教学仪器

该项目聚焦于半导体级温变老化测试设备的采购，旨在搭建集成电路前后道工艺产教融合实训平台，助力教学实践与学生创新能力的培养。老化测试设备、高低温（湿热）试验箱与《微电子及集成电路基础》《国产芯片创新实践》等课程紧密相关。《微电子及集成电路基础》课程中，学生借助这些设备可进行半导体器件在不同温湿度环境下的性能测试实验，从而深入理解器件老化原理。《国产芯片创新实践》利用设备模拟芯片实际工作环境，开展老化试验，提升学生解决实际问题的能力。该设备部署于洁净间内，属于在线测试设备，样品测试前后均需要在洁净间内进行处理。如果借用其他设备测试样品需要频繁进出洁净间，容易造成损坏和污染；其次，该设备因体积庞大且需维持洁净环境的密封性，难以频繁搬动。