根据国家环保总局2017年发布《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》的公告（国环规环评[2017]4号）及东莞市生态环境局的有关规定，现将“TGV 产品研发实验室建设项目”竣工环境保护验收的有关信息予以公示。

一、建设项目的名称及概要

建设内容:TGV 产品研发实验室扩建项目位于建设单位拟在广东省东莞市松山湖国际创新创业社区 B1栋 102 室(项目所在地中心卫星坐标:东经 113°51′34.530″，北纬 22°54′14.934″)。本次扩建不涉及现有项目研发产品、原辅材料、设备、工艺变动，具体扩建内容如下：

1、新增总投资 2500 万元。新增占地面积 600平方米、新增建筑面积 600平方米。

2、新增研发经过金属化处理后的板级玻璃基板 10000 片/a、板级产品 20000片/a。并增加相应的生产工艺、设备及原辅材料;

本次扩建后总投资 10500 万元，占地面积为 1370平方米，建筑面积为 1370平方米。扩建后实验经过金属化处理后的板级玻璃基板 10000 片/a、板级产品 20000 片/a、TGV 通孔转接板 70000 片/a。

项目于*开通会员可解锁*经东莞市生态环境局审批同意建设批复文号为(东环建(2024)5179号)。

项目实验生产工艺流程说明如下：

项目实验生产过程产生的酸碱废气、有机废气和臭气均接入配套的处理设施“碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附”处理后引至25m 高排气筒 DA004 排放;激光打孔、真空塞孔后打磨颗粒物经加强实验室管理后无组织排放；

项目在实验生产过程中产生的清洗废水、设备清洗废水、碳滤装置反冲洗废水经自建污水处理站处理后部分回用于喷淋塔和碳滤装置反冲洗，剩余部分作为零散废水交有相应处理能力的单位处理；扩建实验过程产生的研磨废水经自建三级沉淀池沉淀后循环使用，定期整体更换作为零散废水交有相应处理能力单位处理；扩建项目实验过程产生的真空泵含油废水、研磨废水和喷淋废水做为零散废水叫有相应处理能力的单位处理；

扩建项目污水处理站产生的硫化氢、氨和臭气浓度收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+活性炭吸附装置处理后引至 25m高排气筒 DA003 排放。

扩建项目实验生成过程中产生的一般固体废物废过滤材料、废砂纸和污泥均已分类贮存一般工业固废仓库并与资质单位签订处置合同;产生的危险废物废异丙醇、废腐蚀液、废镀液、废调整剂、废铜保护剂、废滤芯、废容器罐、废气处理产生的废活性炭、废抹布均已分类贮存危险废物仓库;建立相关危废台账，并与有资质的处置单位签订合同。

我公司于*开通会员可解锁*—*开通会员可解锁*开展验收监测工作，现组织开展验收工作，对该项目“三同时”执行情况、环境保护设施建设情况、环境保护管理等方面进行了现场检查。

二、建设单位名称和联系方式

单位名称：三叠纪（广东）科技有限公司；

联系人：李工；

联系电话：*开通会员可解锁*；

地址：广东省东莞市松山湖国际创新创业社区 B1栋 102 室；

三、建设项目污染源排放情况

1、空气污染源

（1）玻璃清洗工序

项目通过晶圆清洗设备对玻璃基板进行清洗，首先使用清洗液、纯水进行清洗，随后进入纯水洗清洗，再采用异丙醇进行清洗，最后使用氮气吹干。 清洗液和异丙醇定期更换。考虑到异丙醇属于 TVOC物质，该过程会产生非甲烷总烃、TVOC物质和臭气。玻璃清洗工序产生的非甲烷总烃、TVOC物质和臭气浓度收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附处理后引至25m高排气筒 DA004排放。

（2）激光打孔工序

项目使用激光诱导玻璃通孔系统设备对基板进行激光打孔，此过程会产生颗粒物，产生的颗粒物较少，无组织排放，无法通过监测数据核算实际排放量，因此以原环评列出，排放量为0.032t/a ，经过加强实验室的通风管理后无组织排放；

（3）打孔后清洗工序

项目中打孔后的玻璃基板基板通过晶圆清洗设备对玻璃基板进行清洗，首先使用清洗液、纯水进行清洗，随后进入纯水洗清洗，再采用异丙醇进行清洗，最后使用氮气吹干。清洗液和异丙醇定期更换。考虑到异丙醇属于 TVOC 物质，该过程会产生非甲烷总烃、TVOC物质和异味，其异味以臭气浓度计。打孔后清洗工序和产生的非甲烷总烃、TVOC物质和臭气浓度收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附处理后引至25m高排气筒 DA004排放。

（4）玻璃腐蚀工序

项目扩前原有的玻璃腐蚀工序流程不变，是将基板放入玻璃腐蚀机中的HF槽中进行腐蚀，腐蚀加工以达到客户要求尺寸规格；HF槽中溶液主要为氢氟酸、氟化铵和纯水，添加氟化铵主要作用是与氢氟酸形成缓冲溶液，维持腐蚀液的pH值，保证工艺稳定性；腐蚀过程中玻璃基板和氢氟酸、氟化铵反应会产生氨气。玻璃基板腐蚀后进入纯水槽进行清洗，然后使用氮气吹干。此过程会产生氟化物、氨气和臭气。项目玻璃腐蚀工序所产生的氟化物、氨气和臭气收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附处理后引至25m高排气筒 DA004 排放；

（5）真空塞孔：真空塞孔工序包括真空塞孔、烘干、打磨、清洁工序。

①真空塞孔：采用真空塞孔机将铜浆料注入到玻璃腐蚀后的孔中，塞孔在真空环境下进行，可以保证铜浆充分填充孔洞，不会出现气泡。铜浆料中含有苯甲醇。该工序会产生非甲烷总烃。

②烘干：真空塞孔后通过进入烤箱进行烘干，确保铜浆料和玻璃结合牢固，烘干温度为 90～110℃，该工序会产生非甲烷总烃；

③打磨：采用砂纸打磨铜浆固化后可能的不平整部分，该工序会产生颗粒物；

④清洁：打磨后采用抹布沾取乙醇擦拭玻璃表面，该工序会产生非甲烷总烃/TVOC。

真空塞孔所有工序产生的非甲烷总烃/TVOC物质收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附处理后引至25m高排气筒 DA004 排放；其打磨工序产生的颗粒物较少，经加强实验室管理后无组织排放；

（6）电镀工艺

化学粗化、水洗：将基板放入电镀线的化学粗化槽进行化学粗化，粗化槽中溶液主要为氢氟酸和超纯水，粗化的目的是提高玻璃基板表面的亲水性和形成适当的粗糙度，以保证镀层有良好的附着力，后续设置 2级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生氟化氢；

预浸、水洗：将基板放入电镀线的预浸槽进行预浸，预浸槽中溶液主要为预浸液和超纯水，使零件表面吸附一层具有还原性的金属离子, 以便在随后的活化处理时,将具有催化作用的金属由离子还原为原子。后续设置 2级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生氯化氢；

活化、水洗：将基板放入电镀线的活化槽进行活化，活化槽中溶液主要为活化剂和超纯水，活化处理就是使玻璃基材表面形成一层具有催化活性的金属层。后续设置 2 级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生氯化氢；

调整、水洗：将基板放入电镀线的调整槽进行调整，调整槽中溶液主要为调整剂和超纯水，后续设置 2 级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生非甲烷总烃；

化学镍、水洗：将基板放入电镀线的化学镍槽进行镀化学镍，槽中溶液主要为硫酸镍、次磷酸钠、氨水和超纯水，化学镀镍是在催化活性表面上的自发氧化 还原反应，次磷酸钠还原镍离子使镍沉积在玻璃基板，化学镀镍是通过化学反应在基体表面沉积金属，而不是通过电解过程，因此无专门的阳极和阴极。后续设置 2级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生氨气；

化学铜、水洗：将基板放入电镀线的化学铜槽进行镀化学铜，槽中溶液主要为硫酸铜、甲醛和超纯水，化学镀铜是在甲醛催化还原作用下铜发生还原反应， 从 2 价变为铜原子再沉积到化学镍层上形成化学镀铜层，化学镀铜是通过化学反应在基体表面沉积金属，而不是通过电解过程，因此无专门的阳极和阴极。后续设置 2级浸泡水洗，一天更换一次。该工序会产生非甲烷总烃/甲醛/TVOC；

铜保护剂：将基板放入电镀线的防氧化槽进行防氧化，槽中溶液主要为铜保护剂和超纯水，该工序会产生非甲烷总烃；

电镀工艺产生的氟化氢、氯化氢、非甲烷总烃/甲醛/TVOC以及氨气收集后经碱液喷淋+脱水除雾器+二级活性炭吸附处理后引至25m高排气筒 DA004 排放。

（7）污水站恶臭

项目产生的清洗废水、设备清洗废水以及碳滤装置反冲洗废水经自建污水处理站处理后部分回用于喷淋塔和碳滤装置反冲洗，剩余部分作为零散废水交有相应处理能力的单位处理。污水站在处理上述废水的过程中会产生氨气、硫化氢和臭气等恶臭污染物，项目采用“加盖密封+密闭管道抽风”对恶臭污染物进行收集，除臭收集风管伸入加盖的池体内进行负压收集。收集后一并经过1套碱液喷淋+活性炭吸附处理后经过1个25m高排气筒DA003高空排放，处理后的氨气、硫化氢和臭气达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表 1 恶臭污染物厂界二级新扩改建标准；

项目激光打孔、真空塞孔后打磨颗粒物经加强实验室管理后无组织排放，排放浓度达到执行广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27－2001）第二时段无组织排放监控浓度限值的要求；

项目酸碱废气分析如下：

①玻璃腐蚀、电镀线化学粗化、预浸、活化和镀酸铜工序产生的氟化物、氯化氢、硫酸雾达到《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表 5 新建企业大气污染物排放限值与广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准的较严值的要求。

②电镀线化学镍产生 的氨气 、臭气浓度以及污水站产生的硫化氢、氨气和臭气浓度达到《 恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表 2恶臭污染物排放标准和表 1恶臭污染物厂界二级新扩改建标准的要求。

项目有机废气分析如下：

玻璃清洗、打孔后清洗及其后氮气吹干、玻璃腐蚀、玻璃真空塞孔擦拭、 电镀线防氧化、电镀线化学铜产生的非甲烷总烃/TVOC，玻璃真空塞孔及其烘干、电镀线调整工序产生的非甲烷总烃有组织排放浓度达到广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表 1 挥发性有机物排放限值中最高允许浓度限值的要求。

电镀线防氧化产生的甲醇、电镀线化学铜产生的甲醛达到广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中第二时段二级标准标准和无组织排放监控浓度限值要求。

厂区内非甲烷总烃无组织排放达到广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/ 2367-2022）表 3 厂区内 VOCs 无组织排放限值要求。

有机废气厂区内无组织排放达到广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/ 2367-2022）表 3 厂区内 VOCs 无组织排放限值的要求。

2、废水污染源

（1）生活污水

项目生活污水经三级化粪池预处理后，达到广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准与《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）B级标准较严值后排放至市政污水管网，然后引至东莞市松山湖北部污水处理厂处理后达标排放。

（2）实验室废水

①清洗废水

项目玻璃清洗、打孔后清洗、玻璃腐蚀、电镀工序使用纯水清洗会产生清洗废水，产生量为 42.7m³/a ，具体清洗废水计算情况见下表。

清洗废水产生量计算表

②设备清洗废水

项目定期每天对研磨机进行清洗，根据扩建前经验，45L的研磨机单台设备清洗用水量为100L/次，则本次扩建的280L的研磨机单台设备清洗用水量为700L/次，每天清洗一次，年工作100天，考虑损耗10% ，则设备清洗废水产生量为126m³/a。

③碳滤装置反冲洗废水

项目自建污水处理站中的碳滤装置需定期进行反冲洗，反冲洗用水于回用水池取水，反冲洗不需添加其他药剂；根据建设单位提供资料，碳滤装置定期每天进行一次反冲洗，每次新增反冲洗水量约为0.2m³，污水处理站年工作300天， 则反冲洗废水量为60m³/a；碳滤装置反冲洗废水引至污水处理站的调节池进行处理。

项目清洗废水、设备清洗废水、碳滤装置反冲洗废水采用自建污水处理站处理后部分回用于喷淋塔和碳滤装置反冲洗，剩余部分经收集后作为零散废水交有相应处理能力的单位处理，不外排。回用水标准达到《城市污水再生利用工业用水水质》 (GB/T19923-2024)中“间冷开式循环冷却水补充水”限值要求。

（3）研磨废水

项目表面研磨工序使用研磨液和纯水对玻璃基板进行研磨，研磨过程会产生研磨废水。根据建设单位扩建前经验，项目研磨机内溶液定期 1 天更换一次，研磨废水经自建三级沉淀池沉淀后循环使用，循环过程中因工件带走以及自然蒸发等因素会产生损耗，损耗量约为循环水量的 5% ，研磨机内容水量为280L，年工作 100 天 ，则研磨过程损耗量为2.8m³/a （280L/ 台× 2 台× 100d/a × 5%=2.8m³/a）；研磨废水定期 30 天整体更换一次作为零散废水交有相应处理能力单位处理；项目共新增2台研磨机，容水量为 280L；则研磨废水产生量为 1.68m³/a 。收集后交石马河流域外有工业零散废水处理能力的单位处理。

（4）真空泵含油废水

项目抽真空使用水环式真空泵，容水量15L，循环使用,每 60天更换一次，会产生真空泵含油废水，年工作100天，产生量为0.03m³/a。该废水经专门的废水收集桶收集后交石马河流域外有工业零散废水处理能力的单位处理，不外排。

（5）喷淋废水

参照《简明通风设计手册》（孙一坚主编）“各种吸收装置的技术经济比较” 中填料塔的推荐液气比为 1.0~ 10L/m³，项目新增废气喷淋水循环水量液气比取值2L/m³。DA004 喷淋塔风量为 6000m³/h，则水喷淋的循环水量为 12m³/h，水喷淋的储水量按照2 分钟储水量为 0.4m³，每 30 天更换一次，故新增废气喷淋废水产生量 1.6m³/a 。喷淋用水为普通的自来水，因自然蒸发等因素造成损耗，需充新鲜的自来水，循环水池为密闭系统，因此损耗量参考《工业循环冷却水处理设计规范》（GB/T50050-2017）中闭式系统的补充水量不宜大于循环水量的2.0‰， 本项目取 2.0‰ ，则损耗水量为 12×1600×2.0‰=38.4m³/a ，年运行 100d 。合计废气喷淋用水量为 0.4m³/d（40m³/a）。收集后交石马河流域外有工业零散废水处理能力的单位处理。

综上所述，项目采用自建污水处理站处理的新增的废水主要有清洗废水 （23.04m³/a）、设备清洗废水（126m³/a）、碳滤装置反冲洗废水（60m³/a）， 合计 209.04m³/a。

（6）自来水制备纯水浓水

项目所需的纯水是通过纯水机利用RO 反渗透和 EDI 的原理制得的纯水， 纯水机产水比例为 70% ，项目新增所需的纯水量为 82.0433m³/a， 自来水用量为 117.205m³/a，则自来水制备纯水浓水的产生量为35.1617m³/a。

通过类比深圳市三利谱光电科技股份有限公司（光明新区厂区）尾水检测数据（R20323149）可知，主要污染因子为SS 、BOD5 、总磷、氨氮。该类纯水机尾水水质符合《地表水环境质量标准》（GB 3838-2002）III 类标准，本项目纯水处理工艺与深圳市三利谱光电科技股份有限公司（光明新区厂区）纯水处理工艺一致，且均为自来水制纯水，因此具有可类比性。根据类比浓水检测数据，浓水中污染物含量低，属于清净下水，回用于冲厕。

（7）雨水

项目实行雨污分流制，雨水和污水分开收集、分开处置；雨水经项目所在厂区雨水收集渠收集后排入市政雨水管网。

3、噪声污染源

项目的主要噪声为生产设备、风机等运行时产生的噪声。项目50m 范围内无敏感点，且项目不属于连续性生产项目，经过选用低噪声设备，采取隔声、减振、消声的治理措施，使得本项目噪声经过衰减后，不会导致项目附近声水平明显升高，达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348－2008）2 类标准的要求，项目营运期间生产噪声对周围环境影响不大。

4、固体废弃物污染源

本项目扩建产生的固体废物主要包括危险废物、一般工业固体废物、中转物、 生活垃圾。

（1）生活垃圾

项目员工生活垃圾纳入镇区环卫清运系统统一处理，并对垃圾堆放点进行消毒，消灭害虫，避免散发恶臭，孳生蚊蝇。因此，该建设单位产生的生活垃圾经处理后不会直接对环境造成明显不利影响。

（2）一般生产固废

项目生产过程中产生的废过滤材料、废砂纸和污泥经收集后交专业公司回收处理。

（3）危险废物

项目产生的废异丙醇、废腐蚀液、废镀液、废调整剂、废铜保护剂、废滤芯、废容器罐、废气处理产生的废活性炭、废抹布收集后交由有危险废物处理资质单位处理，并根据《危险废物转移联单管理办法》，对该废物收集进行转移联单管理。

（4）中转物

空气瓶：项目使用氮气会产生少量空气瓶，项目扩建新增使用氮气 150 瓶/ 年，则年产生空气瓶 150 个/年，氮气气瓶规格为47L钢瓶；根据建设单位提供资料，单个空气瓶约重 0.05t，则项目空气瓶产生量为 7.5t/a。根据《固体废物鉴别标准通则（GB34330-2017）规定：“ 以下物质不作为固体废物管理：a）任何不需要修复和加工即可用于其原始用途的物质，或者在产生点经过修复和加工后满足国家、地方制定或行业通行的产品质量标准并且用于其原始用途的物质 ”，交供应商回收利用。

四、建设项目验收结论

建设单位遵守“三同时”的管理规定，完成各项报建手续，确实保证环评提出的各项环保措施的落实，并尽一切可能确保本项目所在区域的环境质量不因本项目的建设而受到不良影响，真正实现环境保护与经济建设的协调发展。达到环评所提出的各项要求后，该项目对周围环境将不会产生明显的影响，项目符合验收标准。

建设单位：三叠纪（广东）科技有限公司

附件1： 竣工验收意见和其他需要说明事项.pdf 1.2 MB , 下载次数 0

附件2： 竣工环境保护验收监测报告表盖章版.pdf 1.8 MB , 下载次数 0

回复 点赞 收藏

评论 共0条评论

请先 登录 后发表评论

0/150

按热度排序

按时间排序