高真空蒸发镀膜机

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备注说明：名称：高真空蒸发镀膜机 品牌：普迪真空 型号：PD-300 设备主要特点及用途 PD-300 高真空蒸发镀膜设备配 2 组蒸发源（可使用丝状源与舟状源），兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发（有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源）。该设备主机与控制一体化设计，操控方便；结构紧凑，占地面积小。可用来制备金属膜、有机膜及扫描电镜制样等。 该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等。 设备结构简述PD-300 高真空电阻蒸发镀膜机主要由不锈钢真空腔室、旋转水冷基片台、蒸发源及电源、真空系统、水路系统、PLC+触摸屏电气控制系统（含安全保护报警系统）、机架及控制柜辅件等组成。 1.1 真空腔室 结构：采用方形不锈钢真空室，铝合金前开门结构。 材料及尺寸：真空腔室：真空专用优质不锈钢；尺寸约 300×300×H500mm； 内抛光处理，保证完美外观。 1.2 基片台 基片台尺寸 100x100mm。配备专用工装夹具抽插结构，方便用户安装基片。 样品台可旋转，可水冷。 1.3 蒸发源及电源 蒸发源 蒸发电极：电极位于腔室底部，合理分布组合成蒸发电极；电极为通水冷却的水冷电极，适应长时间稳定工作； 蒸发源挡板：蒸发源上配挡板，以防交叉污染； 蒸发源及材料：可使用丝状源与舟状源，兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发（有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源）。蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚等。 1.4 真空系统 采用“脂润滑分子泵+旋片泵”真空系统；“一低一高”数显复合真空计； 分子泵：型号：脂润滑分子泵 700L/S，抽速：700 L/S； 机械泵：型号：DRV24（单相），抽速：6L/S； 真空测量： “一低一高” 数显复合真空计，测量范围从 1×10 5Pa 到 1×10 -5Pa； 真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封；不常拆静密封采用无氧铜密封。 1.5 水路系统 给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水，可保证设备长时间稳定运行。膜厚仪探头独立的进、出水。总进水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警。总进、出水采 用标准的水路接口连接用户现场供水系统。 1.6 电气控制系统 PD-300 高真空电阻蒸发镀膜机电气控制系统采用西门子 PLC+触摸屏手自动控制系统，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索；

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