低压化学气相沉积系统
发布时间：
2026-07-27
发布于
广东佛山
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后查看完整商机。全国免费咨询热线:400-888-7022| 低压化学气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位： | 广东中科半导体微纳制造技术研究院 |
| 采购项目名称： | 低压化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | 340.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 标的名称:低压化学气相沉积系统 标的数量:1 主要功能或目标:用于8英寸及以下尺寸硅片沉积SiN薄膜，同时支持氧化、退火等关键工艺，满足半导体制造中薄膜制备与表面处理需求。 目标：实现高精度薄膜工艺控制，确保设备稳定运行（正常运行时间≥90%，平均无故障时间≥500小时），输出符合半导体工艺标准的薄膜（如厚度、均匀性、应力等指标）。 需满足的要求:1、硅片兼容性：支持8英寸圆硅片（兼容6英寸） 2、温度控制精度±0.5°C 3、压力控制：工作压力范围15Pa-80Pa 4、符合SEMI标准，支持MES接口（SECS II/GEM协议） |
| 预计采购时间： | 2026-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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