A02100309激光仪器

一、项目概述 本项目需采购一套高精度飞秒激光三维加工系统，系统以飞秒激光微纳加工为核心，集成多波长飞秒激光光源、高精度光束扫描模块、三维运动平台、同轴 / 旁轴视觉检测定位单元与控制软件，实现各类材料的三维微结构刻蚀、切割与精密加工，可完成复杂微纳几何形貌的高精度制备，满足微纳器件、精密光学元件等样品的科研试制需求。 二、主要功能与目标 1. 多波长飞秒激光加工：支持 1030nm、515nm、343nm 三种激光波长快速切换，可针对金属、陶瓷、玻璃、聚合物等不同材料匹配最优加工波段，实现冷加工，降低热影响区。 2. 高精度光束调控：具备超高重复定位精度的光束扫描单元，实现激光光斑的精密寻址，配合视觉定位系统完成工件自动识别、对准与加工坐标校正。 3. 三维空间精密运动：搭载 X/Y/Z 三维高精度运动工作台，可在三维空间内带动工件大范围移动，与激光扫描振镜协同，实现大视场范围内连续三维微结构加工。 4. 视觉在线检测：集成同轴视觉检测与旁轴视觉定位双光路，加工过程实时观测、加工后形貌检测，实现加工前定位、加工中监控、加工后检测一体化。 5. 系统集成控制：配套专用加工控制软件，支持图形导入、加工路径规划、激光参数调制、运动轴与振镜联动控制、加工数据存储，实现三维微结构自动化加工。 三、采购标的数量及技术指标 （一）采购数量：1 套 （二）核心技术指标 1. 飞秒激光光源 激光功率≥10W，最大单脉冲能量＞100μJ；激光波长支持 1030nm、515nm、343nm 三波段可切换。 2. 光束扫描与视觉定位单元 光斑重复定位精度≤0.5 μm；角度位置重复精度≤2 μRad；同轴视觉检测精度≤0.05 mm；旁轴视觉定位精度≤0.1 mm。 3. 三维运动模块 X/Y/Z 行程≥200 mm × 200 mm × 100 mm；X/Y/Z 三轴重复定位精度≤±0.5 μm；XY 轴最大运动速度≥100 mm/s；Z 轴最大运动速度≥10 mm/s。 四、配套与交付要求 系统整机交付，包含激光主机、振镜扫描单元、三维运动平台、视觉成像模块、控制计算机、配套加工软件、光路组件、操作手册等；提供现场安装调试、操作培训、质保及售后维护服务，系统到货后完成安装调试，达到上述全部指标并通过验收。