A02100304光学测试仪器

1.设备名称：共聚焦显微镜； 2.重要功能或目标：对亚微米级材料或结构进行三维光学测量；采购数量1台；满足以下需求：1．显微镜主机1.1 激光光源：波长≤405nm的半导体激光光源，寿命不低于10000小时；1.2 白光光源：LED光源寿命不低于30000小时；1.3 光学分辨率：平面≤120nm，高度≤6nm；1.4 显示分辨率：平面≤1nm，平面≤0.5nm；1.5 Z轴扫描范围：不小于10mm，最大可观察斜面角度不小于87.5度；1.6载物台：超声波电动台，光栅定位，行程不下于100mm*100mm，最大样品高度100mm；1.7：三维图形处理、三维几何测量、表面积和体积测量、线和面粗糙度测量、最大最小值自动获取、剖面线数据导出、空间坐标转换,自动识别最高点和最低点，多种辅助线功能；1.8 观察辅助功能：一键式自动识别扫描范围和曝光强度，实时跟踪自动聚焦等功能； 3.数量：1套； 4.质量服务等：售后5*24小时快速响应，免费保修至少1年，机器使用年限不低于10年。