微波等离子体气相沉积系统
发布时间：
2025-11-17
发布于
辽宁沈阳
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 微波等离子体气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院金属研究所2025年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院金属研究所 |
| 采购项目名称： | 微波等离子体气相沉积系统 |
| 预算金额： | 146.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02050910金属表面处理设备 |
| 采购需求概况 ： | 本设备主要用于利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）工艺生长大尺寸高质量单晶金刚石，制备高功率光电子器件及微电机系统MEMS传感领域，应用极端环境的深紫外探测、磁、温度等探测。 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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