要求。

⑥检测：检测前道工序加工是否合格，不合格返工，合格进入下一道工序。

⑦高压水洗：利用纯水在高压力（0.25MPa）下对零部件进行水洗。

⑧干燥：清洗干净的零部件进入烘箱烘干，烘干温度控制在 200℃，干燥 4h。

⑨包装、出荷：干燥后的零部件进行包装，出荷送达到客户。

二、PVD 制程材料修复工艺流程

1、材质为 Al、Ti，膜质为 ITO/Mo/Al/Ti/Cu 零部件

生产工艺过程与“TFT—CF 制程—材质为 Al、Ti，膜质为 ITO 零部件”的修复工

艺一致，详见图 2-2。

2、材质为陶瓷，膜质为 ITO 零部件

生产工艺过程与“TFT—CF 制程—材质为 SUS，膜质为 ITO 零部件”零部件的修

复工艺一致，详见 2-3。

18三、DE 制程材料修复工艺流程

1、材质为陶瓷，膜质为卤化物、光刻胶零部件

图 2-4TFT—DE 制程—材质为陶瓷，膜质为卤化物、光刻胶零部件修复工艺

工艺流程简述：

①受入：对从客户处取来的原始零部件进行外观、数量、材质的确认，受入的零部

件在客户厂区由客户自行拆解，本项目不涉及零部件拆解。

②碱洗、漂洗：用氢氧化钾和纯水（1kg 氢氧化钾配 10L 纯水）配比成碱洗液对受

入的零部件进行浸泡（浸泡时间为 4h，温度控制在 60℃）。碱洗后的零部件再使用纯

水进行漂洗（漂洗时间 1h）。

③中和、漂洗：用硫酸、纯水按照 1：4 的比例配比成酸洗液对零部件进行中和（浸

泡时间为 10s。中和后的零部件再使用纯水进行漂洗（漂洗时间 1h）。

④干燥：清洗干净的零部件进入烘箱烘干，烘干温度控制在 200℃，干燥 4h。

⑤包装、出荷：干燥后的零部件进行包装，出荷送达到客户。

1920

2、材质为 Al、SUS，膜质为卤化物、光刻胶零部件

生产工艺过程与“TFT—DE 制程—材质为陶瓷，膜质为卤化物、光刻胶零部件”

的修复工艺一致，详见图 2-4。

四、sputter 制程材料修复工艺流程

本项目 TFT—sputter 制程的所有零部件的修复工艺均与“TFT—CF 制程—材质为

SUS，膜质为 ITO 零部件”零部件的修复工艺一致，详见图 2-3。

材质为 SUS，膜质为 Ag 零部件的修复工序中，在硝酸和氢氟酸的作用下，Ag 与硝

酸反应生产硝酸银，反应方程式如下：

Ag + 2 HNO

3

=== AgNO

3

+ NO

2

↑ + H

2

O

该反应产生 W6 含银废水。

五、OLED 制程材料修复工艺流程

图 2-5 TFT—OLED 制程—材质为 SUS、Ti，膜质为有机化合物零部件修复工艺工艺流程简述：

①受入：对从客户处取来的原始零部件进行外观、数量、材质的确认，受入的零部

件在客户厂区由客户自行拆解，本项目不涉及零部件拆解。

②有机浸泡：使用 N-甲基吡咯烷酮（NMP）对受入的零部件进行浸泡（浸泡时间

为 1h），浸泡后使用纯水进行漂洗，（漂洗时间 12min）。

③喷砂：喷砂是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处

理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲

击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，从而使工件表面的机

械性能得到改善。项目喷砂工序使用的砂料为白刚玉（氧化铝）。

④检测：检测前道工序加工是否合格，不合格返工，合格进入下一道工序。

⑤高压水洗：利用纯水在高压力（0.25MPa）下对零部件进行水洗。

⑥干燥：清洗干净的零部件进入烘箱烘干，烘干温度控制在 150℃，干燥 2h。

⑦包装、出荷：干燥后的零部件进行包装，出荷送达到客户。

212.半导体材料修复工艺流程

一、PVD/CVD 制程材料修复工艺流程

1、材质为 Al，膜质为 TiAl、Ti、TiN 零部件

图 2-6 半导体—PVD/CVD 制程—材质为 Al，膜质为 TiAl、Ti、TiN 零部件修复工艺

工艺流程简述：

全过程均为物理工序。

①受入：对从客户处取来的原始零部件进行外观、数量、材质的确认，受入的零部

件在客户厂区由客户自行拆解，本项目不涉及零部件拆解。

②超高压水洗：利用超高压水洗机喷出的超高压自来水冲去零部件表面沉积的膜

2223

层。

③喷砂：喷砂是采用压缩空气为动力，以形成高速喷射束将喷料高速喷射到需要处

理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形状发生变化。由于磨料对工件表面的冲

击和切削作用，使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度，从而使工件表面的机

械性能得到改善。项目喷砂工序使用的砂料为白刚玉（氧化铝）。

④熔射：熔射是利用热源将金属（铝线）熔化，并以一定速度喷射到基体表面形成

涂层的方法。

熔射的工作原理为：将两条各自带有正电负电的相同金属线接触产生电弧，瞬间产

生高热将金属线材融化。再经高压空气吹细雾化，带送吹向底材（或工件），堆积、凝

固成涂层或膜厚。熔射的材料为铝线或陶瓷粉（Al

2

O

3

）。

⑤检测：检测前道工序加工是否合格，不合格返工，合格进入下一道工序。

⑥超声波清洗：检测后需要经过 2 道超声波清洗（第二道清洗在洁净室操作）。

⑦干燥：清洗干净的零部件进入烘箱烘干，烘干温度控制在 150℃，干燥 2h。

⑧包装、出荷：干燥后的零部件进行包装，出荷送达到客户。24

3、材质为 SUS，膜质为 SiO

2

、TiN 零部件

图 2-7 半导体—PVD/CVD 制程—材质为 SUS，膜质为 SiO

2

、TiN 零部件修复工艺

工艺流程简述：

全过程均为物理工序。生产工艺对比“半导体—PVD 制程---材质为 Al，膜质为 TiAl、

Ti、TiN 零部件修复工艺”，减少了超高压冲洗和熔射两道工序，其余生产工序相同。3、材质为 Al，膜质为 TiN、SiOx、SiNx 零部件

图 2-8 半导体—PVD/CVD 制程—材质为 Al，膜质为 TiN、SiOx、SiNx 部件修复工艺

附件1： 验收意见.pdf 6.9 MB , 下载次数 1

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