等离子体增强化学气相沉积(PECVD)
发布时间：
2025-08-08
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| 项目所在采购意向： | zycgr22*开通会员可解锁*年8至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr22011903 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强化学气相沉积(PECVD) |
| 预算金额： | 1050.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | PECVD是能够沉积金属、半导体、电介质和聚合物等。是半导体工程、微机电系统MEMS领域必备成膜工艺设备。 |
| 预计采购时间： | 2025-08 |
| 备注： | PECVD是能够沉积金属、半导体、电介质和聚合物等。是半导体工程、微机电系统MEMS领域必备成膜工艺设备。 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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