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稀释剂和显影液采购项目单一来源采购公示来源:浙江省国际技术设备招标有限公司发布时间:*开通会员可解锁*浏览次数:3
采购人:西湖大学光电研究院微纳平台
二、项目名称:稀释剂和显影液采购项目
三、采购内容:稀释剂和显影液
四、采购预算:*开通会员可解锁*.00元
五、单一来源的说明:
默克电子材料(苏州)有限公司的稀释剂和上海帝奥科电子科技有限公司(TOKC
Co.LTD)的显影液满足KrF光刻机的工艺验机和客户工艺开发要求,为满足KrF工艺制程的稳
定性和客户开发项目的顺利进行,拟定以单一来源采购方式向默克电子材料(苏州)有限公司和
上海帝奥科电子科技有限公司(TOKChinaCo.LTD)授权商上海辰和芯电子科技有限公司采购该
批材料。
六、拟成交供应商信息:上海辰和芯电子科技有限公司
地址:上海市松江区千帆路288号2号楼1709室
七、公示期限:从*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*止(自公告发布之日起5个工作日)
八、对本次采购提出异议,请按以下方式联系:
对公示内容有异议的,自发布公告之日起5个工作日内以有效形式提出:
联系人:雷老师
联系方式:*开通会员可解锁*
联系邮箱:ying.lei@foem.com.cn
投诉联系人:冯老师
投诉联系方式:*开通会员可解锁*
投诉联系邮箱:office@foem.com.cn