广东中科半导体微纳制造技术研究院2026年07月至2026年08月政府采购意向
发布时间：
2026-07-27
发布于
广东佛山
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 离子注入机 | 标的名称：离子注入机 标的数量：1 主要功能或目标：功能：利用加速器将掺杂元素（如硼、磷、砷等）电离成离子束，通过磁分析器筛选后，在真空中将离子精准加速并注入到硅晶圆内部，以精确改变半导体材料的电学性能（导电类型和电阻率）。 目标:逻辑芯片制造、 存储芯片制造、模拟芯片管）及MOSFET（金属氧化物半导体场效应晶体管）等器件、材料改性等 需满足的要求：1.适用晶圆尺寸：6英寸直径150mm晶圆 2.晶圆翘曲度：应≤250um。 3.注入剂量均匀性：片内与片间均应≤0.5% 4.注入剂量重复性≤0.5% |
落实国家关于节能产品，环保标志产品、促进中小企业发展，残庆人福利性单位、贫因地区农副产品等政策情况 | 18,000,000.00 | *开通会员可解锁* |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
广东中科半导体微纳制造技术研究院
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