其他仪器仪表

因学院科研与教学实训建设需要，需采购“紫外光刻机”。光刻工艺是半导体器件制造的核心技术之一，紫外光刻机是微纳加工工艺中必不可少的设备之一。考虑到《光刻工艺原理与应用》、《半导体物理与器件》和《半导体制造设备运维》等是集成电路工程技术专业（群）的专业课，根据集成电路工程技术专业的人才培养目标和学生就业需要，半导体器件制造中的光刻工艺也是学生必须掌握的重要技能。 本设备旨在支持学生深入学习半导体制造过程中光刻工艺的操作技能，同时满足培养学生在半导体行业先进设备操作和制造工艺研发等方面能力的需求，每年可支撑400课时。目前学院尚无满足需求的教学设备，购置该设备对于填补教学空白、提升教学质量具有重要意义，是项目实施的必要条件。