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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 1800.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:离子注入机 标的数量:1 主要功能或目标:功能：利用加速器将掺杂元素（如硼、磷、砷等）电离成离子束，通过磁分析器筛选后，在真空中将离子精准加速并注入到硅晶圆内部，以精确改变半导体材料的电学性能（导电类型和电阻率）。 目标:逻辑芯片制造、 存储芯片制造、模拟芯片管）及MOSFET（金属氧化物半导体场效应晶体管）等器件、材料改性等 需满足的要求:1.适用晶圆尺寸：6英寸直径150mm晶圆 2.晶圆翘曲度：应≤250um。 3.注入剂量均匀性：片内与片间均应≤0.5% 4.注入剂量重复性≤0.5% |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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