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安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目第5包公开招标公告
项目概况
安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在 “徽采云”电子交易系统 获取招标文件，并于 *开通会员可解锁* 10点00分 （北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号： FSKY3********976号005
项目名称： 安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目
预算金额： ******** 元
最高限价（如有）： ******** 元
采购需求：
包别 名称： 第5包：多腔室原子层沉积系统和晶圆级原子层沉积系统
预算金额： ******** 元
数量： 不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途： 本项目主要为安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容为：多腔室原子层沉积系统和晶圆级原子层沉积系统，具体详见招标文件。
合同履行期限： 合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件。
本 包别 （ 不接受 ）联合体投标
二、申请人的资格要求：
1. 满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2. 落实政府采购政策需满足的资格要求：
包别 1 ： 无。 本项目符合财政部、工业和信息化部制定的《政府采购促进中小企业发展管理办法》第六条第二款第三项之规定，为非专门面向中小企业采购项目。 具体原因如下：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，可能影响政府采购目标实现。如对此项内容有疑问，可通过书面方式进行质疑。
3. 本项目的特定资格要求：
包别 1 ： 投标人不得存在以下不良信用记录情形之一： ①投标人被人民法院列入失信被执行人名单的； ②投标人被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单的； ③投标人被政府采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单的；；
三、获取招标文件
时间： *开通会员可解锁* 至 *开通会员可解锁* ，每天上午 00:00至12:00 ，下午 12:00至23:59 （ 北京时间，法定节假日除外）
地点： “徽采云”电子交易系统
方式： 供应商登录“徽采云”电子交易系统（***********）在线申请获取采购文件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文件）。登录须持有电子交易系统兼容的数字证书，详情参见“安徽省政府采购网-徽采学院-电子交易系统学习专题-供应商-操作手册”；
售价（元）：免费
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间（开标时间） ： *开通会员可解锁* 10点00分 （ 北京时间）
提交投标文件地点（开标地点）： “徽采云”电子交易系统
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.本项目落实节能环保、中小微型企业扶持等相关政府采购政策。 2.本次招标公告在安徽省政府采购网上发布。 3.潜在投标人应合理安排招标文件获取时间，特别是网络速度慢的地区防止在系统关闭前网络拥堵无法操作。如果因计算机及网络故障造成无法完成招标文件获取，责任自负。采购文件获取过程中有任何疑问，请在工作时间（09：00-17:30，节假日休息）拨打技术支持热线（非项目咨询）：95763。项目咨询请拨打代理机构项目联系人电话：********-8638，151********。 4.本项目为科研仪器设备购置项目。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1. 采购人信息
名称： 安徽大学
地址： 合肥市经开区九龙路111号
联系方式： ********
2. 采购代理机构信息(如有)
名称： 鼎信数智技术集团股份有限公司
地址： 安徽省合肥市经济技术开发区翡翠路港澳广场A座17-20层
联系方式： ********-8638
3. 项目联系方式
项目联系人： 张春梅、武丽苹
电话： 151********
附件信息：
招标文件：安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSVTGV设备采购项目-发布稿.pdf
826.1K
公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目 | ||
| 品目 | |||
| 采购单位 | 安徽大学 | ||
| 行政区域 | 安徽省 | 公告时间 | *开通会员可解锁* 18:29 |
| 获取招标文件时间 | *开通会员可解锁*至*开通会员可解锁* 每日上午:00:00 至 12:00下午:12:00 至 23:59（北京时间，法定节假日除外） | ||
| 招标文件售价 | ￥0 | ||
| 获取招标文件的地点 | “徽采云”电子交易系统 | ||
| 开标时间 | *开通会员可解锁* 10:00 | ||
| 开标地点 | “徽采云”电子交易系统 | ||
| 预算金额 | ￥760.000000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 详情见公告正文 | ||
| 项目联系电话 | ********-8638 | ||
| 采购单位 | 安徽大学 | ||
| 采购单位地址 | 合肥市经开区九龙路111号 | ||
| 采购单位联系方式 | ******** | ||
| 代理机构名称 | 鼎信数智技术集团股份有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 安徽省合肥市经济技术开发区翡翠路港澳广场A座17-20层 | ||
| 代理机构联系方式 | ********-8638 | ||
安徽省省属高校政府采购
科研仪器设备类采购项目
公开招标文件
项目名称：安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创
新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目
项目编号：FSKY3********976号
采购人：安徽大学
采购代理机构：鼎信数智技术集团股份有限公司
*开通会员可解锁*
—1—
目录
第一章招标公告
第二章投标人须知
第三章采购需求
第四章评标方法和标准（综合评分法）
第五章采购合同
第六章投标文件格式
附件1
政府采购供应商质疑函范本
附件2
大中小微型企业划分标准
—2—
第一章招标公告
项目概况
安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设
备采购项目招标项目的潜在投标人应在“徽采云”电子交易系统获取采购文件，
并于*开通会员可解锁*10点00分（北京时间）前提交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：FSKY3********976号
项目名称：安徽大学集成电路先进材料与技术研究设施创新平台设备更新
-TSV/TGV设备采购项目
预算金额：2721万元（第1包550万元；第2包350万元；第3包350万元；
第4包400万元；第5包760万元；第6包311万元）
最高限价：2461万元（第1包480万元；第2包310万元；第3包200万元；
第4包400万元；第5包760万元；第6包311万元）
采购需求：
包别1：
包别名称：化学机械抛光机（CMP）
预算金额：550万元
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：化学机械抛光机（CMP），具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
包别2：
包别名称：激光玻璃通孔刻蚀机
预算金额：350万元
—3—
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：激光玻璃通孔刻蚀机，具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
包别3：
包别名称：晶圆清洗甩干系统
预算金额：350万元
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：晶圆清洗甩干系统，具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
包别4：
包别名称：深硅刻蚀系统
预算金额：400万元
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：深硅刻蚀系统，具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起270个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
包别5：
包别名称：多腔室原子层沉积系统和晶圆级原子层沉积系统
预算金额：760万元
—4—
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：多腔室原子层沉积系统和晶圆级原子层沉积系统，具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
包别6：
包别名称：薄膜物理光学测试集成系统
预算金额：311万元
数量：不限
简要描述规格或项目基本概况介绍、用途：本项目主要为安徽大学集成电路
先进材料与技术研究设施创新平台设备更新-TSV/TGV设备采购项目，采购内容
为：薄膜应力测量仪、全自动影像仪、椭偏仪等，具体详见招标文件。
合同履行期限：合同签订之日起150个日历天内供货安装调试完毕并具备验
收条件。
本包别（不接受）联合体投标。
二、投标人的资格要求
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无（预算200万元以上，非专门面向中小企业预留采购份额项目)。
本项目符合财政部、工业和信息化部制定的《政府采购促进中小企业发展管
理办法》第六条第二款第三项之规定，为非专门面向中小企业采购项目。
具体原因如下：按照本办法规定预留采购份额无法确保充分供应、充分竞争，
可能影响政府采购目标实现。如对此项内容有疑问，可通过书面方式进行质疑。
3.本项目的特定资格要求：
投标人不得存在以下不良信用记录情形之一：
①投标人被人民法院列入失信被执行人名单的；
②投标人被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单的；
—5—
③投标人被政府采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单的；
三、获取招标文件
时间：*开通会员可解锁*至*开通会员可解锁*，每天上午0:00到12：00，
下午12:00到23:59（北京时间，法定节假日除外）；
地点：“徽采云”电子交易系统；
方式：供应商登录“徽采云”电子交易系统
（***********）在线申请获取采购文
件（进入“项目采购”应用，在获取采购文件菜单中选择项目，申请获取采购文
件）。登录须持有电子交易系统兼容的数字证书，详情参见“安徽省政府采购网-
徽采学院-电子交易系统学习专题-供应商-操作手册”；
售价（元）：免费。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间（开标时间）*开通会员可解锁*10点00分（北京时
间）
提交投标文件地点（开标地点）：“徽采云”电子交易系统。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.本项目落实节能环保、中小微型企业扶持等相关政府采购政策。
2.本次招标公告在安徽省政府采购网上发布。
3.潜在投标人应合理安排招标文件获取时间，特别是网络速度慢的地区防止
在系统关闭前网络拥堵无法操作。如果因计算机及网络故障造成无法完成招标文
件获取，责任自负。采购文件获取过程中有任何疑问，请在工作时间（09：00-17:30，
节假日休息）拨打技术支持热线（非项目咨询）：95763。项目咨询请拨打代理机
构项目联系人电话：********-8638，151********。
4.本项目为科研仪器设备购置项目。
—6—
七、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称：安徽大学
地址：合肥市经开区九龙路111号
联系方式：********
2.采购代理机构信息
名称：鼎信数智技术集团股份有限公司
地址：安徽省合肥市经济技术开发区翡翠路港澳广场A座17-20层
联系方式：********-8638
3.项目联系方式
项目联系人：张春梅、武丽苹
电话：********-8638、151********
—7—
第二章投标人须知
一、投标人须知前附表
注：本表是本项目的具体要求，是对投标人须知的具体补充和修改，如有不
一致，以本表为准。
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 3.1 | 采购人 | 安徽大学 |
| 3.2 | 采购代理机构 | 鼎信数智技术集团股份有限公司 |
| 3.3 | 政府采购监督管理部门 | 安徽省财政厅 |
| 3.4.4 | 是否允许采购进口产品 | 详见采购需求，如是，进口科研仪器设备实行备案制管理 |
| 3.4.5 | 是否为专门面向中小企业采购 | 否 |
| 3.5 | 是否允许联合体参加投标 | 否 |
| 4.3 | 资金来源 | 财政资金 |
| 7.3 | 现场考察 | 不组织，投标人自行考察 |
| 8.1 | 询问方式及截止时间 | 询问方式：网上提问形式询问截止时间：*开通会员可解锁*17时30分 |
| 9.1 | 包别划分 | 本项目共分6个包。 |
| 13.1 | 投标保证金 | 本项目免收投标保证金 |
| 14.1 | 投标有效期 | 120日历日 |
| 15.1 | 投标文件要求 | 1.加密的电子投标文件：使用电子交易系统“投标文件制作工具”制 |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 15.1 | 投标文件要求 | 作生成的加密电子投标文件(*.jmbs格式)，应在投标文件提交截止时间前通过电子交易系统上传。2.纸质投标文件（加盖单位印章）：中标人在领取中标通知书时，按采购人要求提交纸质投标文件。纸质投标文件为加密电子投标文件的打印版。 |
| 15.3 | 开标现场提交的其他材料要求 | 无 |
| 16.1 | 投标截止时间及地点 | 详见招标公告 |
| 17.2 | 加密电子投标文件解密时间 | 投标文件提交截止时间后60分钟内（以电子交易系统解密倒计时为准） |
| 18.1 | 开标时间 | 详见招标公告 |
| 开标地点 | 详见招标公告 | |
| 19.1 | 资格审查 | 采购人审查或采购人出具委托函委托采购代理机构进行审查 |
| 20.3 | 核心产品 | 详见采购需求（采用▲标识） |
| 22.2 | 评标方法 | 综合评分法 |
| 22.3 | 报价扣除（适用于非专门面向中小企业采购项目） | 1.小型和微型企业价格扣除：10%。2.监狱企业价格扣除：同小型和微型企业。3.残疾人福利性单位价格扣除：同小型和微型企业。4.符合条件的联合体价格扣除：4%。（接受大中型企业与小微企业组成联合体的项目适用）5.符合条件的向小微企业分包的大中型企业价格扣除：4%。（允许大中型企业向小微企业分 |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 22.3 | 报价扣除（适用于非专门面向中小企业采购项目） | 包的项目适用） |
| 22.4 | 节能、环境标志产品采购 | 强制采购节能产品，必须符合招标文件要求及相关规定；其他符合招标文件要求的，给予优先采购。 |
| 26.1 | 评标委员会推荐中标候选人的数量 | 每包1-3家 |
| 26.2 | 确定中标人 | 采购人委托评标委员会确定 |
| 28.3 | 随中标结果公告同时公告的中标人的投标文件其他内容 | 1.中小企业声明函或残疾人福利性单位声明函或监狱企业证明（如有）；2.中标（成交）供应商的评审总得分；3.招标文件中规定进行公示的其他内容。（如有） |
| 30.1 | 告知招标结果的形式 | 投标人自行上网查看 |
| 31.1 | 履约保证金 | 1.金额：每包合同价的2.5%2.支付方式：☑转账/电汇☑支票☑汇票☑本票☑保函（1）履约保证金缴纳账户信息如下：户名：安徽大学账号：12181********开户行：中国农业银行合肥金寨路支行（2）如采用金融机构出具的保函（银行保函），应为银行出具的见索即付无条件保函。（3）如采用担保机构出具的保函（担保机构担保），应为经安徽省地方金融监督管理局审查批准，依法取得融资担保业务经营许可证的融资 |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 31.1 | 履约保证金 | 担保机构出具的无条件保函。3.收取单位：安徽大学4.缴纳时间：合同协议书签署前7个日历天内或中标通知书发出之日起7个工作日内5.退还时间：验收合格且无违约情形下退还注意事项：（1）采用银行保函（或担保机构担保或保证保险）形式提交履约保证金的，必须具有明确有效的查询途径（二维码；或网址链接及查询方式），否则该银行保函（或担保机构担保或保证保险）不予认可。以上各类机构出具的以担保函、保证保险承担责任的方式均须满足无条件见索即付条件。（2）若中标人在规定时限内未提交保证金的，招标人将书面通知中标人，书面通知后5日内不能办理的，招标人将有权提请政府采购主管部门，取消其中标资格。（3）中标人提交银行履约保函、担保机构担保书、保证保险等的担保期限不得少于中标项目的合同期限。担保期限到期但中标项目尚未履约完毕的，中标人应当进行续保或者补缴履约保证金。中标人应当续保或者补缴履约保证金而没有续保或者补缴履约保证金的，招标人可以暂停支付中标人同等金额的合同价款。（4）以担保函、保证保险形式缴纳履约保证金的，受益人和收取单位须为采购人。 |
| 33.1 | 中标服务费 | 1.金额：按下列标准收取：代理服务费由中标人支付， |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 33.1 | 中标服务费 | 并含在投标人的投标报价中，不得单列。每包按合肥市物价局《关于调整产权交易服务收费标准的通知》（合价服【2009】216号）收费标准下浮30%收取代理服务费。货物类和服务类项目代理服务费收费每包上限不超过贰万元，每包保底收费叁仟元。2.支付方式：转账/电汇3.收取单位：鼎信数智技术集团股份有限公司户名：鼎信数智技术集团股份有限公司开户银行：中国工商银行股份有限公司合肥包河支行账号：13********002195204.缴纳时间：领取中标通知书前 |
| 36.2 | 法定质疑期 | 1.对招标文件的质疑：获取招标文件或招标文件公告期限届满之日起7个工作日内；2.对开标过程和开标记录的疑义：开标现场提出询问；3.对中标结果的质疑：中标结果公告期限届满之日起7个工作日内。 |
| 36.3 | 质疑函提交方式、接收部门、联系电话和通讯地址 | 提交方式：书面形式接收部门：鼎信数智技术集团股份有限公司联系电话：********-8638、151********电子邮箱：********@dxsz.cn通讯地址：合肥市经济技术开发区翡翠路188号港澳广场A座18层1801室 |
| 37 | 其他内容 | |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 37.1 | 关于联合体参加投标的相关约定（本项目不适用） | 1.联合体参加投标的，招标文件获取手续由联合体中任一成员单位办理均可。2.联合体参加投标的须提供联合体协议（见投标文件格式），相关证明材料由投标人根据联合体协议分工情况及招标文件要求提供。3.联合体各成员单位均须提供营业执照（或事业单位法人登记证书）和投标有效性声明。 |
| 37.2 | 是否允许大中型企业向小微企业分包（非专门面向中小企业采购项目及要求获得采购合同的投标人将采购项目中的一定比例分包给中小企业的项目适用） | 否 |
| 37.3 | 社保证明材料（如有要求，按此执行） | 本项目招标文件中要求提供的社保证明材料为下述形式之一：1.社保局官方网站查询的缴费记录截图；2.社保局的书面证明材料；3.经投标人委托的第三方人力资源服务机构或与投标人有直接隶属关系的机构可以代缴社保，但须提供有关证明材料并经评标委员会确认。4.参与投标的院校，社保证明可以用以下任意一种：（1）加盖投标人公章的教师证（须为本单位人员）； |
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 37.3 | 社保证明材料（如有要求，按此执行） | （2）医保证明材料。5.其他经评标委员会认可的证明材料。6.法定代表人参与项目的，无需提供社保证明材料，提供身份证明材料即可。 |
| 37.4 | 本项目提供除招标文件以外的其他资料 | 无 |
| 37.5 | 重要提示 | 1.中标人应在规定期限内领取《中标通知书》，若中标人未在规定期限内领取《中标通知书》，采购人有权取消中标人中标资格，并将相关违约行为报送监管部门，实施信用惩戒；2.中标人应在规定期限内提交履约担保并与采购人签订合同，若中标人未能在规定期限内提交履约担保或签订合同，采购人有权取消中标人中标资格，并将相关违约行为报送监管部门，实施信用惩戒；3.合同签订后，中标人存在规定时间内不组织人员进场开工，不履行供货、安装或服务义务等情况，采购人有权解除合同，并追究违约责任，同时将相关违约行为报送监管部门，记不良行为记录，实施信用惩戒；4.中标人中标后被监管部门查实存在违法行为，不满足中标条件的或经查实不具备供应商参加政府采购活动应当具备的法定条件，或要求的特殊资格的，由采购人取消中标资格或有权解除合同（并做好项目后续工作），并追究其法律责任。5.中标人在中标项目发生投诉、信访举报案 |
—14—
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 | ||
| 件、履约存在争议时，拒绝协助配合执法部门调查案件的，采购人可以取消其中标资格或解除合同，并追究其违约责任。 | ||||
| 37.6 | 解释权 | 1.构成本招标文件的各个组成文件应互为解释，互为说明；2.同一组成文件中就同一事项的规定或约定不一致的，除招标文件另有规定外，以编排顺序在后者为准；3.如有不明确或不一致，构成合同文件组成内容的，以合同文件约定内容为准，且以专用合同条款约定的合同文件优先顺序解释；4.除招标文件中有特别规定外，仅适用于招标投标阶段的规定，按投标邀请、投标人须知、评标方法和标准、投标文件格式的先后顺序解释；5.按本款前述规定仍不能形成结论的，由采购人负责解释。 | ||
| 37.7 | 外贸代理机构收取进口代理费标准 | 1.按照下表列出费率标准下浮60%，由中标人支付。 | ||
| 合同金额（万元，人民币） | 费率 | |||
| 100以下（含100） | 1.5% | |||
| 100-500（含500） | 1% | |||
| 500-1000（含1000） | 0.8% | |||
| 1000以上 | 0.5% | |||
| 2.进口代理费上限和下限：每包进口代理项目进口代理费收取上限（封顶收费）为叁万元人民币，下限（保底收费）为叁千元人民币。 | ||||
—15—
| 条款号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 37.8 | 其他补充说明1 | “政采贷”融资指引：有融资需求的供应商在取得政府采购中标或成交通知书后，可访问安徽省政府采购网“政采贷”栏目，查看和联系第三方平台或者金融机构，商洽融资事项，确定融资意向。供应商签署政府采购中标（成交）合同后，登录“徽采云”金融服务模块，选择意向产品进行申请，并填写相关信息，“徽采云”金融服务模块将供应商融资申请信息推送第三方平台、意向金融机构。 |
| 37.9 | 其他补充说明2 | 1.本招标文件中第一章的描述如与安徽省政府采购网上发布的不一致，以安徽省政府采购网发布的为准。2.因系统问题，项目编号以招标文件中规定为准。 |
| 37.10 | 特别说明 | 项目结束后，代理机构会将本项目《标后事项通知书》发送至中标人在本项目预留的邮箱内，请及时查收并按要求办理相关手续。 |
—16—
二、投标人须知正文
1.适用范围
1.1本招标文件仅适用于本次公开招标所述的安徽省省属高校科研仪器设备
类项目采购。安徽省省属中专学校可参照使用。
2.定义
2.1货物：是指各种形态和种类的物品，包括原材料、燃料、设备、产品等。
科研仪器设备：是指采购用于科研活动的设备。
2.2时限（年份、月份等）计算：系指从开标之日向前追溯X年/月（“X”
为“一”及以后整数）起算。
2.3业绩：业绩系指符合本招标文件规定的与最终用户签订的合同或招标文
件要求的相关证明。投标人与其关联公司（如母公司、控股公司、分公司、子公
司、同一法定代表人的公司等）之间签订的合同，均不予认可。
除非本招标文件中另有规定，否则业绩均为已供货（安装）完毕的业绩，业
绩时间均以合同签订之日为追溯节点。
3.采购人、采购代理机构及投标人
3.1采购人：是指依法开展政府采购活动的国家机关、事业单位、团体组织。
本项目的采购人见投标人须知前附表。
3.2采购代理机构：是指从事采购代理业务的社会中介机构。本项目的采购
代理机构见投标人须知前附表。
3.3政府采购监督管理部门：各级人民政府指定的有关部门依法履行与政府
采购活动有关的监督管理职责。本项目的政府采购监督管理部门见投标人须知前
附表。
3.4投标人：是指向采购人提供货物、工程或者服务的法人、非法人组织或
者自然人。分支机构不得参加政府采购活动，但银行、保险、石油石化、电力、
电信等特殊行业除外。本项目的投标人及其投标货物须满足以下条件：
3.4.1在中华人民共和国境内注册，能够独立承担民事责任，有生产或供应
能力的本国投标人。
3.4.2具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条关于投标人条件的规
定，遵守本项目采购人本级和上级财政部门政府采购的有关规定。
—17—
3.4.3以采购代理机构认可的方式获得了本项目的招标文件。
3.4.4若投标人须知前附表中写明允许采购进口产品，投标人应保证所投产
品可履行合法报通关手续进入中国关境内。
若投标人须知前附表中未写明允许采购进口产品，如投标人所投产品为进口
产品，其投标将被认定为投标无效。
3.4.5若投标人须知前附表中写明专门面向中小企业采购的，如投标人提供
的货物非中小企业制造的，其投标将被认定为投标无效。
3.5若投标人须知前附表中允许联合体投标，对联合体规定如下：
3.5.1两个以上投标人可以组成一个投标联合体，以一个投标人的身份投标。
3.5.2联合体各方均应符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定
的条件。
3.5.3采购人根据采购项目对投标人的特殊要求，联合体中至少应当有一方
符合相关规定。
3.5.4联合体各方应签订联合体协议，明确约定联合体各方承担的工作和相
应的责任，并将联合体协议作为投标文件的一部分提交。
3.5.5大中型企业、其他自然人、法人或者非法人组织与小型、微型企业组
成联合体共同参加投标，联合体协议中应写明小型、微型企业的协议合同金额占
到联合体协议投标总金额的比例。
3.5.6联合体中有同类资质的投标人按照联合体分工承担相同工作的，应当
按照资质等级较低的投标人确定资质等级。
3.5.7以联合体形式参加政府采购活动的，联合体各方不得再单独参加或者
与其他投标人另外组成联合体参加本项目投标，否则相关投标将被认定为投标无
效。
3.5.8对联合体投标的其他资格要求见投标人资格。
3.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得
参加同一合同项下的政府采购活动。否则其投标将被认定为投标无效。
3.7为本项目提供过整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务
的投标人，不得再参加本项目上述服务以外的其他采购活动。否则其投标将被认
定为投标无效。
—18—
4.资金来源
4.1本项目的采购人已获得足以支付本次招标后所签订的合同项下的资金。
4.2项目预算金额和分项（或分包）最高限价见招标公告。
4.3资金来源：详见投标人须知前附表。
5.投标费用
不论投标的结果如何，投标人应承担所有与准备和参加投标有关的费用。
6.适用法律
本项目采购人、采购代理机构、投标人、评标委员会的相关行为均受《中华
人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条例》及本项目本
级和上级财政部门、政府采购监督管理部门的政府采购有关规定的约束，其权利
受到上述法律法规的保护。
7.招标文件构成
7.1招标文件包括下列内容：
第一章投标邀请（招标公告）
第二章投标人须知
第三章采购需求
第四章评标方法和标准
第五章采购合同
第六章投标文件格式
附件1政府采购供应商质疑函范本
附件2大中小微型企业划分标准
7.2招标文件中有不一致的，有澄清的部分以最终的澄清更正内容为准。
7.3现场考察及相关事项见投标人须知前附表。
7.4原则上采购人、采购代理机构不要求投标人提供样品。除仅凭书面方式
不能准确描述采购需求，或者需要对样品进行主观判断以确认是否满足采购需求
等特殊情况除外。
如需提供样品，对样品相关要求见采购需求，对样品的评审方法及评审标准
见招标文件第四章。
7.5投标人应认真阅读招标文件所有的事项、格式、条款和技术规范等。
—19—
8.招标文件的澄清与修改
8.1投标人如对招标文件内容有疑问，应按投标人须知前附表中规定的方式
和时间提交给采购人或采购代理机构。采购人对需要做出澄清的问题，以澄清和
修改通知的方式予以答复。
8.2采购人可主动或在解答投标人提出的问题时对招标文件进行澄清或者修
改。采购代理机构将在安徽省政府采购网以更正公告的方式澄清或者修改招标文
件，更正公告的内容作为招标文件的组成部分，对投标人起约束作用。投标人应
主动上网查询。采购代理机构不承担投标人未及时关注相关信息引发的相关责任。
8.3任何人或任何组织向投标人提供的任何书面或口头资料，未经采购代理
机构在网上发布或书面通知，均作无效处理，不得作为招标文件的组成部分。采
购代理机构对投标人由此而做出的推论、理解和结论概不负责。
8.4对于没有提出询问又参与了本项目投标的投标人将被视为完全认同本招
标文件（含更正公告的内容）。
9.投标范围及投标文件中标准和计量单位的使用
9.1项目有分包的，除投标人须知前附表另有规定外，投标人可参与其中某
一个或多个分包的投标，中标包数详见投标人须知前附表中规定。
9.2投标人应当对所投分包招标文件中“采购需求”所列的所有内容进行投
标，如仅响应所投包别中的部分内容，其所投包别的投标将被认定为投标无效。
9.3无论招标文件中是否要求，投标人所投货物及伴随的服务和工程均应符
合国家强制性标准。
9.4投标人与采购代理机构之间与投标有关的所有往来通知、函件和投标文
件均用中文表述。投标人随投标文件提供的证明文件和资料可以为其它语言，但
必须附中文译文。翻译的中文资料与外文资料出现差异时，以中文为准。
9.5除招标文件中有特殊要求外，投标文件中所使用的计量单位，应采用中
华人民共和国法定计量单位。
10.投标文件构成
10.1投标人应完整地按招标文件提供的投标文件格式及要求编写投标文件，
具体内容详见本项目第六章投标文件格式的相关内容。
10.2上述文件应按照招标文件规定的格式填写、签署和盖章。
—20—
11.证明投标标的的合格性和符合招标文件规定的技术文件
11.1投标人应提交证明文件，证明其投标内容符合招标文件规定。该证明文
件是投标文件的一部分。
11.2上款所述的证明文件，可以是文字资料、图纸和数据，它包括：
11.2.1货物（科研仪器设备）主要技术指标和性能的详细说明；
11.2.2货物（科研仪器设备）从甲方开始使用至招标文件规定的保质期内正
常、连续地使用所必须的备件和专用工具清单，包括备件和专用工具的货源及现
行价格；
11.2.3对照招标文件技术规格，逐条说明所提供货物（科研仪器设备）及伴
随的工程和服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应，或申明与技术规
格条文的偏差和例外。
11.3投标人应注意采购人在采购需求中提供的工艺、材料和设备的参考品牌
型号或分类号仅起到说明作用，并没有任何限制性。投标人在投标文件中可以选
用替代品牌型号或分类号，但这些替代要实质上相当于技术规格的要求，是否满
足要求，由评标委员会来评判。
11.4本条所指证明文件不包括对招标文件相关部分的文字、图标的复制。
11.5为保证公平公正，除非另有规定或说明，投标人对同一项目投标时，不
得同时提供备选投标方案。
12.投标报价
12.1投标人的报价应当包括满足本次招标全部采购需求所应提供的货物（科
研仪器设备），以及伴随的服务和工程。所有投标均应以人民币报价。投标人的
投标报价应遵守《中华人民共和国价格法》。
12.2投标人报价超过招标文件规定的预算金额或者分项、分包最高限价，其
投标将被认定为投标无效。
12.3投标人应在投标分项报价表上标明投标货物（科研仪器设备）及相关服
务的价格（如适用）和总价。未标明的视同包含在投标报价中。
12.4投标报价在合同履行过程中是固定不变的，不得以任何理由予以变更。
任何包含价格调整要求的投标，其投标将被认定为投标无效。
12.5评标委员会认为投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的报
—21—
价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，应当要求其在评标现场合理的时
间内提供书面说明，必要时提交相关证明材料；投标人不能证明其报价合理性的，
其投标将被认定为投标无效。
12.6采购人不接受具有附加条件的报价。
12.7.如系统中填写的投标总报价与上传提交的投标文件中开标一览表中的
投标总报价不一致，以投标文件中开标一览表中的投标总报价为准。
13.投标保证金
13.1本项目免收投标保证金。
14.投标有效期
14.1投标有效期为从投标截止之日算起的日历天数，投标有效期详见投标人
须知前附表。
14.2在投标有效期内，投标人的投标保持有效，投标人不得要求撤销或修改
其投标文件。投标有效期不满足要求的投标，其投标将被认定为投标无效。
14.3因特殊原因，采购人或采购代理机构可在原投标有效期截止之前，要求
投标人延长投标文件的有效期。接受该要求的投标人将不会被要求和允许修正其
投标。投标人也可以拒绝延长投标有效期的要求，且不承担任何责任。上述要求
和答复都应以书面形式提交。
15.投标文件的制作
15.1本项目要求提供的投标文件要求详见投标人须知前附表。投标文件的制
作应满足以下规定：
（1）加密的电子投标文件由投标人使用电子交易系统提供的“投标文件制作
工具”制作生成。“投标文件制作工具”可以通过电子交易系统中下载。投标人
应当在互联网络通畅状态下启用最新版投标文件制作工具制作投标文件。
（2）在第六章“投标文件格式”中要求加盖投标人公章处，加密的电子投标
文件应加盖投标人电子签章或公章；联合体参加投标的，除联合协议及招标文件
规定须联合体各成员单位各自盖章的证明材料外，投标文件由联合体牵头人按上
述规定加盖联合体牵头人单位电子签章或公章。
（3）投标文件制作完成后，采用数字证书加密的，加密时投标文件的所有内
容均只能使用同一把数字证书进行加密，否则引起的解密失败责任由投标人自行
—22—
承担。
15.2因投标人自身原因而导致加密的电子投标文件无法导入电子交易系统电
子开标、评标系统的，将按照未加密的电子投标文件进行开启和评审，投标人自
行承担由此导致的全部责任。
15.3开标现场提交的其他材料要求详见投标人须知前附表。
16.投标截止及投标文件的提交
16.1投标人应在投标人须知前附表中规定的投标文件提交截止时间前，在网
上提交加密电子投标文件，同时自行决定是否提交未加密的电子投标文件。
16.2在投标文件提交截止时间之后上传的加密电子投标文件、提交的未加密
电子投标文件，采购代理机构将拒绝接收。
16.3投标文件提交截止时间前未完成投标文件传输的，视为撤回投标文件。
16.4采购人和采购代理机构延迟投标文件提交截止时间的，采购人、采购代
理机构和投标人受投标文件提交截止时间制约的所有权利和义务均应延长至新的
截止时间。
17.投标文件的修改与撤回
17.1投标人在投标截止时间前，可以对所提交的投标文件进行补充、修改或
者撤回。
17.2在投标文件提交截止时间之后，投标人不得对其投标文件做任何修改。
但属于评标委员会在评标中发现的计算错误并进行核实的修改不在此列。
18.开标
18.1采购人和采购代理机构将按投标人须知前附表中规定的开标时间和地点
组织公开开标。
18.2开标时，各投标人应在规定时间前（以电子交易系统解密倒计时为准）
对本单位的投标文件进行解密。
18.3解密完成后，采购代理机构工作人员在监督下通过网上开标系统公布开
标结果，公布内容包括投标人名称、投标价格及招标文件规定的内容。
18.4投标人代表可登录开标大厅，查看相关信息。投标人对开标过程和开标
记录有疑义，以及认为采购人、采购代理机构相关工作人员有需要回避的情形的，
应当场提出询问或者回避申请。
—23—
19.资格审查及组建评标委员会
19.1采购人或采购代理机构依据法律法规和招标文件中规定的内容，对投标
人资格进行审查，未通过资格审查的投标人不进入评标。
19.2采购人或采购代理机构将在投标截止时间后至评审结束前查询投标人的
信用记录。投标人存在不良信用记录的，其投标将被认定为投标无效。
19.2.1不良信用记录是指：（1）投标人被人民法院列入失信被执行人名单；
（3）投标人被税务部门列入重大税收违法案件当事人名单；（3）投标人被政府
采购监管部门列入政府采购严重违法失信行为记录名单。
以联合体形式参加投标的，联合体任何成员存在以上不良信用记录的，联合
体投标将被认定为投标无效。
19.2.2信用信息查询渠道：“信用中国”网站（***********）、
中国政府采购网（***********）。
19.2.3信用信息记录方式：采购人或采购代理机构工作人员将查询网页打印
并存档备查。投标人不良信用记录以采购人或采购代理机构查询结果为准。
在本招标文件规定的查询时间之外，网站信息发生的任何变更均不作为资格
审查依据。
投标人自行提供的与网站信息不一致的其他证明材料亦不作为资格审查依
据。
19.3按照《中华人民共和国政府采购法》《中华人民共和国政府采购法实施
条例》及本项目本级和上级财政部门、政府采购监督管理部门的有关规定依法组
建的评标委员会，负责本项目评标工作。省属高校科研仪器设备采购，可在政府
采购评审专家库外自行选择评审专家。自行选择的评审专家与投标人有利害关系
的，应严格执行回避有关规定。评审活动完成后，采购人或采购代理机构应在评
审专家名单中对自行选定的评审专家进行标注，并随同中标、成交结果一并公告。
20.投标文件符合性审查与澄清
20.1符合性审查是指依据招标文件的规定，从投标文件的有效性和完整性对
招标文件的响应程度进行审查，以确定是否对招标文件的实质性要求做出响应。
20.2如一个分包内只有一种产品，不同投标人所投产品为同一品牌的，按如
下方式处理：
—24—
20.2.1如本项目使用最低评标价法，提供相同品牌产品的不同投标人以其中
通过资格审查、符合性审查且报价最低的参加评标；报价相同的，由采购人或者
采购人委托评标委员会按照招标文件中评标方法和标准规定的方式确定一个参加
评标的投标人；未规定的采取随机抽取方式确定，其他投标将被认定为投标无效。
20.2.2如本项目使用综合评分法，提供相同品牌产品且通过资格审查、符合
性审查的不同投标人，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得
中标人推荐资格；评审得分相同的，由采购人或者采购人委托评标委员会按照招
标文件中评标方法和标准规定的方式确定一个投标人获得中标人推荐资格；未规
定的采取随机抽取方式确定，其他同品牌投标人不作为中标候选人。
20.3如一个分包内包含多种产品的，采购人或采购代理机构将在投标人须知
前附表中载明核心产品。核心产品超过一种产品的，核心产品中只要有一种产品
为相同品牌，即认定为核心产品为相同品牌。多家投标人提供的核心产品品牌相
同的，按第20.2款规定处理。
20.4投标文件的澄清
20.4.1为有助于投标文件的审查、评价和比较，在评标期间，评标委员会将
以书面方式（询标）要求投标人对其投标文件中含义不明确、对同类问题表述不
一致或者有明显文字和计算错误的内容，以及评标委员会认为投标人的报价明显
低于其他通过符合性审查投标人的报价，有可能影响履约的情况作必要的澄清、
说明或补正。投标人的澄清、说明或补正应在评标委员会规定的时间内以书面方
式进行，并不得超出投标文件范围或者改变投标文件的实质性内容。
如有询标，授权代表（或法定代表人）可通过远程登录的方式接受网上询标，
也可凭本人有效身份证明参加询标。因授权代表联系不上、没有及时登录系统等
情形而无法接受评标委员会询标的，投标人自行承担相关风险。
20.4.2投标人的澄清、说明或补正将作为投标文件的一部分。
20.4.3评标委员会对投标人提交的澄清、说明或补正有疑问的，可以要求投
标人进一步澄清、说明或补正，直至满足评标委员会的要求。
20.5投标文件报价出现前后不一致的，按照下列规定修正：
（1）投标文件中开标一览表内容与投标文件中相应内容不一致的，以开标一
览表为准；
—25—
（2）大写金额和小写金额不一致的，以大写金额为准；
（3）单价金额小数点或者百分比有明显错位的，以开标一览表的总价为准，
并修改单价；
（4）总价金额与按单价汇总金额不一致的，以单价金额计算结果为准。
同时出现两种以上不一致的，按照前款规定的顺序修正。修正后的报价按照
第20.4条的规定经投标人确认后产生约束力，投标人不确认的，其投标将被认定
为投标无效。
对不同文字文本投标文件的解释发生异议的，以中文文本为准。
21.投标无效
21.1根据本招标文件的规定，评标委员会要审查每份投标文件是否实质上响
应了招标文件的要求。投标人不得通过修正或撤销不符合要求的偏离，从而使其
投标成为实质上响应的投标。
评标委员会决定投标的响应性只根据招标文件要求和投标文件内容。
无论何种原因，即使投标人投标时携带了证书材料的原件，但投标文件中未
提供与之内容完全一致的证明材料的，评标委员会视同其未提供。
21.2如发现下列情况之一的，其投标将被认定为投标无效：
（1）投标文件未按照招标文件规定要求签署、盖章的；
（2）不具备招标文件中规定的资格要求的；
（3）报价超过招标文件中规定的预算金额或者最高限价的；
（4）投标文件不满足招标文件全部实质性要求的；
（5）投标文件含有采购人不能接受的附加条件的；
（6）法律、法规和招标文件规定的其他无效情形。
22.比较与评价
22.1经符合性审查合格的投标文件，评标委员会将根据招标文件确定的评标
方法和标准，对其投标文件作进一步的比较与评价。
22.2评标严格按照招标文件的要求和条件进行。根据实际情况，在投标人须
知前附表中规定采用下列一种评标方法，详细评标方法和标准见招标文件第四
章：
（1）最低评标价法，是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且投标报
—26—
价最低的投标人为中标候选人的评标方法。
（2）综合评分法，是指投标文件满足招标文件全部实质性要求，且按照评审
因素的量化指标评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。
22.3根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）、
《财政部司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕
68号）、《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕
141号）和《安徽省财政厅关于进一步优化政府采购营商环境的通知》（皖财购
〔2022〕556号）的规定，对满足价格扣除条件且在投标文件中提交了《中小企
业声明函》、《残疾人福利性单位声明函》或省级以上监狱管理局、戒毒管理局
（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件的投标人，其投标报价
按照投标人须知前附表中规定的标准扣除后的价格参与评审。对于同时属于小微
企业、监狱企业或残疾人福利性单位的，不重复进行投标报价扣除。
接受大中型企业与小微企业组成联合体或者允许大中型企业向一家或者多家
小微企业分包的，对于联合协议或者分包意向协议约定小微企业的合同份额占到
合同总金额30%以上的，可给予联合体或者大中型企业的投标报价按照投标人须
知前附表中规定的标准扣除后的价格参与评审。组成联合体或者接受分包的小微
企业与联合体内其他企业、分包企业之间存在直接控股、管理关系的，不享受价
格扣除优惠政策。
以联合体形式参加政府采购活动，联合体各方均为中小企业的，联合体视同
中小企业。其中，联合体各方均为小微企业的，联合体视同小微企业。
22.4按照<财政部国家发展改革委关于印发《节能产品政府采购实施意见》
的通知>（财库〔2004〕185号）、《关于环境标志产品政府采购实施的意见》（财
库〔2006〕90号）、《国务院办公厅关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》
（国办发〔2007〕51号）、《财政部发展改革委生态环境部市场监管总局关
于调整优化节能产品环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9
号）、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》（财库[2019]18号）、
《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》（财库[2019]19号）等规定，对
满足节能、环保条件并提供了相关证明材料的产品，进行优先采购。
23.废标
—27—
出现下列情形之一，将导致项目废标：
（1）符合专业条件的投标人或者对招标文件做实质性响应的投标人不足规定
数量的；
（2）出现影响采购公正的违法、违规行为的；
（3）投标人的报价均超过了采购预算，采购人不能支付的；
（4）因重大变故，采购任务取消的。
24.保密要求
24.1评标将在严格保密的情况下进行。
24.2有关人员应当遵守评标工作纪律，不得泄露评标文件、评标情况和评标
中获悉的国家秘密、商业秘密。
25.中标候选人的确定原则及标准
25.1评标委员会依据本项目招标文件所约定的评标方法，对实质上响应招标
文件的投标人按下列方法进行排序，确定中标候选人：
（1）采用最低评标价法的，除了算术修正和落实政府采购政策需进行的价格
扣除外，不对投标人的投标价格进行任何调整。评标结果按修正和扣除后的投标
报价由低到高顺序排列。修正和扣除后的投标报价出现两家或两家以上相同者，
则所投产品为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品者优先；
若报价相同且所投产品同为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地
区产品的，则采取评标委员会抽签方式确定中标候选顺序。
（2）采用综合评分法的，评标结果按评审后得分由高到低顺序排列。得分相
同的，按投标报价由低到高顺序排列。得分与投标报价均相同的，则所投产品为
节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族地区产品者优先；若得分与投
标报价均相同且所投产品同为节能产品、环境标志产品、不发达地区或少数民族
地区产品的，则采取评标委员会抽签方式确定中标候选顺序。
26.确定中标候选人和中标人
26.1评标委员会将根据评标标准，按投标人须知前附表中规定数量推荐中标
候选人。
26.2按投标人须知前附表中规定，由评标委员会或采购人确定中标人。
26.3因重大变故采购任务取消时，采购人有权拒绝任何投标人中标，且对受
—28—
影响的投标人不承担任何责任。
27.编写评标报告
评标报告是根据全体评标委员会成员签字的原始评标记录和评标结果编写的
报告，评标报告由评标委员会全体成员签字。对评标结论持有异议的评标委员会
成员可以书面方式阐述其不同意见和理由。评标委员会成员拒绝在评标报告上签
字且不陈述其不同意见和理由的，视为同意评标结论。
28.中标结果公告
28.1除投标人须知前附表规定由评标委员会直接确定中标人外，在评标结束
后2个工作日内，采购代理机构将评标报告送采购人。采购人应当自收到评标报
告之日起５个工作日内，在评标报告确定的中标候选人名单中按顺序确定中标人。
中标候选人并列的，由采购人或者采购人委托评标委员会按照招标文件规定的方
式确定中标人；招标文件未规定的，采取随机抽取的方式确定。
28.2自中标人确定之日起2个工作日内，采购代理机构将在安徽省政府采购
网（***********）上发布中标结果公告。
28.3中标结果公告内容应当包括采购人及其委托的采购代理机构的名称、地
址、联系方式，项目名称和项目编号，中标人名称、地址和中标金额，主要中标
标的的名称、规格型号、数量、单价、服务要求，中标公告期限、评审专家名单
以及投标人须知前附表中约定进行公告的内容。中标公告期限为1个工作日。
29.中标通知书
29.1采购代理机构发布中标公告的同时向中标人发出中标通知书。
29.2中标通知书对采购人和中标人具有同等法律效力。中标通知书发出以后，
采购人改变中标结果或者中标人放弃中标，应当承担相应的法律责任。
29.3中标通知书是合同的组成部分。
30.告知招标结果
30.1在公告中标结果的同时，采购代理机构同时以投标人须知前附表规定的
形式告知未通过资格审查的投标人未通过的原因；采用综合评分法评审的，还将
告知未中标人本人的评审得分和排序。
31.履约保证金
31.1中标人应按照投标人须知前附表规定缴纳履约保证金。
—29—
31.2如果中标人没有按照上述履约保证金的规定执行，将视为放弃中标资格。
在此情况下，采购人可确定下一中标候选人为中标人，也可以重新开展采购活动。
32.签订合同
32.1采购人与中标人应当自发出中标通知书之日起7个工作日内签订合同。
32.2招标文件、中标人的投标文件及其澄清文件等，均为签订合同的依据。
32.3中标人拒绝与采购人签订合同的，采购人可以按照评审报告推荐的中标
候选人名单排序，确定下一中标候选人为中标人，也可以重新开展政府采购活动。
32.4当出现法规规定的中标无效或中标结果无效情形时，采购人可依法与排
名下一位的中标候选人另行签订合同，或依法重新开展采购活动。
32.5依据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库〔2020〕46号）规
定享受扶持政策获得政府采购合同的，小微企业不得将合同分包给大中型企业，
中型企业不得将合同分包给大型企业。
33.中标服务费
33.1本项目中标服务费的收取按投标人须知前附表的规定执行。
34.廉洁自律规定
34.1采购代理机构工作人员不得以不正当手段获取政府采购代理业务，不得
与采购人、投标人恶意串通。
34.2采购代理机构工作人员不得接受采购人或者投标人组织的宴请、旅游、
娱乐，不得收受礼品、现金、有价证券等，不得向采购人或者投标人报销应当由
个人承担的费用。
35.人员回避
投标人认为采购人员及其相关人员有法律法规所列与其他投标人有利害关系
的，可以向采购人或采购代理机构书面提出回避申请，并说明理由。
36.质疑的提出与接收
36.1投标人认为招标文件、招标过程和中标结果使自己的权益受到损害的，
可以根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国政府采购法实施条
例》和《政府采购质疑和投诉办法》的有关规定，依法向采购人或其委托的采购
代理机构提出质疑。
36.2质疑供应商应按照财政部制定的《政府采购供应商质疑函范本》格式（详
—30—
见招标文件附件）和《政府采购质疑和投诉办法》的要求，在投标人须知前附表
规定的法定质疑期内以书面形式提出质疑，超出法定质疑期提交的质疑将被拒绝。
针对同一采购程序环节的质疑应一次性提出。
36.3采购代理机构质疑函接收部门、联系电话和通讯地址，见投标人须知前
附表。
37.需要补充的其他内容
需要补充的其他内容，见投标人须知前附表。
—31—
附电子交易系统操作指南
1.电子招投标
本项目以数据电文形式，依托“徽采云”电子交易系统进行招投标活动。
2.投标准备
注册账号--详情参见“徽采云”平台供应商注册与配置手册“第2章入驻操作流
程”
（***********
c.pdf?utm=a0017.b1884.cl28.topic.1a7c2150533811ed990f05d85dda49f6）；
申领CA数字证书---申领流程详见“安徽省政府采购网-下载专区-其他-供应商CA
驱动下载-安徽省各市CA办理服务指南（已有安徽CA和翔晟CA无需重复申领）；
安装“徽采云”投标客户端----前往“安徽省政府采购网-下载专区-电子交易系统专
区”进行下载并安装
（***********
html）。
3.招标文件的获取
使用CA登录“徽采云”电子交易系统，进入“项目采购”应用，在获取采购文件
菜单中选择项目，获取招标文件。
4.投标文件的制作
在“徽采云投标客户端”中完成“填写基本信息”、“制作和导入投标（响应）文
件”、“标书关联”、“标书检查”、“电子签名”、“生成电子标书”等操作。
5.投标文件的上传
使用CA登录“徽采云”电子交易系统，进入“项目采购”应用，在投标文件上传
菜单中选择项目，上传加密的投标文件（*.jmbs）。
6.投标文件的解密
投标人按照系统提示和招标文件规定,在规定时间内完成在线解密。
7.其他
“徽采云”电子交易系统具体操作指南：详见安徽省政府采购网-徽采学院-电子
交易系统学习专题-供应商-操作手册。
—32—
CA问题联系电话：安徽CA********；翔晟CA********。
—33—
第三章采购需求
前注：
1.根据《关于规范政府采购进口产品有关工作的通知》及政府采购管理部门
的相关规定，下列采购需求中标注进口产品的货物（科研仪器设备）均已履行相
关论证手续，经核准采购进口产品，但不限制满足招标文件要求的国内产品参与
竞争。未标注进口产品的货物均为拒绝采购进口产品。
2.下列采购需求中：如属于《节能产品政府采购品目清单》中政府强制采购
的节能产品，则投标人所投产品须具有市场监管总局公布的《参与实施政府采购
节能产品认证机构目录》中的认证机构出具的、处于有效期内的节能产品认证证
书。
—34—
第1包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 验收合格之日起2年，货物需求表另有规定的，以货 |
| 4 | 免费质保期 | 物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 一般指标项 | ● | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
| 1 | ▲化学机械抛光机（CMP） | 1.功能需求可以用于厚度1.2～1.5mm的8寸晶圆的化学机械抛光工艺，主要涉及晶圆正面氧化物层、铜层与阻挡层的抛光工艺；2.设备组成2.1手动上下片，自动抛光模组一套；2.1.1一套主控制系统，含4核CPU及双硬盘实时备份功能；2.1.2八寸抛光头（4分区）4颗，抛光头卡箍4套；■2.1.3四套4分区控压系统、4组抛光头旋转组件；■2.1.4三组外敷特氟龙涂层的抛光盘，采用电机+减速机+同步带驱动；2.1.5三套抛光垫修整系统，修整头采用隔膜施压方式； | 1套 | 工业 | |
| 1 | ▲化学机械抛光机（CMP） | 2.1.6抛光模组可供应2路抛光液，每个抛光盘的抛光液摆臂均有2路抛光液的管路,每路抛光液均具备流量闭环控制，抛光液摆臂兼顾高压冲水功能，抛光液摆臂通过旋转气缸驱动，可在工作位和维护位通过软件操作切换；2.1.7具备一套晶圆装载模块，用于手动放片，晶圆往抛光头上自动装载及卸载；★2.1.8终点检测系统：三个抛光盘包含电涡流终点检测系统、激光终点检测系统或电机扭矩终点检测系统，总数量不少于5个；★2.2提供抛光液供液泵车模组两套；2.2.1每套泵车抛光液供应一个点，采用单桶配置，压力为≥0.2Mpa，流量为≥1500ml/min；2.2.2支持人工配液，桶容量≥20L；2.2.3桶与机台间采用气动泵供液；2.2.4泵的启停通过人工开关泵的供气阀门实现；2.2.5泵车外壳采用聚丙烯材质，有推轮并具有止锁功能；★3.工艺指标3.1Cu抛光速率:粗抛5000A~10000A/min；精抛3000~5000A/min；检测标准：量测去边5mm，linescan；测试片数：10片；3.2WTWNU（Cu）≤5%检测标准：量测去边5mm，linescan，std/ave公式计算；测试片数：10片；3.3粗糙度Ra（Cu）≤2nm（在5μm×5μm面积内的粗糙度）；3.4氧化物抛光速率：800A~1500A/min；检测标准：量测去边5mm，linescan；测试片数：10片；3.5WTWNU（氧化物）≤5%；检测标准：量测去边5mm，linescan，std/ave公式计算；3.6粗糙度Ra（氧化物）≤0.5nm（在5μm×5μm面积内的粗糙度）；3.7PI层抛光速率：＞3000A/min；检测标准：量测去边5mm，linescan；测试片数：10片；3.8WTWNU（PI）≤3%；检测标准：量测去边5mm，linescan，std/ave公式计算；3.9粗糙度Ra（PI）≤1nm（在5μm×5μm面积内的粗糙度）；3.10WTWNU（MEC）≤10%；检测标准：量测去边5mm，linescan，std/ave公式计算；4.技术功能指标●4.1抛光盘和抛光头转速范围：5rpm~150rpm，转速精度不低于±2rpm；★4.2抛光头分区控压，压力分区为4区，保持环压力范围不小于0.3psi~12psi，压力控制精度≤0.1psi；其他分区压力范围不小于0.2psi~6.0psi，压力控制精度≤0.1psi；■4.3抛光盘直径≥20英寸，抛光盘表面有特氟龙涂层；★4.4每个抛光盘配抛光液输送管路2路，抛光液流速：50mL/min~300mL/min，抛光液通过CLC控制流量，每个抛光盘配2个CLC；每个抛光盘配一路高压水冲洗管路，流速不小于7L/min；■4.5修整器转速范围：5rpm~100rpm，修整器的旋转通过电机和同步带驱动，修整器压力范围不小于17N~44N，修整器的摆动通过电机和减速机驱动；5.工控和软件要求5.1具有用户权限分级管理功能；5.2系统显示屏可实时提示故障信息，工艺自动控制，能够监测参数；5.3可对工艺配方进行创建、删除、修改等操作；自动记录设备运行过程中事件，历史数据至少存储3个月；5.4软件为自主开发，厂家具备对软件的维护能力，提供终生软件维护更新；●6.MES/EAP通信接口要求6.1支持SECS以及GEM200标准协议（E4E5E30）；6.2设备厂商能够提供SECS手册与SECS测试日志；7.安全性与可靠性要求7.1安全性要求7.1.1系统提供报警和安全互锁功能。7.1.2当互锁被触发时，系统会发出报警，操作屏上会提示报警信息，并有声音提示；7.1.3工艺异常（工艺状态下的压力、流量等关键工艺参数超出正常范围），可根据需要设置成是否立即终止工艺；7.1.4紧急情况发生时，可以通过EMO回路紧急停止设备。7.1.5标识：危险电压、运动部件、激光束等贴有危险标记以提醒注意；7.2可靠性要求：设备停机之间的平均时间间隔（MTBF）≥168小时，平均故障恢复时间MTTR≤4小时；★8.随机耗材研磨垫20个，钻石修整盘10个，研磨液6桶（容量25升，可用于铜、氧化硅等材质的研磨）。 | 1套 | 工业 |
（三）采购范围、包装运输
1.采购范围：包括整套系统的研发、设计、采购、制造、包装、交货（包括
运输至采购人指定地点卸车就位及迁入至招标人指定的安装地点）、安装、调试
（设备单调、设备集成、系统联调等）、验收、技术服务、培训和售后服务等，
以及保险、管理费、利润、税金以及为完成本项目的所有责任、义务和风险。
2.包装和运输：中标人应提供设备包装、运输等服务。需采用标准承载式工
业托盘和木箱进行包装，因为运输造成的设备损失由供应商提出有效更换或维修
措施。零件要固定在箱体内，避免内部晃动。在包装箱上四个侧面的两个较大面
上分别标记向上、怕湿、禁止翻转和吊装位置等符号，应清晰、可长期保持。清
晰注明收货地址、收货人和发货地址、重量、包装箱的承重点等。
三、安装调试、培训、质保、售后服务及验收要求
1.安装调试
1.1中标人需协助采购人做好安装前的准备工作，合同签订后15个工作日内
提供详细的厂务需求（含水、电、气、废排、微振要求等）、LAYOUT图、安装布
置图。发货前提供详细的安装、调试方案和计划。
1.2设备到达用户现场后，由中标人派出工程师与用户共同开箱清点验收并
负责安装、调试、试运行等，相关费用含在本次投标报价中。机台搬入洁净间和
定位由中标人负责。中标人所提供的设备所有零部件必须是全新产品，外观无划
伤损伤等各种缺陷。技术成熟，操作直观简便，便于维护和维修。
1.3设备到达用户所在地后,在接到用户通知后执行安装调试直至达到验收
—40—
指标。设备须依据甲乙双方签订的合同进行验收，中标人应及时更换在调试、试
运行验收中指标未达到要求的部件。
2.技术文件
2.1设备交付时，中标人需向采购人提供全套技术资料，语言为中文或英文，
至少包括设备操作手册（含管理员用户名、密码）、设备维护（服务）手册、安
全手册、各主要部件手册、原理图、电路图、备件和耗材清单等。随机文件采用
光盘/U盘的形式提供PDF格式的电子版。
2.2产品在出厂前，进行全面的系统测试并随设备出具产品检验报告、测试
报告。
2.3提供设备最新信息及应用资料，长期提供技术资料和技术支持，协助采
购人做好设备的开发应用工作。
3.技术培训
3.1提供用户现场培训的资料，至少含设备操作指导书（SOP）、保养维护指
导等；
3.2设备厂家应在设备安装调试合格后对采购人操作、维护人员进行培训，
包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺，培训时间不少于5天。验收
后根据采购人需求再提供至少一次应用培训，具体培训时间由甲乙双方协商。
4.质保及售后
4.1免费质保期自验收合格之日起计算，更换后的零部件免费质保期从更换
之日起计算。
4.2免费质保期内由中标人提供保修服务，包括设备的正常检修、维护和调
试等（所需费用由中标人承担，包含人工、维修及零配件等费用，耗材除外）。
质保期内因质量问题而导致的设备停用时间应相应延长质保截止时间。中标人应
保证设备及服务的质量，针对故障或损坏的产品，提供上门维修和更换服务（人
为故意损毁或不可抗力因素导致的损坏除外）。当产品在质保期内发生质量问题，
中标人还应承担由此导致的其他经济损失。
4.3免费质保期满后，中标人应以最优惠的价格提供技术服务和备件。
4.4维修响应时间：中标人应在4小时内对采购人的服务要求做出响应，如
有必要在48小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。较大问题应在3天内解
—41—
决或提出明确的解决方案，经采购人认可后，在预定期限内解决问题。重大问题
或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。否则，中标人
应赔偿由此造成的损失。
4.5软、硬件升级：中标人应向采购人提供同版本软件的终身升级服务（所
需费用包含在本项目投标报价中），与之相关的硬件升级只收取成本费。
4.6中标人提供终身维修服务，并保证设备所需零备件10年以上的长期供应。
四、报价要求
本项目报总价，报价包含完成本项目所需内容（包含招标文件要求内容、投
标文件承诺内容、评标过程澄清修改内容等）的所有费用，中标后采购人不再另
行支付任何费用，投标分项报价表中须明确列出所投产品所含货物名称、品牌、
型号规格、原产地及生产厂商，否则可能导致投标无效。
—42—
第2包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 验收合格之日起2年，货物需求表另有规定的，以货 |
| 4 | 免费质保期 | 物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
| 1 | ▲激光玻璃通孔刻蚀机 | ★1.配置激光器，激光器功率：≥20W，激光功率稳定性＜0.5%(RMS＞100Hr)，激光脉冲能量稳定性＜0.5%(RMS>24Hr)，漏孔率＜3PPM；■2.激光器波长：1030±10nm，脉冲能量：≥400μJ；■3.工作频率：1Hz-1000kHz可调；■4.脉冲宽度：250fs-10ps可调；■5.激光光束质量：M2＜1.2；■6.激光光斑直径：3.9±0.4mm；■7.激光发散角：＜20µrad/℃；■8.可加工玻璃材质，石英玻璃和硼硅玻璃、钠钙玻璃、高铝硅玻璃等；可加工玻璃厚度：0.3-1mm；■9.载台有效工作面积：≥300mm×300mm；■10.载台平面度≤20μm；■11.定位精度：X轴≤±1μm，Y轴≤±1μm，Z轴≤±1μm； | 1套 | 工业 | |
| 1 | ▲激光玻璃通孔刻蚀机 | ■12.重复定位精度：X轴≤±0.5μm，Y轴≤±0.5μm，Z轴≤±0.5μm；13.X轴步进最大移动速度：≥500mm/s；Y轴加工最大移动速度：≥500mm/s；14.X轴最大行程：≤550mm、Y轴最大行程：≤550mm、Z轴最大行程：50mm；■15.最小孔径：1.5μm；■16.最大深宽比：≥200:1；■17.孔壁粗糙度：<150nm；■18.圆度：≥95%；■19.通孔锥度：0-10°可调；20.激光加工效率：≥5000孔/秒；■21.可根据采购人需求，随时提供产品的漏孔率检测；■22.激光输出功率自动修正，点孔数量实时记录自动比对；■23.具有Z轴自动调焦功能；■24.加工过程中支持参数监控；■25.配置校准相机，像素：≥500万；26.支持DXF、DWG等格式文档直接导入、存储或导出，支持对图纸不同图层的加工元素编辑不同的加工参数，具备直线、曲线、圆弧等图形编辑功能；27.设备无故障工作时间（MTBF）：≥于500小时；28.提供备用安装软件，能够完成系统重新安装；★29.提供配套的无氟蚀刻液≥300L；■30.提供TGV配套成熟的蚀刻方案；★31.随机附件：尺寸510×515毫米、厚度0.5~1.1毫米的低热膨胀系数、高透光性玻璃不少于150片，并提供切割划片服务。 | 1套 | 工业 |
（三）采购范围、包装运输
1.采购范围：包括整套系统的研发、设计、采购、制造、包装、交货（包括
运输至采购人指定地点卸车就位及迁入至招标人指定的安装地点）、安装、调试
（设备单调、设备集成、系统联调等）、验收、技术服务、培训和售后服务等，
以及保险、管理费、利润、税金以及为完成本项目的所有责任、义务和风险。
2.包装和运输：中标人应提供设备包装、运输等服务。需采用标准承载式工
业托盘和木箱进行包装，因为运输造成的设备损失由供应商提出有效更换或维修
措施。零件要固定在箱体内，避免内部晃动。在包装箱上四个侧面的两个较大面
上分别标记向上、怕湿、禁止翻转和吊装位置等符号，应清晰、可长期保持。清
晰注明收货地址、收货人和发货地址、重量、包装箱的承重点等。
三、安装调试、培训、质保、售后服务及验收要求
1.安装调试
1.1中标人需协助采购人做好安装前的准备工作，合同签订后15个工作日内
提供详细的厂务需求（含水、电、气、废排、微振要求等）、LAYOUT图、安装布
置图。发货前提供详细的安装、调试方案和计划。
1.2设备到达用户现场后，由中标人派出工程师与用户共同开箱清点验收并
负责安装、调试、试运行等，相关费用含在本次投标报价中。机台搬入洁净间和
定位由中标人负责。中标人所提供的设备所有零部件必须是全新产品，外观无划
伤损伤等各种缺陷。技术成熟，操作直观简便，便于维护和维修。
1.3设备到达用户所在地后,在接到用户通知后执行安装调试直至达到验收
指标。设备须依据甲乙双方签订的合同进行验收，中标人应及时更换在调试、试
运行验收中指标未达到要求的部件。
2.技术文件
2.1设备交付时，中标人需向采购人提供全套技术资料，语言为中文或英文，
至少包括设备操作手册（含管理员用户名、密码）、设备维护（服务）手册、安
全手册、各主要部件手册、原理图、电路图、备件和耗材清单等。随机文件采用
光盘/U盘的形式提供PDF格式的电子版。
2.2产品在出厂前，进行全面的系统测试并随设备出具产品检验报告、测试
—46—
报告。
2.3提供设备最新信息及应用资料，长期提供技术资料和技术支持，协助采
购人做好设备的开发应用工作。
3.技术培训
3.1提供用户现场培训的资料，至少含设备操作指导书（SOP）、保养维护指
导等；
3.2设备厂家应在设备安装调试合格后对采购人操作、维护人员进行培训，
包括软件、硬件的操作和日常维护、典型应用工艺，培训时间不少于5天。验收
后根据采购人需求再提供至少一次应用培训，具体培训时间由甲乙双方协商。
4.质保及售后
4.1免费质保期自验收合格之日起计算，更换后的零部件免费质保期从更换
之日起计算。
4.2免费质保期内由中标人提供保修服务，包括设备的正常检修、维护和调
试等（所需费用由中标人承担，包含人工、维修及零配件等费用，耗材除外）。
质保期内因质量问题而导致的设备停用时间应相应延长质保截止时间。中标人应
保证设备及服务的质量，针对故障或损坏的产品，提供上门维修和更换服务（人
为故意损毁或不可抗力因素导致的损坏除外）。当产品在质保期内发生质量问题，
中标人还应承担由此导致的其他经济损失。
4.3免费质保期满后，中标人应以最优惠的价格提供技术服务和备件。
4.4维修响应时间：中标人应在4小时内对采购人的服务要求做出响应，如
有必要在48小时内派工程师到达现场、检查和排除故障。较大问题应在3天内解
决或提出明确的解决方案，经采购人认可后，在预定期限内解决问题。重大问题
或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。否则，中标人
应赔偿由此造成的损失。
4.5软、硬件升级：中标人应向采购人提供同版本软件的终身升级服务（所
需费用包含在本项目投标报价中），与之相关的硬件升级只收取成本费。
4.6中标人提供终身维修服务，并保证设备所需零备件10年以上的长期供应。
四、报价要求
本项目报总价，报价包含完成本项目所需内容（包含招标文件要求内容、投
—47—
标文件承诺内容、评标过程澄清修改内容等）的所有费用，中标后采购人不再另
行支付任何费用，投标分项报价表中须明确列出所投产品所含货物名称、品牌、
型号规格、原产地及生产厂商，否则可能导致投标无效。
—48—
第3包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 1.进口设备：采购人指定外贸代理机构办理进口产品采购事宜，并按下述方式支付合同款：合同生效后，外贸代理机构开出进口产品信用证后甲方支付70%合同款（专指进口部分）给外贸代理机构，剩余30%在验收合格后一次性付给外贸代理机构。注：双方以人民币结算。外贸代理机构与投标人另行签订合同约定付款方式进行结算，投标人须按照采购人与外贸代理机构签署的《外贸代理机构收取进口代理费标准》向外贸代理机构支付进口代理费。2.国产设备：合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（专指国产部分）（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担 |
| 1 | 付款方式 | 保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 验收合格之日起1年，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 一般指标项 | ● | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
| 1 | ▲晶圆清洗甩干系统 | 1.技术指标：1.1清洗功能要求：1.1.1清洗功能中有针对晶圆表面的亚微米级颗粒的处理方案以及所提供功能的技术原理，清洗方案包含兆声清洗、化学清洗和刷洗等；●1.1.2清洗腔室为独立清洗腔室，运行阶段为全 | 1套 | 工业 | 进口 |
—50—
第4包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 1.进口设备：采购人指定外贸代理机构办理进口产品采购事宜，并按下述方式支付合同款：合同生效后，外贸代理机构开出进口产品信用证后甲方支付70%合同款（专指进口部分）给外贸代理机构，剩余30%在验收合格后一次性付给外贸代理机构。注：双方以人民币结算。外贸代理机构与投标人另行签订合同约定付款方式进行结算，投标人须按照采购人与外贸代理机构签署的《外贸代理机构收取进口代理费标准》向外贸代理机构支付进口代理费。2.国产设备：合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（专指国产部分）（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至 |
| 1 | 付款方式 | 采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起270个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 验收合格之日起1年，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
| 1 | ▲深硅刻蚀系统 | 1.设备总体要求：1.1设备用途：可用于实现高深宽比、高刻蚀速率的深硅刻蚀工艺；1.2设备由以下主要部分组成：反应腔、上电极、下电极、射频源、真空系统、气路系统、预真空室、控制系统与软件、配套附件，且系统所有部件均为全新；★1.3样品尺寸：适用于8英寸直径晶圆，并向 | 1套 | 工业 | 进口 |
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第5包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起180个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 验收合格之日起2年，货物需求表另有规定的，以货 |
| 4 | 免费质保期 | 物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 一般指标项 | ● | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
| 1 | ▲多腔室原子层沉积系统 | 一、设备功能适用于8寸及以下晶圆的原子层沉积，可同时在两个腔体中实现原子层沉积工艺且可以实现多类II-VI、III-V半导体、氮化物、单质金属与半导体材料的高可控性生长，配备等离子体增强沉积模式，采用环绕辐射加热模式，使沉积温度≥400℃，可大幅提高TiN、Cu等材料的沉积效果。二、工作条件1.工作电源：220VAC±10%单相或380VAC±10%三相、频率50Hz；2.设备能保证长时间的运行稳定性与可靠性（7×8小时，即每天8小时、运行7天）。三、系统组成：系统主要由1个等离子原子层沉积工艺腔室、1个热原子层沉积工艺反应腔、1个薄膜质量测试装置和1个XY轴预真空腔系统组成，涵盖等离子体系 | 1套 | 工业 |
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第6包：
一、采购需求前附表
| 序号 | 条款名称 | 内容、说明与要求 |
| 1 | 付款方式 | 1.进口设备：采购人指定外贸代理机构办理进口产品采购事宜，并按下述方式支付合同款：合同生效后，外贸代理机构开出进口产品信用证后甲方支付70%合同款（专指进口部分）给外贸代理机构，剩余30%在验收合格后一次性付给外贸代理机构。注：双方以人民币结算。外贸代理机构与投标人另行签订合同约定付款方式进行结算，投标人须按照采购人与外贸代理机构签署的《外贸代理机构收取进口代理费标准》向外贸代理机构支付进口代理费。2.国产设备：合同签订生效后，采购人向中标人支付70%合同款（专指国产部分）（中标人须同时向采购人递交等额预付款保函），全部货物安装调试完毕，剩余30%在验收合格后一次性付给中标人，同时退还预付款保函。注：（1）预付款保函形式：☑银行保函☑担保机构担保（2）预付款保函递交要求：①如采用银行保函，银行保函应为具有分支机构的银行出具的见索即付无条件保函。（例如A银行总部在合肥或者A银行在合肥行政区域（含四县一市）具有分支机构，那么A银行任一分支机构或者总部出具的见索即付无条件保函符合要求），且应将原件交至采购人保管。②如采用担保机构担保，应为具有备案资质的融资担 |
| 1 | 付款方式 | 保机构出具的见索即付无条件担保，且应将原件交至采购人保管。（3）在签订合同时，中标人书面明确表示无需预付款或者主动要求降低预付款比例的，采购人可不适用前述预付款规定。 |
| 2 | 供货及安装地点 | 安徽大学磬苑校区材料科学大楼E楼。 |
| 3 | 供货及安装期限 | 合同签订之日起150个日历天内供货安装调试完毕并具备验收条件，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
| 4 | 免费质保期 | 国产设备验收合格之日起2年，进口设备验收合格之日起1年，货物需求表另有规定的，以货物需求表为准。 |
二、货物需求
（一）货物需求说明
| 标识重要性 | 标识符号 | 代表意思 |
| 关键性指标项 | ★ | 不满足该指标项将导致投标无效。 |
| 重要指标项 | ■ | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 一般指标项 | ● | 评分项，详见“第四章评标方法和标准”中评分细则。 |
| 无标识项 | 基础项，3条以上（不含3条）不响应或负偏离，将导致投标无效。 |
（二）货物需求清单
薄膜物理光学测试集成系统包含薄膜应力测量仪、全自动影像仪、椭偏仪和
Xray荧光测厚仪。该系统用于薄膜样品的物理光学测试，具体包括：弓高、翘曲、
轮廓形貌、曲率半径测量和薄膜应力计算，薄膜的平面及高度尺寸测量，金属镀
层成分分析及微观结构上镀层测厚，快速无损表征薄膜厚度以及光学参数面内分
布信息。
| 序号 | 货物名称 | 技术参数及要求 | 数量（单位） | 所属行业 | 备注 |
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400-888-7022
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