近期，舟山市生态环境局发布了北方特气(浙江)科技有限公司硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期项目环境影响报告书受理的公示。

本项目生产的电子特种气体是国家“十四五” 规划重点支持的第三代半导体材料。自2009年以来，国家发改委、科技部、工信部等多个部门相继出台了一系列相关政策，明确了特种气体的新材料产业属性，并且通过这些政策的有力推动，电子特气行业得以快速发展，国产化趋势加速。然而，我国在电子特气方面的进口依赖度较高，这已经成为了我国发展科技、新能源等领域的“瓶颈”之一。因此，电子特气的供应安全问题亟待解决。

本项目产品属于硅烷系列，包括电子级硅烷、电子级四氯化硅、电子级三氯氢硅、电子级二氯硅烷、电子级一氯硅烷和电子级六氯乙硅烷。项目的投资和建设符合特气公司的发展方向和要求，有助于推进区域布局的优化，推进业务结构的转变，实现可持续发展。

项目概况

项目名称：北方特气(浙江)科技有限公司硅基新材料及第三代半导体材料一体化项目一期

项目性质：新建

建设单位：北方特气(浙江)科技有限公司

建设地点：浙江省舟山市舟山高新技术产业园区二期

项目投资：223982 万元

建设规模与建设内容：项目用地约 388 亩，建设硅烷系列产品，包括电子级硅烷、电子级四氯化硅、电子级三氯化硅、电子级二氯硅烷、电子级一氯硅烷和电子级六氯乙硅烷。同时，副产物氢气、二氧化碳。

劳动定员及生产班制：本项目劳动定员 450 人，项目年运行 330 天，每天 3 班制，每班 8 小时。

产品方案

电子级硅烷是一种高纯度的有机硅化合物，无色、无味、易燃的气体，具有良好的化学稳定性和高度的反应性。电子级硅烷广泛用于外延沉积晶硅膜和生产多晶硅膜、一氧化硅膜以及氮化硅膜，通常用于半导体制造和其他高科技领域，如太阳能电池、液晶显示器、LED 等。其高纯度和低杂质含量使其成为半导体制造过程中的重要原料。

电子级四氯化硅是一种无色或淡黄色发烟液体，是光纤、光电传感器生产的主原料，也用于集成电路的刻蚀工艺以及存储器的薄膜工艺。

电子级三氯氢硅是一种外观呈无色液体的无机化合物，应用于硅外延片及半导体碳化硅等电子电气领域。

电子级二氯硅烷一种无色、易燃的气体，主要用于电子半导体、集成电路工业中硅外延及集成电路上氮化硅掩蔽膜和多晶硅膜等含硅薄膜的制备，是一种性能极佳的外延淀积材料；

电子级一氯硅烷一种无色、易燃的气体，主要用于电子半导体、集成电路工业中硅外延及集成电路上氮化硅掩蔽膜和多晶硅膜等含硅薄膜的制备，是一种性能极佳的外延淀积材料；

电子级六氯乙硅烷是一种无色液体，作为一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感性的电子特气产品，主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的制备，也是优良的硅氧烷前驱和光化学纤维原料，在半导体、光电材料等领域有着广泛的应用前景和实际价值。

企业简介

北方特气(浙江)科技有限公司是为在浙江舟山建设硅烷、硅碳负极材料及第三代半导体用特种气体一体化项目拟成立的高科技企业，公司管理团队、核心技术人员、核心工艺技术源于具有二十多年电子级多晶硅、军用航空航天高能燃料、电子气、标准气、电光源气、镀膜气研发、生产、应用经验和深厚技术积淀的保定市北方特种气体有限公司。公司坐落于浙江省舟山市高新技术开发区，公司定位于新能源电子材料、第三代半导体用特种电子气体、芯片用特种电子材料等多种特种气体的研制、生产和经营，产品主要应用于新能源储能、半导体材料、集成电路、显示面板、光伏能源等多个行业及领域。

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