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| 光致发光检测设备(PL检测) | |
| 项目所在采购意向: | 上海大学*开通会员可解锁*政府采购意向 |
| 采购单位: | 上海大学 |
| 采购项目名称: | 光致发光检测设备(PL检测) |
| 预算金额: | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : | PL检测为光致发光检测设备,功能是通过光致发光检测芯片发光性能的缺陷。通过向样品如半导体晶圆发射特定波长激光,激发其产生荧光,并通过高灵敏度探测器捕获并分析该发射光的强度、波长和空间分布。由此可非破坏性地检测材料内部的缺陷、评估晶体质量、测量带隙、分析成分及均匀性,广泛应用于半导体制造、材料研发等质量控制环节。主要技术要求:4", 6" EPI的缺陷检测,亚微米级分辨率。2年质保,供货期8个月。 |
| 预计采购时间: | 2025-08 |
| 备注: | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。