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多层薄膜工艺腔体
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发布时间:
2025-12-11
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多层薄膜工艺腔体

发布时间:*开通会员可解锁* 09:32:36

截止时间:*开通会员可解锁* 09:40:00

基本信息:

申购主题:多层薄膜工艺腔体

送货时间:合同签订后45天内送达

报价要求:

安装要求:免费上门安装(含材料费)

付款方式:货到验收合格后付款,如有其他付款要求,请在竞价时注明

收货地址:浙江省/宁波市/镇海区/****

备注说明:1.需要送货上门,安装调试,不接受快递物流 2.需要全新正品

采购明细

序号 采购内容 数量/单位 预算单价 品牌 型号 规格参数 质保及售后服务 附件
1 多层薄膜工艺腔体 1.0 *开通会员可解锁*.0 滨州导向科学仪器有限公司 MPPJ320、MPPB320、DS320 [{"key":"1","value":"一.磁控溅射金属腔体:\n1.磁控溅射金属工艺腔体2套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板2套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:2套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n二.磁控溅射半导体腔体\n1.磁控溅射半导体工艺腔体1套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板1套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:1套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n三.热蒸发腔体:\n1.蒸发工艺腔体1套:材质:304不锈钢\n2.形状:圆柱形直径320mm安装观察窗及挡板\n3.上下安装加热衬底与蒸发源\n4.极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度\n6.衬底转速5~10转/min连续可调\n7.手动挡板1套:于遮挡样品与蒸发源之间。手动控制。\n8.内屏蔽罩一套,将蒸发源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了蒸发材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n9.加热电源1套\n10蒸发电源1套:\n11.一套配置高温源容量20CC.配坩埚 \n四.设备结构:\n1.整套设备需要将2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体及1套热蒸发腔体连接在一起实现不接触大气样品转移.\n2.电源要求:2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体采用500W直流电源","important":true}] 1.原厂质保1年
2 多层薄膜工艺腔体 1.0 *开通会员可解锁*.0 苏州市新锐博纳米科技有限公司 XRB-250、XRJ250、ZD250 [{"key":"1","value":"一.磁控溅射金属腔体:\n1.磁控溅射金属工艺腔体2套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板2套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:2套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n二.磁控溅射半导体腔体\n1.磁控溅射半导体工艺腔体1套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板1套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:1套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n三.热蒸发腔体:\n1.蒸发工艺腔体1套:材质:304不锈钢\n2.形状:圆柱形直径320mm安装观察窗及挡板\n3.上下安装加热衬底与蒸发源\n4.极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度\n6.衬底转速5~10转/min连续可调\n7.手动挡板1套:于遮挡样品与蒸发源之间。手动控制。\n8.内屏蔽罩一套,将蒸发源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了蒸发材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n9.加热电源1套\n10蒸发电源1套:\n11.一套配置高温源容量20CC.配坩埚 \n四.设备结构:\n1.整套设备需要将2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体及1套热蒸发腔体连接在一起实现不接触大气样品转移.\n2.电源要求:2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体采用500W直流电源","important":true}] 1.原厂质保1年
3 多层薄膜工艺腔体 1.0 *开通会员可解锁*.0 丹阳市硕果真空技术有限公司 MPEJ-300、MPEB-300、RZ300 [{"key":"1","value":"一.磁控溅射金属腔体:\n1.磁控溅射金属工艺腔体2套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板2套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:2套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n二.磁控溅射半导体腔体\n1.磁控溅射半导体工艺腔体1套:材质:304不锈钢无缝钢管\n2.安装观察窗及挡板\n3.腔体预留磁力进样杆接口,腔体加工精度必须保证后期与其他真空室链接。\n4.形状:圆柱形直径320mm上下安装加热衬底与磁控阴极极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度衬底转速5~10转/min连续可调\n6.手动挡板1套:于遮挡样品与溅射源之间。手动控制。\n7.内屏蔽罩一套,将溅射源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了溅射材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n8.磁控阴极:1套;靶材直径75mm,DC/RF工作模式;共聚焦模式最大功率2kw,共聚焦在基片架中心;每个阴极的可调角度为30;磁控阴极采用循环水冷却;\n溅射用靶材:直径75mm;磁性靶材厚度2mm,其它靶材厚度6mm;靶材安装方式为用卡环直接固定在基座上,能够保证靶材与基座之间接触良好,装卸靶材过程简单易行;\n三.热蒸发腔体:\n1.蒸发工艺腔体1套:材质:304不锈钢\n2.形状:圆柱形直径320mm安装观察窗及挡板\n3.上下安装加热衬底与蒸发源\n4.极限压强:8*10-5Pa\n5.加热温度:室温-400度\n6.衬底转速5~10转/min连续可调\n7.手动挡板1套:于遮挡样品与蒸发源之间。手动控制。\n8.内屏蔽罩一套,将蒸发源与样品包裹在一个空间内,防止更多的材料弥散到真空室内,也更好的保证了蒸发材料包裹在样品表面的浓度。单层结构。\n9.加热电源1套\n10蒸发电源1套:\n11.一套配置高温源容量20CC.配坩埚 \n四.设备结构:\n1.整套设备需要将2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体及1套热蒸发腔体连接在一起实现不接触大气样品转移.\n2.电源要求:2套磁控溅射金属腔体与1套磁控溅射半导体腔体采用500W直流电源","important":true}] 1.原厂质保1年
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