广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
发布时间：
2026-07-27
发布于
广东佛山
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 步进式光刻机 | 标的名称：步进式光刻机 标的数量：1 主要功能或目标：提升半导体制造及研发领域的高精度图形转移能力。 目标：确保高精度层间套刻能力，能适配硅、化合物半导体等多种衬底材料的晶圆加工。 需满足的要求：1、最小分辨率应≥0.22um； 2、不低于250片/小时的量产效率及高精度层间套 3、支持常规及环形照明模式 4、符合SECS/GEM通讯标准。 5、需满足72小时连续运行稳定性要求，确保安全合规与长期可靠运行。 |
落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | 370,000,000.00 | *开通会员可解锁* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
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